"A lungo termine Piano di Sviluppo Scientifico e Tecnologico (2006-2020)" per determinare il numero di temi prioritari in settori prioritari, allo stesso tempo, intorno l'obiettivo nazionale, ad un ulteriore messa a fuoco, filtrare i diversi prodotto strategico importante, o tecnologie chiave generiche come grandi progetti grandi progetti, e si sforzano di segnare una svolta, e si sforzano di raggiungere uno sviluppo cavallina di sviluppo tecnologico locale, saltato per migliorare la produttività.
'EUV ricerca sui materiali photoresist e la tecnologia di laboratorio' 'scala integrato attrezzature di produzione molto grande circuito e speciale progetto completo processo' (02 progetti), dall'Istituto di Chimica, Accademia Cinese delle Scienze Istituto di Fisica e Tecnologia, filiale di Pechino micro materiali elettronici Co., Ltd. impegno comune. grazie agli sforzi di tutti i membri del team di ricerca, ha completato lo studio di progettazione, la preparazione e la sintesi di materiali EUV fotoresistivi critici, la composizione formulazione e preparazione di fotoresist, valutazione preliminare photoresist di prestazioni del laboratorio attrezzature di ricerca e sviluppo, al materiale e apparecchiature specificate nel progetto compito rubrica valutazione ha richiesto un brevetto per invenzione 15 (di cui cinque brevetti internazionali), fino ad oggi, un totale di 10 brevetti autorizzati (compresi tre brevetti internazionali ); 9 di formazione dottorandi, laureati uno.
Gli esperti dei risultati di R & raggiunti nell'ambito del progetto pienamente affermata, ha sottolineato a svolgere attività di ricerca e sviluppo di EUV fotoresist visione strategica, dopo diversi anni di sforzi per proiettare i membri del team, il completamento dei compiti di ricerca e sviluppo, attività di progetto per realizzare il libro prescritto indicatori; la creazione di una fascia alta R & D team nel campo di photoresist, che forniscono personale di supporto per lo sviluppo stabile del semiconduttore integrato industria circuito in Cina.
Con riserva di sopportare le unità fisiche e chimiche della Accademia Cinese delle Scienze e l'Istituto di Chimica Unità responsabile della persona responsabile per anni ha detto nel suo discorso al team R & D del Gruppo per sostenere il photoresist il nostro più sentito grazie alla nostra ricerca e sviluppo di prodotti chimici elettronici di alta qualità è in rapido sviluppo periodo, il completamento del progetto fornirà uno sviluppo stabile del settore dei semiconduttori in Cina è una garanzia importante, vuole dare un sostegno costante per resistere ricerca high-end e lo sviluppo; incoraggiare la ricerca e team di sviluppo continuano a lavorare sodo, a giocare nel campo della progettazione e preparazione di vantaggi materiali speciali per la Cina a dare il proprio contributo allo sviluppo del settore dei semiconduttori.
I funzionari e gli esperti nelle unità competenti del Ministero della Scienza ufficio grandi progetti, Pechino Commissione economica e dell'Information Technology, 02 grandi progetti ufficio, il gruppo globale di 02 grandi progetti e 02 grandi progetti ufficio assunto esperti finanziari ed esperti di ispezione compito di accettazione hanno partecipato alla test di accettazione.