"लंबे समय तक विज्ञान और प्रौद्योगिकी विकास योजना (2006-2020)" एक ही समय में प्राथमिकता क्षेत्रों में प्राथमिकता विषयों की संख्या निर्धारित करने, राष्ट्रीय लक्ष्य के आसपास, आगे ध्यान केंद्रित करने के लिए, प्रमुख परियोजनाओं के रूप में कई प्रमुख रणनीतिक उत्पाद, या कुंजी सामान्य प्रौद्योगिकियों को फ़िल्टर प्रमुख परियोजनाएं, और एक सफलता प्राप्त करने का प्रयास करती हैं, और विज्ञान और प्रौद्योगिकी के विकास में आंशिक छलांग के माध्यम से उत्पादकता के एक छलांग-आगे विकास को प्राप्त करने का प्रयास करती हैं।
'EUV photoresist सामग्री अनुसंधान और प्रयोगशाला प्रौद्योगिकी' 'बहुत बड़े पैमाने पर एकीकृत परिपथ निर्माण उपकरणों और रसायन विज्ञान संस्थान, चीनी अकादमी भौतिकी और प्रौद्योगिकी, बीजिंग शाखा सूक्ष्म की विज्ञान संस्थान के द्वारा पूरी प्रक्रिया' विशेष (02 परियोजनाओं) परियोजना इलेक्ट्रॉनिक सामग्री कंपनी लिमिटेड संयुक्त प्रतिबद्धता। अनुसंधान दल के सभी सदस्यों के प्रयासों के माध्यम से, अध्ययन डिजाइन, तैयारी और महत्वपूर्ण EUV photoresist सामग्री, निर्माण संरचना और photoresist की तैयारी, प्रयोगशाला प्रदर्शन के photoresist प्रारंभिक मूल्यांकन के संश्लेषण पूरा उपकरण अनुसंधान और विकास, मूल्यांकन सूचकांक सामग्री और कार्य पुस्तक परियोजना में निर्दिष्ट उपकरणों के लिए, आविष्कार 15 (पांच अंतरराष्ट्रीय पेटेंट सहित) के लिए एक पेटेंट के लिए आवेदन किया है अब तक, (तीन अंतरराष्ट्रीय पेटेंट सहित 10 अधिकृत पेटेंट की कुल करने के लिए ); 9 डॉक्टरेट छात्रों और 1 मास्टर छात्र प्रशिक्षित।
परियोजना पूरी तरह से पुष्टि में हासिल की अनुसंधान एवं विकास के परिणामों के विशेषज्ञों निर्धारित पुस्तक प्राप्त करने के लिए, अनुसंधान और EUV photoresist रणनीतिक दृष्टि के विकास के बाहर ले जाने की ओर इशारा किया दल के सदस्यों, अनुसंधान और विकास कार्यों के सफल समापन परियोजना के लिए प्रयास, परियोजना कार्यों के कई वर्षों के बाद संकेतक, एक उच्च अंत अनुसंधान और photoresist के क्षेत्र में डी टीम की स्थापना, उपलब्ध कराने के कर्मियों चीन में अर्धचालक एकीकृत परिपथ उद्योग के स्थिर विकास के लिए समर्थन करते हैं।
साल समूह के अनुसंधान एवं विकास टीम photoresist हमारे अनुसंधान और उच्च ग्रेड इलेक्ट्रॉनिक रसायनों के विकास को हार्दिक धन्यवाद समर्थन करने के लिए करने के लिए अपने भाषण में कहा के लिए चीनी अकादमी ऑफ साइंसेज और जिम्मेदार व्यक्ति के आरोप में रसायन विज्ञान यूनिट के संस्थान के भौतिक और रासायनिक इकाइयों सहन के अधीन रहते हुए तेजी से विकास में है अवधि, परियोजना चीन के अर्धचालक उद्योग के एक स्थिर विकास प्रदान करेगा के पूरा होने के एक महत्वपूर्ण गारंटी है, उच्च अंत अनुसंधान और विकास का विरोध करने के निरन्तर सहयोग देना चाहते हैं; को प्रोत्साहित अनुसंधान और विकास टीम डिजाइन और चीन के लिए विशेष सामग्री फायदे की तैयारी के क्षेत्र में खेलने के लिए, कड़ी मेहनत करने के लिए जारी अर्धचालक उद्योग का विकास अपना योगदान देता है।
अधिकारियों और विज्ञान प्रमुख परियोजनाओं कार्यालय मंत्रालय, बीजिंग आर्थिक और सूचना प्रौद्योगिकी आयोग, 02 प्रमुख परियोजनाओं कार्यालय, 02 प्रमुख परियोजनाओं और 02 प्रमुख परियोजनाओं कार्यालय वित्तीय विशेषज्ञों और कार्य स्वीकृति निरीक्षण विशेषज्ञों को काम पर रखा के समग्र समूह के प्रासंगिक इकाइयों में विशेषज्ञों ने भाग लिया स्वीकृति बैठक