Das nationale wissenschaftliche und technologische Großprojekt EUV Photoresist-Projekt bestand die Akzeptanz

Vor kurzem organisierte das Nationale Sonderprojekt für wissenschaftliche und technologische Großunternehmen für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen und kompletten Prozessen das Büro für die Umsetzung von Aufgaben und das Expertenprojekt für extreme Akzeptanz von UV-Photolack und Labortechnologien. Das Projekt führte die Aufgabenakzeptanz und die finanzielle Akzeptanz durch: Die teilnehmenden Experten hörten den Projektleiter und den Projektleiter über das Projekt und das Projekt, den Testbericht des Testteams, den finanziellen Leistungsbericht, etc., und überprüften die Akzeptanzdaten , Die Experten waren sich einig, dass das Projekt die Annahme bestanden hat.

Der "Nationale mittel- und langfristige Plan für wissenschaftliche und technologische Entwicklung (2006-2020)" nannte eine Gruppe vorrangiger Themen in Schlüsselbereichen, konzentrierte sich auf nationale Ziele, hob die Kernpunkte hervor und wählte eine Reihe wichtiger strategischer Produkte, wichtige generische Technologien oder Großprojekte aus Große Projekte, und streben nach einem Durchbruch, und streben nach einer sprunghaften Entwicklung der Produktivität durch den teilweisen Sprung in der Entwicklung von Wissenschaft und Technologie.

'Extreme integrierte Schaltung Fertigungsanlagen und komplette Sätze von Prozessen' spezielles Projekt (02 spezielles Projekt) 'Die Forschung von EUV Photoresist-Materialien und Labor-Detektionstechnologie' von Institut für Chemie, Chinesische Akademie der Wissenschaften, Institut für Physik und Chemie, Chinesische Akademie der Wissenschaften, Peking Kehua Micro Die Firma Electronic Materials Co., Ltd. verpflichtet sich gemeinsam mit allen Mitgliedern des Projektteams zur Entwicklung, Vorbereitung und Synthese von Schlüsselmaterialien für EUV-Photoresist, Formelzusammensetzung und Photoresistvorbereitung sowie zur vorläufigen Bewertung der Leistungsfähigkeit des Photoresists im Labor. Die F & E der Ausrüstung hat die Bewertungskriterien für Materialien und Ausrüstung erfüllt, die im Missionsbuch spezifiziert sind.Das Projekt hat 15 Erfindungspatente beantragt (einschließlich 5 internationale Patente). Bis jetzt wurden insgesamt 10 erteilte Patente erteilt (einschließlich 3 internationale Patente). ) Ausgebildete 9 Doktoranden und 1 Meisterschüler.

Die Experten von F & E im Projekt erzielten Ergebnisse in vollem Umfang bestätigt, zeigten die Forschung und Entwicklung von EUV-Photoresist strategischer Vision durchzuführen, nach mehreren Jahren der Bemühungen Teammitglieder, die erfolgreichen Abschluss der Forschungs- und Entwicklungsaufgaben, Projektaufgaben zu projizieren, das vorgeschriebene Buch zu erreichen Indikatoren: Aufbau eines Forschungs- und Entwicklungsteams auf dem Gebiet hochwertiger Photoresists und Personalunterstützung für die stabile Entwicklung der chinesischen Halbleiterindustrie.

Betrifft die physikalischen und chemischen Einheiten der Chinesischen Akademie der Wissenschaften und dem Institut für Chemie Einheit verantwortlich für die verantwortliche Person tragen in seiner Rede sagte Jahren auf die F & E-Team der Gruppe der Photoresist unseren herzlichen Dank an unsere Forschung und Entwicklung von hochwertigen Elektronikchemikalien zu unterstützen, ist eine schnelle Entwicklung Zeit, die Fertigstellung des Projektes wird eine stabile Entwicklung der chinesischen Halbleiterindustrie bietet eine wichtige Garantie, wollen weitere Unterstützung geben, High-End-Forschung und Entwicklung zu widerstehen; fördern Forschungs- und Entwicklungsteam weiter hart arbeiten auf dem Gebiet der Konstruktion und Herstellung von speziellen Material Vorteilen für China spielen Die Entwicklung der Halbleiterindustrie leistet ihren Beitrag.

Beamte und Experten in den jeweiligen Einheiten des Ministeriums für Wissenschaft Großprojekte Büro, Peking Wirtschafts-und Informationstechnik Kommission, 02 Großprojekte Büro, die Gesamtgruppe von 02 Großprojekten und 02 Großprojekten Büro Finanzexperten und Aufgabe Abnahmeprüfung Experten nahmen an stellte den Annahmeversammlung.