"ระยะยาวแผนพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (2006-2020)" เพื่อตรวจสอบจำนวนของรูปแบบจัดลำดับความสำคัญในพื้นที่ที่มีความสำคัญในเวลาเดียวกันรอบเป้าหมายแห่งชาติที่จะมุ่งเน้นเพิ่มเติมกรองออกสินค้าที่สำคัญหลายเชิงกลยุทธ์หรือเทคโนโลยีทั่วไปที่สำคัญเป็นโครงการที่สำคัญ โครงการที่สำคัญและมุ่งมั่นที่จะให้เกิดการพัฒนาและมุ่งมั่นที่จะบรรลุการพัฒนาที่ก้าวกระโดดของการพัฒนาเทคโนโลยีในท้องถิ่นเพิ่มขึ้นเพื่อผลักดันการผลิต
'EUV วิจัยวัสดุไวแสงและเทคโนโลยีในห้องปฏิบัติการ' 'ขนาดวงจรรวมอุปกรณ์การผลิตขนาดใหญ่มากและกระบวนการเสร็จสมบูรณ์พิเศษโครงการ (02 โครงการ) โดยสถาบันเคมีจีน Academy of Sciences สถาบันฟิสิกส์และเทคโนโลยีสาขาปักกิ่งไมโคร อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ จำกัด มุ่งมั่นร่วมกัน. ผ่านความพยายามของสมาชิกทั้งหมดของทีมวิจัยที่เสร็จสิ้นการออกแบบการศึกษาการเตรียมและการสังเคราะห์วัสดุ EUV ไวแสงที่สำคัญองค์ประกอบของการกำหนดและการจัดเตรียมไวแสง, การประเมินผลเบื้องต้นไวแสงของการปฏิบัติงานในห้องปฏิบัติการ อุปกรณ์การวิจัยและพัฒนาเพื่อวัสดุดัชนีประเมินและอุปกรณ์ที่ระบุไว้ในโครงการหนังสืองานที่ได้ยื่นขอจดสิทธิบัตรสำหรับการประดิษฐ์ 15 (รวมถึงห้าสิทธิบัตรระหว่างประเทศ) ถึงตอนนี้รวม 10 สิทธิบัตรที่ได้รับอนุญาต (รวมทั้งสามสิทธิบัตรระหว่างประเทศ ) ได้รับการฝึกฝน 9 นักศึกษาปริญญาเอกและนักศึกษาปริญญาโท 1 คน
ผู้เชี่ยวชาญด้านการวิจัยและผลการพัฒนาที่ประสบความสำเร็จในโครงการยืนยันอย่างเต็มที่ชี้ไปดำเนินการวิจัยและการพัฒนาของวิสัยทัศน์เชิงกลยุทธ์ EUV ไวแสงหลังจากหลายปีของความพยายามที่จะฉายสมาชิกในทีมที่ประสบความสำเร็จของการวิจัยและพัฒนางาน, งานโครงการเพื่อให้บรรลุหนังสือที่กำหนด ตัวชี้วัด; สถานประกอบการของ R ระดับ high-end & D ทีมในด้านของน้ํายาไวแสงให้บุคลากรสนับสนุนสำหรับการพัฒนาที่มั่นคงของเซมิคอนดักเตอร์แบบบูรณาการอุตสาหกรรมวงจรในประเทศจีน
เรื่องที่จะแบกหน่วยทางกายภาพและทางเคมีของจีน Academy of Sciences และสถาบันเคมีหน่วยในความดูแลของผู้รับผิดชอบในการปีกล่าวในคำพูดของเขาให้กับทีมงาน R & D ของกลุ่ม บริษัท ที่จะสนับสนุนไวแสงขอบคุณอย่างจริงใจของเราเพื่อการวิจัยและพัฒนาของสารเคมีอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูงของเราอยู่ในการพัฒนาอย่างรวดเร็ว ระยะเวลาแล้วเสร็จของโครงการจะจัดให้มีการพัฒนาที่มั่นคงของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีนเป็นสำคัญรับประกันต้องการที่จะให้การสนับสนุนอย่างต่อเนื่องที่จะต่อต้านการวิจัยระดับ high-end และการพัฒนาส่งเสริมให้การวิจัยและทีมพัฒนายังคงทำงานอย่างหนักในการเล่นในด้านการออกแบบและการจัดทำข้อได้เปรียบวัสดุพิเศษสำหรับประเทศจีน จะทำให้ผลงานของตัวเองเพื่อการพัฒนาของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เจ้าหน้าที่และผู้เชี่ยวชาญในหน่วยงานที่เกี่ยวข้องของกระทรวงวิทยาศาสตร์สำนักงานโครงการที่สำคัญ, ปักกิ่งคณะกรรมาธิการเศรษฐกิจและเทคโนโลยีสารสนเทศ, สำนักงาน 02 โครงการที่สำคัญของกลุ่มโดยรวมของ 02 โครงการที่สำคัญและ 02 โครงการที่สำคัญสำนักงานได้รับการว่าจ้างผู้เชี่ยวชาญด้านการเงินและผู้เชี่ยวชาญด้านการตรวจสอบงานที่ได้รับการยอมรับเข้าร่วม การทดสอบการยอมรับ