"A largo plazo Plan de Ciencia y Tecnología para el Desarrollo (2006-2020)" para determinar el número de temas prioritarios en áreas prioritarias, al mismo tiempo, en torno al objetivo nacional, a un mayor enfoque, filtrar varias producto estratégico importante, o tecnologías genéricas clave como los principales proyectos grandes proyectos, y se esfuerzan por lograr un avance, y se esfuerzan por lograr un gran desarrollo del desarrollo tecnológico local saltado para impulsar la productividad.
'EUV la investigación material de resina fotosensible y la tecnología de laboratorio' 'equipos de fabricación de circuitos integrados a escala muy grande y proyecto especial completa proceso' (02 proyectos) por el Instituto de Química de la Academia China de Ciencias Instituto de Física y Tecnología, Beijing rama micro materiales electrónicos Co, Ltd compromiso conjunto. gracias al esfuerzo de todos los miembros del equipo de investigación, completó el diseño del estudio, preparación y síntesis de materiales de resina fotosensible EUV críticos, composición de la formulación y preparación de resina fotosensible, evaluación preliminar fotoprotector de funcionamiento de los laboratorios el equipo de investigación y desarrollo, con el material y los equipos incluidos en el proyecto del libro tarea índice de evaluación ha solicitado una patente de invención 15 (incluyendo cinco patentes internacionales), hasta el momento, un total de 10 patentes autorizadas (incluyendo tres patentes internacionales ), Entrenó a 9 estudiantes de doctorado y 1 estudiante de maestría.
Los expertos de los resultados de I + D obtenidos en el proyecto confirmó plenamente, señalaron para llevar a cabo la investigación y el desarrollo de la visión estratégica EUV resina fotosensible, después de varios años de esfuerzos para proyectar los miembros del equipo, la finalización con éxito de las tareas de investigación y desarrollo, las tareas del proyecto para conseguir el libro prescrito Indicadores; Estableció un equipo de investigación y desarrollo en el campo de la fotorresistencia de alta calidad, y brindó apoyo de personal para el desarrollo estable de la industria china de circuitos integrados de semiconductores.
Sujeto a soportar las unidades físicas y químicas de la Academia China de Ciencias y el Instituto de la Unidad de Química a cargo de la persona responsable de años dijo en su discurso al equipo de I + D del Grupo para apoyar la fotoprotección nuestras más sentidas gracias a nuestra investigación y desarrollo de productos químicos electrónicos de alta calidad se encuentra en rápido desarrollo período, la finalización del proyecto proporcionará un desarrollo estable de la industria de los semiconductores de china es una garantía importante, quiere dar un apoyo continuo para resistir la investigación y desarrollo de alta gama; fomentar la investigación y el equipo de desarrollo siguen trabajando duro, para jugar en el campo del diseño y la preparación de las ventajas materiales especiales para china El desarrollo de la industria de semiconductores hace su propia contribución.
Funcionarios y expertos en las unidades correspondientes del Ministerio de Ciencia oficina de grandes proyectos, Comisión de Tecnología de Información Económica y Beijing, oficina 02 grandes proyectos, el grupo total de 02 grandes proyectos y 02 grandes proyectos de oficinas contratado a expertos financieros y expertos de inspección de aceptación tarea asistieron a la Reunión de aceptación.