"طولانی مدت طرح علم و توسعه فناوری (2006-2020)" برای تعیین تعدادی از تم اولویت در حوزه های اولویت در همان زمان، اطراف هدف ملی، به تمرکز بیشتر، فیلتر کردن چند محصول استراتژیک بزرگ، و یا فن آوری های کلیدی عمومی به عنوان پروژه های بزرگ پروژه های بزرگ، و تلاش برای رسیدن به موفقیت، و در تلاش برای رسیدن به توسعه گره گره حرکت کردن از توسعه فن آوری محلی شروع به پریدن کرد به بهره وری درایو.
، EUV تحقیقات مواد مقاوم در برابر نور و فن آوری آزمایشگاهی '' مقیاس یکپارچه تجهیزات برای تولید مدار بسیار بزرگ و پروژه (02 پروژه) ویژه فرایند کامل توسط موسسه شیمی، آکادمی چینی علوم موسسه فیزیک و تکنولوژی، واحد پکن میکرو مواد الکترونیکی شرکت، تعهد مشترک گیم. از طریق تلاش های همه اعضای تیم تحقیقاتی، تکمیل طرح مطالعه، آماده سازی و سنتز مواد EUV مقاوم در برابر نور حساس، ترکیب تدوین و آماده سازی مقاوم در برابر نور، ارزیابی اولیه مقاوم در برابر نور عملکرد آزمایشگاهی تحقیقات و توسعه، به مواد شاخص ارزیابی و تجهیزات مشخص شده در پروژه کتاب کار برای یک ثبت اختراع برای اختراع 15 (از جمله پنج اختراع ثبت شده بین المللی) اعمال می شود، تا به حال، در مجموع 10 اختراع ثبت شده (از جمله سه اختراع ثبت شده بین المللی )؛ 9 آموزش دانشجویان دکترا، کارشناسی ارشد است.
کارشناسان R & d نتیجه به دست آمده در این پروژه به طور کامل تأیید، با اشاره به انجام تحقیق و توسعه از EUV مقاوم در برابر نور چشم انداز استراتژیک، پس از چند سال تلاش برای اعضای تیم پروژه، تکمیل موفقیت آمیز وظایف تحقیق و توسعه، وظایف پروژه برای دستیابی به کتاب تجویز شاخص؛ ایجاد یک بالا پایان تیم R & D در زمینه مقاوم در برابر نور، کارکنان ارائه دهنده برای توسعه پایدار از نیمه هادی در صنعت مدارات در چین حمایت می کنند.
تم به تحمل واحد های فیزیکی و شیمیایی از آکادمی علوم چین و موسسه واحد شیمی مسئول فرد مسئول برای سال در سخنرانی خود گفت به تیم R & D گروه برای حمایت از مقاوم در برابر نور لطف صمیمانه خود را به تحقیق و توسعه از مواد شیمیایی الکترونیکی درجه بالا ما در توسعه سریع دوره، از اتمام پروژه یک توسعه پایدار از صنعت نیمه هادی چین ارائه تضمین مهم است، می خواهید را به ادامه حمایت به مقاومت در برابر تحقیق و توسعه بالا پایان. تشویق تیم تحقیق و توسعه همچنان به کار سخت، برای بازی در زمینه طراحی و آماده سازی مواد مزایای ویژه ای برای چین توسعه صنعت نیمه هادی سهم خود را به خود اختصاص می دهد.
مقامات و کارشناسان در واحدهای مربوطه از وزارت علوم دفتر پروژه های بزرگ، کمیسیون اقتصادی و فناوری اطلاعات پکن، دفتر 02 پروژه های بزرگ، این گروه به طور کلی از 02 پروژه های بزرگ و 02 پروژه های بزرگ اداری کارشناسان مالی و کارشناسان بازرسی پذیرش کار استخدام با حضور در جلسه پذیرش