"A longo prazo Plano de Desenvolvimento da Ciência e Tecnologia (2006-2020)" para determinar o número de temas prioritários em áreas prioritárias, ao mesmo tempo, em torno do objetivo nacional, ainda mais foco, filtrar vários produto estratégico importante, ou tecnologias genéricas-chave como os principais projectos Grandes projetos, e se esforçam para alcançar um avanço, e se esforçam para alcançar um salto de avanço da produtividade através do salto parcial no desenvolvimento da ciência e da tecnologia.
'Equipamentos de fabricação de circuito integrado extremo e conjuntos completos de processos' projeto especial (02 projeto especial) 'A pesquisa de materiais EUV photoresist e tecnologia de detecção de laboratório' pelo Instituto de química, Academia Chinesa de Ciências, Instituto de física e química, Academia Chinesa de Ciências, Beijing Kehua Micro A Electronic Materials Co., Ltd. compromete-se com os esforços de todos os membros da equipe do projeto, concluímos o projeto, preparação e síntese de materiais-chave para EUV fotoresistente, composição de fórmula e preparação fotorresistente e avaliação preliminar do desempenho do fotorresistente no laboratório. O departamento de P & D do equipamento atendeu aos critérios de avaliação de materiais e equipamentos especificados no livro de missões, e aplicou 15 patentes de invenção (incluindo 5 patentes internacionais). Até o momento, 10 patentes concedidas foram concedidas (incluindo 3 patentes internacionais). Treinados 9 doutorandos e 1 mestrando.
Os especialistas de resultados de I & D alcançados no projeto plenamente afirmados, apontou para realizar pesquisa e desenvolvimento de EUV fotorresiste visão estratégica, após vários anos de esforços para projetar os membros da equipe, a conclusão bem sucedida das tarefas de pesquisa e desenvolvimento, as tarefas do projeto para alcançar o livro prescrito Indicadores, estabeleceu uma equipe de pesquisa e desenvolvimento no campo de fotoresistente de alto grau, e forneceu suporte pessoal para o desenvolvimento estável da indústria de circuitos integrados de semicondutores da China.
Sujeito a suportar as unidades físicas e químicas da Academia Chinesa de Ciências e do Instituto de Unidade de Química no comando da pessoa responsável por anos disse em seu discurso a equipe de P & D do Grupo para apoiar o fotorresiste nossos sinceros agradecimentos a nossa pesquisa e desenvolvimento de produtos químicos eletrônicos de alta qualidade está em rápido desenvolvimento período, a conclusão do projeto irá proporcionar um desenvolvimento estável da indústria de semicondutores da China é uma garantia importante, quero dar apoio contínuo para resistir pesquisa e desenvolvimento high-end; incentivar a equipe de pesquisa e desenvolvimento continuar a trabalhar duro, para jogar no campo do design e preparação de vantagens materiais especiais para China O desenvolvimento da indústria de semicondutores faz sua própria contribuição.
Os principais escritórios responsáveis do Ministério da Ciência e Tecnologia, a Comissão de Economia e Informação Municipal de Pequim, 02 grandes escritórios especiais, 02 grandes grupos especiais e 02 grandes escritórios especiais, especialistas em aceitação de tarefas e especialistas em aceitação financeira e outras unidades relevantes participaram neste Reunião de aceitação.