"장기적인 과학 기술 개발 계획 (2006-2020)", 같은 시간에 우선 순위 분야에 우선 순위 테마의 수를 결정하는 국가 목표의 주위에 더 초점, 주요 프로젝트와 같은 여러 주요 전략 제품, 또는 키 일반적인 기술을 필터링 주요 프로젝트는 획기적인 목표를 달성하기 위해 노력하고 있으며 과학 기술 발전의 부분적 도약을 통해 생산성 향상을 도모합니다.
'EUV 포토 레지스트 재료 연구 및 실험실 기술' '매우 큰 규모 집적 회로 제조 장비 및 화학 연구소, 물리학 및 기술, 북경 지점 마이크로의 과학 연구소의 중국 과학원에 의해 전체 프로세스의 특별한 (02 사업) 프로젝트 전자 재료 유한 공사 공동 노력은. 연구 팀의 모든 구성원의 노력을 통해, 중요한 EUV 포토 레지스트 재료, 배합 조성과 포토 레지스트의 준비, 실험실 성능의 포토 레지스트 예비 평가의 연구 설계, 준비 및 합성을 완료 평가 지수 재료와 작업 책 프로젝트에 지정된 장비 장비 연구 및 개발, 발명 (오 개 국제 특허를 포함) (15)에 대한 특허를 신청 한 지금, 10 개 권한 특허의 총 (세 개의 국제 특허를 포함하는 최대 ), 박사 과정 학생 9 명과 석사 과정 학생 1 명을 훈련 시켰습니다.
완전히 진압 프로젝트에서 달성 R & D 결과의 전문가들은 처방 책을 달성하기 위해 팀 구성원, 연구 개발 과제의 성공적인 프로젝트 완료하기위한 노력, 프로젝트 작업의 몇 년 후, 연구 및 EUV 포토 레지스트 전략적 비전의 개발을 수행하는 지적 지표 : 고급 포토 레지스트 분야의 연구 개발팀을 설립하고 중국의 반도체 집적 회로 산업의 안정적인 개발을위한 인사 지원을 제공했습니다.
포토 레지스트 우리의 연구 및 고급 전자 화학 물질의 개발에 대한 우리의 진심으로 감사를 지원하는 그룹의 R & D 팀에 대한 그의 연설에서 말했다 년 동안 중국 과학 아카데미와 책임자 담당 화학 단위의 학회의 물리적, 화학적 단위를 견딜 주제 급속한 발전에 기간은 중국의 반도체 산업의 안정적인 발전을 제공 할 프로젝트의 완성은 하이 엔드 연구 개발에 저항하는 지속적인 지원을 제공 할 중요한 보장, 연구 및 개발 팀은 중국 특수 소재의 장점의 설계와 준비의 분야에서 재생, 열심히 일을 계속 장려 반도체 산업의 발전은 자체 기여를합니다.
과학 주요 프로젝트 사무실의 교육부, 베이징 경제 정보 기술위원회, 02 주요 프로젝트 사무실, 02 주요 사업 및 사무 금융 전문가 및 작업 승인 검사 전문가를 고용 02 주요 프로젝트의 전체 그룹의 관련 단위의 공무원 및 전문가가 참석 수락 회의.