Il "Piano nazionale a medio e lungo termine per lo sviluppo scientifico e tecnologico (2006-2020)", individuando un gruppo di temi prioritari in settori chiave, incentrato su obiettivi nazionali, ha ulteriormente evidenziato i punti chiave e selezionato una serie di importanti prodotti strategici, tecnologie generiche chiave o grandi progetti come grandi progetti, e si sforzano di segnare una svolta, e si sforzano di raggiungere uno sviluppo cavallina di sviluppo tecnologico locale, saltato per migliorare la produttività.
'Progetto di attrezzature per produzione di circuiti integrati estremi e progetti speciali completi di processi (02 progetto speciale)' La ricerca dei materiali fotoresistenti EUV e tecnologia di rilevamento di laboratorio 'da Istituto di Chimica, Accademia Cinese delle Scienze, Istituto di Fisica e Chimica, Accademia Cinese delle Scienze, Beijing Kehua Micro Con l'impegno di tutti i membri del team di progetto, abbiamo completato la progettazione, la preparazione e la sintesi di materiali chiave per il fotoresist EUV, la composizione della formula e la preparazione del fotoresist e la valutazione preliminare delle prestazioni del fotoresist in laboratorio. attrezzature di ricerca e sviluppo, al materiale e apparecchiature specificate nel progetto compito rubrica valutazione ha richiesto un brevetto per invenzione 15 (di cui cinque brevetti internazionali), fino ad oggi, un totale di 10 brevetti autorizzati (compresi tre brevetti internazionali ); 9 di formazione dottorandi, laureati uno.
Gli esperti dei risultati di R & raggiunti nell'ambito del progetto pienamente affermata, ha sottolineato a svolgere attività di ricerca e sviluppo di EUV fotoresist visione strategica, dopo diversi anni di sforzi per proiettare i membri del team, il completamento dei compiti di ricerca e sviluppo, attività di progetto per realizzare il libro prescritto Indicatori; Istituito un gruppo di ricerca e sviluppo nel campo della fotoresistenza di alta qualità, e ha fornito il supporto del personale per lo sviluppo stabile del settore dei circuiti integrati dei semiconduttori in Cina.
Con riserva di sopportare le unità fisiche e chimiche della Accademia Cinese delle Scienze e l'Istituto di Chimica Unità responsabile della persona responsabile per anni ha detto nel suo discorso al team R & D del Gruppo per sostenere il photoresist il nostro più sentito grazie alla nostra ricerca e sviluppo di prodotti chimici elettronici di alta qualità è in rapido sviluppo periodo, il completamento del progetto fornirà uno sviluppo stabile del settore dei semiconduttori in Cina è una garanzia importante, vuole dare un sostegno costante per resistere ricerca high-end e lo sviluppo; incoraggiare la ricerca e team di sviluppo continuano a lavorare sodo, a giocare nel campo della progettazione e preparazione di vantaggi materiali speciali per la Cina Lo sviluppo dell'industria dei semiconduttori dà il proprio contributo.
I principali uffici responsabili del Ministero della Scienza e della Tecnologia, la Commissione economica e di informazione municipale di Pechino, 02 importanti uffici speciali, 02 grande gruppo speciale e 02 grande ufficio speciale, esperti di accettazione delle attività ed esperti di accettazione finanziaria e altre unità competenti hanno partecipato a questo Riunione di accettazione