Le grand projet de photoresist EUV de science et de technologie national a passé l'acceptation

24 mai, la mission de l'organisation acceptation Bureau de gestion du groupe, «grand équipement de fabrication de circuits intégrés à grande échelle et des ensembles complets de Groupe acceptation financière mise en œuvre particulière de la science nationale et de la technologie des grands projets pour 02 Majeurs matériau de résine photosensible EUV des projets et des essais en laboratoire projet de recherche » a été effectué des tâches d'inspection et d'acceptation financière. les experts ont entendu un rapport sur le chef de projet et chef de projet pour la réalisation des projets et des tâches, le groupe de test sur place des rapports d'essais, des rapports de performance financière, examiner les données d'inspection. après une discussion approfondie, les experts ont unanimement convenu que le projet approuvé.

« À long terme des sciences et de la technologie Plan de développement (2006-2020) » pour déterminer le nombre de thèmes prioritaires dans les domaines prioritaires en même temps, autour de l'objectif national, de me concentrer davantage, filtrer plusieurs produits stratégiques majeurs ou technologies génériques clés que les grands projets grands projets, et nous nous efforçons de réaliser une percée, et nous nous efforçons d'atteindre accélérer le développement du développement technologique locale fait un bond pour stimuler la productivité.

« Recherche sur les matériaux de résine photosensible EUV et de laboratoire » 'très grande échelle des équipements de fabrication de circuits intégrés et processus complet spécial (02 projets) projet par l'Institut de chimie, Institut Académie chinoise des sciences de la physique et de la technologie, Direction générale de Beijing micro matériaux électroniques Co., Ltd engagement commun. grâce aux efforts de tous les membres de l'équipe de recherche, a terminé la conception de l'étude, la préparation et la synthèse de matériaux de résine photosensible EUV critiques, la composition de la formulation et la préparation de résine photosensible, évaluation préliminaire résine photosensible de la performance de laboratoire la recherche et le développement matériel, le matériel de l'indice d'évaluation et de l'équipement spécifié dans le projet de livre de travail a demandé un brevet d'invention 15 (dont cinq brevets internationaux), jusqu'à présent, un total de 10 brevets autorisés (y compris trois brevets internationaux ), les étudiants de doctorat 9 de formation, diplômé d'un.

Les experts des résultats de R & D réalisés dans le projet pleinement affirmée, ont souligné de mener des recherches et le développement de résine photosensible EUV vision stratégique, après plusieurs années d'efforts pour les membres du projet de l'équipe, la réussite des travaux de recherche et de développement, les tâches de projet pour réaliser le livre prescrit indicateurs, la mise en place d'une équipe R & D haut de gamme dans le domaine de résine photosensible, le personnel assurant le soutien au développement stable de l'industrie du circuit intégré semi-conducteur en Chine.

Sous réserve de supporter les unités physiques et chimiques de l'Académie chinoise des sciences et de l'Institut de l'unité de chimie en charge de la personne responsable des années dans son discours à l'équipe de R & D du Groupe pour soutenir la résine photosensible nos sincères remerciements à notre recherche et le développement de produits chimiques électroniques de haute qualité est en développement rapide période, l'achèvement du projet fournira un développement stable de l'industrie des semi-conducteurs de la Chine est une garantie importante, veulent apporter un soutien continu à résister à la recherche et le développement haut de gamme, encourager la recherche et de l'équipe de développement continuent à travailler dur, à jouer dans le domaine de la conception et à la préparation des avantages matériels spéciaux pour la Chine Le développement de l'industrie des semi-conducteurs apporte sa propre contribution.

Les fonctionnaires et experts dans les services compétents du ministère des Sciences Bureau des grands projets, Beijing Commission économique et technologies de l'information, 02 grands bureaux de projets, le groupe global de 02 grands projets et 02 grands bureaux projets appel à des experts financiers et des experts de contrôle d'acceptation des tâches ont assisté à la Réunion d'acceptation

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