Feuille de route technologique «Made in China 2025»: Future Research EUV Lithography Machine

Cet article a été réimprimé avec la permission de Superpower.com.

Pourquoi l'industrie des semi-conducteurs à base de silicium est-elle en mesure de croître? Parce que le silicium est l'un des matériaux semi-conducteurs les plus économiques sur Terre et que le sable contient beaucoup de silicium. D'un autre côté, l'industrie des semi-conducteurs est l'une des industries les plus haut de gamme de l'industrie manufacturière mondiale et une industrie que la Chine cherche à percer.La feuille de route technologique «Made in China 2025» énumère un certain nombre de processus semi-conducteurs à surmonter. Notez la machine de lithographie EUV et l'industrie des plaquettes de 18 pouces.

Dans les trois principales industries de conception, de fabrication, d'emballage et de test de l'industrie des semi-conducteurs, les entreprises chinoises ont besoin de maîtriser davantage de nouvelles technologies.La feuille de route technologique "Made in China 2025" répertorie plusieurs technologies industrielles, dont la technologie HKMG. , Le processus FinFET, l'exposition multiple, le photorésist de 193 nm, le photomasque et diverses technologies d'emballage avancées, mais en termes de matériel majeur et de matériaux de montage, il existe le contenu technique suivant:

Parmi les quatre aspects du matériel de fabrication, des machines de lithographie, des matériaux de fabrication et des équipements et matériaux d'emballage, il existe actuellement des forces techniques dans le pays, parmi les équipements de procédés 20-14nm, les machines de lithographie immersives et les matériaux de procédés 20-14nm. Recherche, ne pas besoin de 2025, processus domestique 14nm sur la production d'énergie, l'industrie des matériaux connexes aura également une percée.

Ce plusieurs techniques sophistiquées principalement des machines de lithographie EUV, du matériel et des plaquettes de 18 pouces (paquet TSV également pris en considération, mais l'autre dit), je suis sensible à la raison en est que ces deux technologies ne sont pas facile, l'industrie des semi-conducteurs est extrêmement difficile une nouvelle génération de la technologie, les processus, ces défis ne diminuent pas des difficultés techniques pour la Chine.

En ce qui concerne la lithographie EUV, l'Académie chinoise des sciences de Changchun Institut d'Optique, a dirigé le développement d'une science nationale et de la technologie des grands projets 02 projets - « Technologies clés pour Extreme Ultraviolet Lithography » en 2016 lors de l'inspection, bien que ce soit seulement une pré-recherche technique, de créer lithographie EUV loin, mais au moins que le pays est encore dans l'équipe de recherche et développement.

Quant aux autres plaquettes de 18 pouces, c'est-à-dire les plaquettes de 450mm, qui étaient également très internationales les années précédentes, ITRS (International Semiconductor Technology Roadmap Alliance) a prédit avec optimisme que les plaquettes de 18 pouces seront disponibles en 2012. , Le résultat ... Précédemment déclaré que Intel utilisé des plaquettes de 18 pouces en 2018, TSMC n'a pas mentionné de plaquettes de 18 pouces au cours des dernières années, et le développement de la technologie peut encore être en cours, mais l'avenir des usines de plaquettes de 18 pouces Il est également peu probable qu'il soit là au cours de l'année.

Nous savons tous que plus le diamètre de la tranche, plus la zone et la zone de plaquette de 18 pouces est de 12 pouces (300mm) de 2,25 fois, si la production augmentera considérablement la production de la puce, mais la préparation est pas wafers de grande taille Facilement, l'investissement de fabrication connexe est également d'un niveau de milliards de dollars, le risque est trop élevé, et aucune entreprise n'a encore vu la possibilité d'investir et de mettre en place des usines.

De ce point de vue, si le domestique peut vraiment sortir du processus de plaquette de 18 pouces et de l'équipement, il est en train de dépasser la route, peur de craindre que cette feuille de route soit si décontractée, ne considère pas la possibilité de l'avenir.

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