SMIC потратила 120 миллионов долларов США на покупку литографической машины EUV EUV от ASML в Нидерландах. Ее можно использовать для производства 7-нм технологических чипов в будущем. Yangtze River Storage также открыла свою собственную литографическую машину, также из ASML, но Это 193-нм погруженный тип, используемый для производства 20-14-нм техпроцесса 3D NAND флэш-памяти, 72 000 000 долларов США.
Согласно докладу о Вэйбо, утром 21 мая, в южном районе промышленного парка Каньцяо, Новый район Пудун в Шанхае, был построен и эксплуатируется 12-дюймовый проект по строительной линии производства Shanghai Huali IC Manufacturing Co., Ltd. под руководством Hua Hong Group («Huahong Sixth Factory», ') Реализовать первое оборудование литографического оборудования технологического оборудования.
Модель литографической машины - NXT 1980Di, которая по-прежнему предоставляется голландским ASML. Последний представитель показывает, что Это 193-нм двухуровневая погружная литографическая машина для производства 10-нм (14 ~ 20 нм) вафель. Это также самое передовое оборудование для погружения литографии в материковый Китай.
Согласно официальному сайту Huali Microelectronics, завод Huahong № 6 является второй 12-дюймовой производственной линией компании с ежемесячной производственной мощностью 40 000 единиц. Технологическая технология начинается с 28 нм. В конечном итоге будет производиться высокопроизводительная чиповая производительность 14-нм измерений.
Кроме того, согласно статистике CCID Consulting, согласно продажам, Shanghai Huahong занял пятое место в десятке крупнейших в мире компаний по производству интегральных схем в 2017 году.
