SMIC صرف 120 میلیون $ برای خرید یکی از هلند ASML EUV ماشین آلات شدید لیتوگرافی اشعه ماوراء بنفش برای تولید آینده 7nm فن آوری تراشه، ذخیره سازی یانگ تسه در اولین ماشین چاپ سنگی خود را از ASML طلیعه، نیز، اما غوطه وری 193nm است برای تولید 20-14nm روند 3D NAND ویفر حافظه فلش، یک 72 میلیون $.
این مجموعه میکرو شبکه گزارش، 21 صبح، منطقه جدید Pudong در شانگهای Kangqiao پارک صنعتی در استان جنوب، شانگهای هوآ هنگ گروه شرکت ساخت و ساز گیم Huali و بهره برداری از مدار مجتمع تولید 12 اینچی ساخت و ساز پروژه خط تولید پیشرفته ( "هوآ هنگ لیو چانگ ') اولین دستگاه لیتوگرافی تجهیزات فرآیند را در داخل وارد کرد.
این مدل ماشین لیتوگرافی NXT 1980Di، هنوز هم ارائه ASML هلند، صفحه نمایش رسمی دوم، این یک دستگاه لیتوگرافی غوطه وری دو سطحی 193 نان است که برای تولید ویفر 10nm (14 ~ 20 نانومتر) تولید شده است. همچنین از پیشرفتهترین تجهیزات لیتولوژی غوطه وری در سرزمین اصلی چین است.
با توجه به وب سایت رسمی Huali Microelectronics، Huahong No. 6 Plant دومین خط تولید ویفر 12 اینچی با ظرفیت تولید ماهانه 40،000 واحد است. تکنولوژی فرایند از 28 نانومتر آغاز می شود. در نهایت ظرفیت تولید تراشه های با عملکرد 14nm بالا خواهد داشت.
علاوه بر این، با توجه به آمار CCID Consulting، بر اساس فروش، شانگهای Huahong رتبه پنجم در شرکت های تولید کننده مدارهای مجتمع 10 ساله در سال 2017 را به خود اختصاص داده است.
