SMIC는 양쯔강 저장도 ASML에서 또한 그의 첫 리소그래피 기계에 안내 미래 칩 기술 7nm의 생산을위한 네덜란드 ASML EUV 극 자외선 리소그래피 기계에서 하나를 구입 $ 2000 만 달러를 지출하지만, 193nm 몰입 형으로 20 ~ 14nm 공정의 3D NAND 플래시 메모리 웨이퍼 (7 천 2 백만 달러)를 생산하는 데 사용됩니다.
그것은이 설정되어 마이크로 네트워크 월 (21) 아침,보고, 남부 지구에서 상하이 Kangqiao 산업 단지 푸동 신구, 상하이 화홍 그룹 유한 회사 Huali 건설 및 집적 회로의 동작을 제조 12 인치 고급 생산 라인 건설 프로젝트 ( "후아 홍 리우 창 ') 이사 한 첫 번째 공정 장비 리소그래피 기계 실현.
리소그래피 기계의 모델은 NXT 1980Di로 네덜란드 ASML이 제공하고 있습니다. 이것은 10nm (14 ~ 20nm) 웨이퍼 생산을위한 193nm 듀얼 레벨 침지 리소그래피 기계이며, 중국 본토에서 가장 진보 된 이머 션 리소그래피 장비이기도합니다.
Huali Microelectronics의 공식 웹 사이트에 따르면, Huahong 6 공장은 월간 생산 능력이 4 만개 인 두 번째 12 인치 웨이퍼 생산 라인이며 공정 기술은 28nm부터 시작한다. 궁극적으로 14nm 측정의 고성능 칩 생산 능력을 보유하게 될 것입니다.
또한 CCID Consulting의 통계에 따르면 매출액에 따르면 상하이 화홍은 2017 년 국내 상위 10 개 집적 회로 제조 회사에서 5 위를 차지했다.
