SMIC, यांग्त्ज़ी भंडारण भी ASML से, अपनी पहली लिथोग्राफी मशीनों की शुरुआत भी भविष्य चिप प्रौद्योगिकी 7nm के उत्पादन के लिए नीदरलैंड ASML EUV चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी मशीनों से एक को खरीदने के लिए 120 मिलियन $ खर्च किए, लेकिन 193nm विसर्जन, एक 72 लाख $ 3 डी NAND फ्लैश मेमोरी वेफर की प्रक्रिया 20-14nm के उत्पादन के लिए है।
यह सेट कर दिया जाता सूक्ष्म नेटवर्क सूचना दी, 21 मई की सुबह, दक्षिणी जिले में शंघाई Kangqiao औद्योगिक पार्क में पुडोंग न्यू एरिया, शंघाई हुआ हाँग समूह कंपनी लिमिटेड Huali निर्माण और एकीकृत परिपथ के संचालन के निर्माण 12 इंच उन्नत उत्पादन लाइन निर्माण परियोजना ( "हुआ हाँग लियू चांग ') पहली लिथोग्राफी प्रक्रिया टूल लोड करता है।
यह लिथोग्राफी मशीन मॉडल NXT 1980Di, अभी भी, ASML नीदरलैंड, बाद आधिकारिक प्रदर्शन प्रदान कर रहा है यह 10 एनएम (14 ~ 20 एनएम) वेफर उत्पादन के लिए 1 9 3 एनएम दोहरी-स्तर की विसर्जन लिथोग्राफी मशीन है। यह मुख्य भूमि चीन में सबसे उन्नत विसर्जन लिथोग्राफी उपकरण भी है।
हूली माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक आधिकारिक वेबसाइट के मुताबिक, हुआहोंग नं। 6 प्लांट कंपनी की दूसरी 12 इंच की वेफर उत्पादन लाइन है, जिसमें 40,000 इकाइयों की मासिक उत्पादन क्षमता है। प्रक्रिया प्रौद्योगिकी 28 एनएम से शुरू होती है। आखिर में 14 एनएम माप की उच्च प्रदर्शन चिप उत्पादन क्षमता होगी।
इसके अलावा, सीसीआईडी परामर्श के आंकड़ों के अनुसार, बिक्री के अनुसार, शंघाई हुआहोंग 2017 में घरेलू शीर्ष दस एकीकृत सर्किट विनिर्माण कंपनियों में पांचवें स्थान पर रहा।
