Hua Hong 12 pouces wafer fab équipée de la machine de lithographie par immersion la plus avancée sur le continent: Vers 14nm

SMIC a dépensé 120 millions $ pour acheter un des Pays-Bas ASML EUV machines de lithographie extrême ultraviolet pour la production de 7 nm de la technologie future puce, le stockage Yangtsé a également inauguré ses premières machines de lithographie, également de ASML, mais immersion 193nm est procédé pour la production de 20-14nm de tranche de mémoire flash NAND 3D, un 72 M $.

Il est mis en micro-réseau rapporté, le 21 mai au matin, la nouvelle zone de Pudong à Shanghai Kangqiao Industrial Park dans le district du Sud, la construction de Shanghai Hua Hong Group Co., Ltd Huali et le fonctionnement du circuit intégré de fabrication de 12 pouces projet de construction de la ligne de production ( « Hua Hong Liu Chang ') Réaliser la première machine de lithographie d'équipement de processus déplacée.

Ce modèle de machine de lithographie est NXT 1980Di, fournissent encore ASML Pays-Bas, ce dernier affichage officiel, Il s'agit d'une machine de lithographie par immersion à deux niveaux de 193 nm destinée à la production de plaquettes de 10 nm (14-20 nm), qui est également l'équipement de lithographie par immersion le plus avancé en Chine continentale.

Selon le site officiel de Huali Microelectronics, Huahong No. 6 Plant est la deuxième ligne de production de plaquettes de 12 pouces de l'entreprise, avec une capacité de production mensuelle de 40 000 unités. En fin de compte aura une capacité de production de puce haute performance de 14 nm de mesures.

En outre, selon les statistiques de CCID Consulting, selon les ventes, Shanghai Huahong s'est classée cinquième dans les dix premières entreprises de fabrication de circuits intégrés domestiques en 2017.

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