وتأتي هذه الأخبار في الوقت الذي تتنافس فيه جلوبال فاوندريز وسامسونغ وتسمك على ترقية نظامها الخاص بالاتحاد الأوروبي (EUV) إلى مصدر إضاءة عالي 250 وات متاح للإنتاج العام السابع من العام المقبل ، وقد برزت هذه العيوب العشوائية في الوقت الحاضر. عرض ، لزيادة تكلفة وتعقيد تصنيع أشباه الموصلات ، ليس هناك رصاصة سحرية لحل المشكلة.
على قال خبراء الرسومات البلجيكية مؤسسات البحوث IMEC جريج ماكنتاير في الجمعية الدولية للهندسة الضوئية مؤتمر تكنولوجيا الطباعة الحجرية المتقدمة (SPIE المتقدم الطباعة الحجرية) الذي عقد مؤخرا في ولاية كاليفورنيا أحدث الماسح الضوئي فوق البنفسجي يمكن طباعتها بمثابة 7nm مسبك 20NM المخطط والمواصفات الرئيسية من الحجم الكبير، إلا أنها ليست واضحة في إنتاج الخطوط الدقيقة وسعة الثقوب.
مثل ماكنتاير يعتقد المتفائلون، لهذا ما يسمى ب "الآثار العشوائية" قريبا سيكون هناك سلسلة من الحلول، ولكن بعض المشككين يعتقدون أن هذه النتيجة هي مجرد سؤال والمزيد من الناس النظام فوق البنفسجي واحدة السبب - إذا مكلفة وطال انتظاره نظام فوق البنفسجي سوف تصبح حقا السائدة أداة صانع رقاقة؟
توقع يان بوروودوفسكي ، وهو تقني سابق في تقنية الطباعة الحجرية من إنتل ، أن يتمكن مهندسو الصناعة من استخدام السائر EUV من أجل 2-3 تعريضات لإنشاء مكونات 5nm أو حتى 3nm ، لكنه أشار أيضًا إلى الخطاب الرئيسي في هذا الحدث. مع ارتفاع عيوب رقاقة، وفي نهاية المطاف سوف تجبر المهندسين لتبني العمارة خطأ معالج متسامح جديدة، مثل الشبكات العصبية.
عيب الزوار ظهرت فجأة على الأبعاد الحرجة من حول 15nm، وغير ذلك. ذكر الصانع فوق البنفسجي ASML في دورة العام الماضي لعمليات عقد الهندسة والتكنولوجيا اللازمة لتصنيع 2020s 5nm رقاقة، والشركة هي جاهزة للطبع أكثر وسيتم إطلاق الهندسة الدقيقة للجيل القادم من أنظمة فوق البنفسجي، ولكن هذه الأنظمة بعد عام 2024.
تأتي العيوب العشوائية بأشكال عديدة ، بعضها عبارة عن ثقوب تسبب عيوبًا ، والبعض الآخر شقوق خطية ، أو دوائر قصيرة بين سلكين وثقبين ؛ لأن حجم هذه العيوب صغير جدًا ، يضطر الباحثون أحيانًا إلى إنفاق عدد قليل منهم. يستغرق الأمر أيامًا للعثور عليه.
يصف McIntyre التحديات التي يمكن مواجهتها في اكتشاف الأخطاء والتخلص منها ، على سبيل المثال ، اقترح بعض الباحثين طريقة معيارية لقياس خشونة الخط ، والتي تعد واحدة من مفاتيح فهم العيوب.
مشكلة أخرى هي أن ما يحدث ليس واضحا متى. وأشار المواد مقاومة للضوء عبر مصدر الضوء فوق البنفسجي ماكنتاير إلى أن "لا يعرف عدد الإلكترونات يتم إنشاؤها، وسيخلق المواد الكيميائية للفيزياء ...... نحن أيضا لا نفهم تماما، لذلك هي أكثر التجارب جارية ". وأشار إلى أنه اختبر العلماء مزيج من ما يصل الى 350 أنواع مقاومة للضوء وعملية تصعد.
العائد القلق في 7nm / 5nm
قال خبراء الطباعة الحجرية المتقاعدين صناعة التصنيع ستعاني بسبب انخفاض العوائد وضربة كبيرة ...... إذا كنت مسؤولا عن هذا، ثم أود أن أقول أنه حان الوقت للتقاعد، 'في ندوة حول عيوب 5nm .
وقال خبراء فنيون من جلوبل يتم نشر أكثر تفاؤلا نسبيا ولكن مسبب حجة في خطاب رئيسي آخر عندما جورج Gomba، نائب رئيس قسم الأبحاث في جلوبل بأثر رجعي كرس ما يقرب من 30 عاما من فوق البنفسجي التاريخ :. هذه مهمة شاقة ، ثم هناك المزيد من العمل للقيام به.
"لا تلبي توقعاتنا خطة لتطوير بعض المتطلبات، لذلك 'اليوم أنظمة NXE 3400 عندما 7nm" لا يزال هناك بعض الشكوك. إذا لم يكن لتحسين الإنتاجية وسهولة الاستخدام، ونحن قد يكون من الصعب تحقيق أقصى قدر من قيمة فوق البنفسجي. "
وأشار Gomba أن العيوب عشوائية يضم 5nm كسر غرامة 3D والمسيل للدموع، على سبيل المثال، الشقوق أو ما شابه ذلك على خطوط. كما دعا إلى مزيد من العمل على ما يسمى النظام الضوئي للالطباعة الحجرية باستخدام شبيكة في جليدة الفن فوق البنفسجي قناع يغطي قبل الكشف.
"من أجل الاستفادة الكاملة من فوق البنفسجي، وسوف نحتاج إلى نظام الكشف الشعاعي، وإن كانت لا تزال قيد التطوير، ولكن ما في وسعها المتاحة بالفعل شعاع الالكترون الثانوي (شعاع ه) نظام التفتيش الشبيكة".
Borodovsky في مقابلة، والعوامل الأخرى التي قد تسبب عدم وجود عيوب التوحيد 5nm من المواد مقاومة للضوء فوق البنفسجي التقليدية. وبالإضافة إلى ذلك، وقال انه يؤيد أيضا شعاع الالكترون الكتابة المباشرة، بسبب تعقيد القناع مرحلة التحول باستخدام فوق البنفسجي في نهاية المطاف توسعت إلى 8 أضعاف سعر أقنعة الغمر الحالية.
لام البحوث من قبل مؤسس ديفيد لام شركة المتعدد الحزم التكنولوجيا شعاع الالكترون أنشئت مؤخرا في 35 مليون $ من أموال الحكومة، ويأمل لبناء التشريعات القائمة على السوق ينطبق على النظم التجارية ضمن سنوات ونصف السنة، ولكن مناسبة للكتلة يستغرق إصدار الإنتاج وقتًا أطول أيضًا.
وقال Borodovsky إلى 2024، قد تصبح عيب شائع جدا من شأنها أن معالج التقليدية لن تكون قادرة على تصنيع عملية متقدمة باستخدام المدمج في رقاقة الذاكرة مجموعة اختبار جزءا لا يتجزأ من عنصر الحوسبة قد يكون التسامح مع الخطأ العالي، على سبيل المثال، صحيح رقائق الشمالية آي بي إم، ومختبرات HP (مختبرات HP) لخلق نتائج ممرستور.
