'딜레마'마이크로 7nm 에칭 장비 주목 | 국내 반도체 장비 딜레마를 해결하는 방법?

1. 마이크로 나노 7 에처주의, 중국은 새로운 반도체 재료 산업 단지 프로젝트 (156) 위성 우주 기반 글로벌 인터넷 와이파이 신호 커버리지;? 푸 저우 하이테크 존 3. 50억위안 투자를 구축 할 것입니다 국내 반도체 장비 2의 곤경을 해결하는 방법;

1 7 나노 미터 에칭 기계 우려, 국내 반도체 장비는 어떻게 처지를 해결하기 위해?

마이크로 네트워크 뉴스를 설정, 2 분기 여섯 번째 에피소드 "인터넷에서 승리"무거운 방송 3 큰 CCTV 다큐멘터리 '대국 무게 장비 "의 저녁, 마이크로 제조 장비 (상해) 유한 공사 7 나노 미터 칩 에칭 기계는 영광하기 그들에 포함되어 있습니다.

반도체 산업의이 단계에서 가장 진보 된 공정 노드에서 생산 된 에너지는 어플라이드 머 티어 리얼 즈 (Applied Materials에), 콜린 연구 개발 (LAM), 도쿄 전력 등 5 개 주요 장비 제조업체를 포함하는 7nm, 7 나노 미터 제조 공정 장비의 측면에서 TSMC 전체 납, 인 지점 (TEL), 히타치 팁 (히타치)은 TSMC에 AMEC. 마이크로은 단지 7 나노 미터 제조 공정의 에칭 장치 본토 국내 장비 제조업체이다.

이번에는 CCTV, 중국, 실리콘 마이크로에 깎아 한 화학적 활성화 플라즈마를 이용한 플라즈마 에칭 기술을 사용하여 상기 제 자체 개발 칩 7 나노 에칭 시스템, 마이크로이다 포함 회로.

보고서 칩 ICP 에칭 임계 치수 크기, 칩 온도에 따라 일대일 관계가있다. 우리는 제 1 내지 에칭 균일 2도 이내에서 제어되어야 칩 전체의 온도 차이를 달성하는 경우. 년 자체 개발 한 온도 제어를 정밀 식각 처리가 국제적 수준보다 0.75도 이내에 유지하도록 설계된 마이크로 서모.

가스 샤워 플레이트 에처 코어의 가장 중요한 요소 중 하나이고, 상기 칩 에처의 중요한 기술적 사항은 7 ㎚이다. 에칭 시스템 성능에 미치는 영향에 대한 설계 및 재료 선택이 중요하다. 년 마이크로 및 국내 제조 업체가 개발하고 서멧의 플라즈마 강화 된 물리적 및 화학적 강수량의 집합을 최적화하기 위해,이 혁신적인 방법은 크게 재료의 성능을 향상 시켰습니다, 곡물은 더 정교하고, 밀도가 높고, 결함은 거의 제로 스프레이 플레이트의 현재 사용에 비해, 중국의 세라믹 코팅 스프레이 디스크 수명은 두 배가 될 수 있으며 비용은 1/5 이하입니다.

마이크로 회장 겸 CEO 박사 Yinzhi 야오는 말했다 : "중국은 2020 큰 나라와 마이크로 칩 집적 회로 장치 생산, 새로운 칩 생산 라인에 대한 투자는 미국, 일본, 한국 및 다른 지역보다 더 많은 것입니다 투자, 중국은 최대 칩 생산 기지 중 하나가 될 것이며 우리는 2030 년까지 중국의 칩 및 마이크로 장치 처리 능력과 규모가 국제 선진 수준보다 더 많은 것을 따라 잡을 수있을 것이라고 믿습니다.

리소그래피 기술은 여전히 ​​후진 적이며, 중국은 열심히 EUV 공급을 고대하고있다.

그것은 특히 EUV 리소그래피 기계 분야에서, 마이크로 에칭 기계 분야의 장소가있다, 주목할만한,하지만 고급 리소그래피 공정에서 가장 중요한, ASML은 세계는 대량 생산에 볼 수있다.

리소그래피는 칩 제조의 핵심 장치 중 하나이며, 용도에 따라 칩 제조용 리소그래피 기계, 패키징 용 리소그래피 기계 및 LED 제조 용 프로젝션 리소그래피 기계로 나눌 수 있습니다. 칩을 생산하는 데 사용되는 리소그래피 기계는 중국이 반도체 장치 제조업체에서 만드는 가장 큰 짧은 보드이며, 팹이 필요로하는 국내 고급형 리소그래피 기계는 수입에 전적으로 의존합니다.

EUV 리소그래피는 최고 수준의 광 개발의 현재 응용 프로그램을 나타내는 동작 파장에 대한 13.5nm EUV 프로젝션 리소그래피 기술의 파장을 사용합니다. 차세대 리소그래피 기술로, 무어의 법칙은 업계를 저장하는 임무를 받고있다 .

기술과 자본 임계 값 임계 값의 집적 회로 산업, 연구 개발의 왕관의 보석과 같은 리소그래피 기계 산업은 매우 높다. 또한 왜, 아주 작은 하이 엔드 리소그래피 기계 제조 업체를 생성 할 수있는 가장 진보 된 14nm 리소그래피에에 ASML만이 일본의 Canon과 Nikon은 기본적으로 6 세대 EUV 리소그래피의 개발을 포기했다.

반면, 수입에 전적으로 의존 필요한 국내 하이 엔드 팹 리소그래피. 이는 장비, 산업 발전도 큰 부작용을 가지고 독립적 인 기술의 성장을 사기 위해 돈을 지출하는 국내 팹하게 아닙니다.

그들은 27 개 단위의 총 가치를 축적 EUV 리소그래피 시스템을 출하에 대한 주문을하지 않았다, 2017 년 2 분기에 팔 EUV 시스템을위한 자사의 2017 년 2 분기 실적, 신규 주문에 따라 공급 업체 ASML의 80 %의 시장 점유율을 차지 최대 2800000000 유로. 회사는 현재 12 단위의 연간 생산량을 가지고, 2018은 2019 년 24 단위로 증가하여 생산 능력의 40 단위의 연간 생산량에 도달합니다.

ASML은 EUV 장비가 중국에서 금지되어 있다는 소문에 따라 ASML은 ASML이 본토 팹과 국제 고객을 모두 고객으로 취급하지 않는다고 설명했다. 단일, EUV는 중국에 가져올 수 배달에 아무 문제가 없습니다, 모든 고객은 또한 공식 배송에 주문에서 정확히 동일합니다, 회사는 이미 본토 팹 거인과 ASML은 7 나노 미터 공정 EUV 주문 협상을 시작하여 2019 년에 본토 최초의 EUV가 착륙 할 것으로 예상됩니다.

판매를 위해 금지되어 있든 또는 대기 중인지 여부에 관계없이 중국 반도체 산업의 발전에있어 장비의 단점으로 입증되는 중국 제형은 확실히 우선 공급 범위에 포함되지 않을 것입니다.

EUV의 탄생은 모든 산업에 의해 이루어진 노력의 결과입니다

국내 반도체 전문 소스는 AMSL 역사와 중요한 순간은 회사의 침투 역사적인 전환점이 될 빨리, 회사의 '개방형 혁신 프레임 워크'덕분에 기회를 포착하고 기술을 도약 달성 할 수있다 리소그래피 장비의 탄생은 많은 공급 업체 및 파운드리의 공동 노력의 결과이기도합니다.

예를 들어, 그는 첨단 공정 R & D 부서, 다양한 제안에 회사 ASML에 몇 십 개 개선을 넣어 공정 개발 팹 직원 작업의 선두 주자는 수천 주어진 팹을 향상시킬 수 있도록 지원합니다.

대량 생산 공정에 대한 연구 개발은 거친 EUV로 가득합니다.

우리 모두가 무어의 법칙의 진화, 더 진보 된 공정 기술 연구 개발은 높은 비용과 함께, 당신은 반도체 제조업체의 속도로 계속 가격을 호출 할 수 있습니다 투자다시피 적게를 가지고, 연구 및 EUV 개발의 높은 비용조차하지 않습니다 회사는 그것을 감당할 수 있습니다.

EUV의 기술적 어려움, 필요한 투자의 양이 너무 높기 때문에 그 때, 다른 두 리소그래피 장비 제조업체 ── 일본의 니콘과 캐논은 개발을 포기해야합니다. ASML은 반도체 산업이 첨단 공정의 차세대 전력 질주를 계속할 수 있습니다되었다 개발 전력 효율이 높고 빠른 트랜지스터에 대한 마지막 희망.

ASML은 또한 회사는 회사는 인텔, 삼성, TSMC와 다른 거인의 자금 조달에 초대를 발행하는 엄청난 개발 비용 만 장치를 감당할 수 있다는 것을 배웠습니다.이 회사는 성공적으로 투자자로 기존 고객을 따라 인텔, TSMC, 삼성 전자와 다른 회사와 나중에 EUV 연구 개발 '지원'$ 4.1 억 2억7천6백만유로, 779,000,000유로했다 ASML에 투자합니다.

국내 반도체 소자의 처지, 초원 화재를 촉발 기다립니다

불완전한 통계에 따르면, 2018 년 --2020 중국 본토 다섯 12 인치 웨이퍼 생산 공장을 건설, 총 투자 이상의 3천억위안 될 것입니다, 중국에 따라 2018 년 '설치 전쟁', 반도체 장비에 대한 수요가 크게 증가의 시작 부분에 안내 할 것으로 예상된다. 세관 정보 네트워크 통계, 2017 년 중국 본토의 주요 반도체 장비 총 수입은 $ 5.483 억 7,600,000,000위안 이상 32 %의 증가를 도달 할 것입니다 2017 국내 반도체 장비 매출이 예상되어 13.8 % 증가했다.

거대한 수요에 직면하여 중국은 수입에 거의 전적으로 의존 반도체 장비에 직면하고있다. 중국 전자 생산 장비 산업 협회, 금 Cunzhong은 세계 반도체의 단지 2 %에 그 국내 장비 계정을 지적했다.

반도체 산업의 급속한 발전의 물결에서 상태가 '매우 큰 규모 집적 회로 제조 장비와 완벽한 공정 특별한'과학 기술 (02 특별)의 주요 사업을 채택하고, 중국의 반도체 장비 산업은 CCID에 따르면, 처음부터 돌파구를 달성하기 위해 데이터 탱크, AMEC, 심양 확장 징, 베이징, 회사 및 기타 제품의 수는 심사 과정과 생산 라인의 검증을 통과 한 생각한다. 중국의 반도체 제조 산업은 땅에 내려 가지고, 창조적으로, 일부 기업은 자본 시장에 제품을 입력하기 시작 일부 기계는 이미 수입 대체 능력을 보유하고 있으며 장비 수요가 최고 수준에 도달하기 위해 하류 확장 보너스를 처음으로 구매할 것으로 예상되지만 일반적으로 중국의 장비 산업은 여전히 ​​많은 어려움에 직면 해 있습니다.

내부자는 마이크로 그리드 세트, 반도체 산업은 시장 지향,뿐만 아니라 산업에 대한 매우 높은 임계 값 둘 다 지적, 이것은 필연적으로 그것을 배울 매우 어렵 개발자에게. 국내 장비, 예를 들어, 많은 국내 생산 라인을 구입하지 않으려는 이어질 것 장비, 그들은 경제적 이익을 고려하기 때문에, 수제 장치를 시도 할 수있는 기회를 제공하고 싶지 않아, 성숙 외국 장비의 선택은 가장 안전한 방법이며, 국내 장비의 선택은 위험을 많이하고있다. 국내 장비가 재판에 어떤 기회가없고 아무런 문제를 발견하지 않기 때문에 개선 문제의 기회, 그렇게 빨리 진행하기가 어렵다.

아무도 사용하지 않는 때문에, 그래서 국내 반도체 장비 산업을 개선 할 기회가 없습니다, 복잡한 제품 기업의 제조를 위해, 점차 내가 나쁜 장치를 느꼈기 때문에, 마지 못해 함께 '시행 착오의 학습 과정은 그러나, 매우 중요 증가하고있다. 그것은 무한 루프에 있습니다. '

팹의 관점에서 볼 때, 정부는 국내 장비의 적용을 장려하고 있지만 생산 라인을 대신하여 결정을 내릴 수는 없다. 그때까지 누가 수익률에 대해 책임지지 않을 것인가?

'키 몇 가지 문제에 대한 결과는 스마트 상상 재생하기 위해 국내 업계에서 가장 말도 많은 사람들이 단순히 칩을 보지뿐만 아니라 사업을하거나 반도체의 반도체 필드를 복사 할 수 있다는 것입니다보다 많은 경우에 당연시.'R & D 인력을 마이크로 집합에 그물 너무 Tucao.

어려운 이었지만, 국내 반도체 장비는 기회가?이 새로운 문제를 해결하는 경우, 뷰, 새로운 장비로 표현되었다만큼 장치의 전면이 아닌 거대한 경쟁이 단지 성숙 외국 장비를 교체 한 많은 국내 장비의 기회로, 이것은 긍정적 인 경쟁이며, 매우 어렵습니다.

기타가 표현 뷰, 장비, 포토 레지스트, 슬러리 및 다른 목표는 언제든지 기회를 가질만큼 심각, 팹가 열려, 공포 장님이 깜박입니다. 할 수있는 '장 펭 대상, 마이크로 에칭을 기계, 중국어 전자 빔을 마이크로가 할 일, LG는 베어 웨이퍼를 할 좋은 예입니다. 가장 큰 항목이 리소그래피의 부족이다. "업계가 기업의 숫자가 해치이 있고, 국내 02 프로젝트 '라고 사업은 화재, 그들이 현재 개발이 충분히 큰되지 않습니다이다. 그러나 나는 함께 자란 그들은 중국의 팹 다음과 같은 업계의 발전에 전환점의 일부를 잡을 것입니다 믿습니다. '

2. 중국은 전 세계를 커버하는 156 개의 위성 공간 기반 인터넷 WiFi 신호를 만들 것이다.

최근, 두 개의 작은 위성이 장착 된 루틴 팔콘 아홉 로켓 발사 임무 중 - '틴틴 -a'와 '틴틴 -b', 그들은 스페이스 엑스 스타 체인입니다 (스타 링크가) 위성을 테스트 할 계획 지상에서 수행됩니다 통신 테스트.이 프로젝트는 세계로, 2024 년 초고속 인터넷 서비스의 도입을 거의 12 000 작은 위성을 발사 할 계획이다.

그러나, 우리는 사향 와이파이 암호를 찾기 위해 서둘러하지 않아도, 중국의 우주 기반 인터넷 공사중에 있습니다.

글로벌 모바일 광대역 위성 인터넷 시스템 건설 시작 예정

기자는, 그룹 전체 올해 글로벌 모바일 광대역 위성 인터넷 시스템 구축을 출시 할 계획이다 중국 항공 우주 과학 기술 그룹에서 배웠습니다.이 시스템은, 건설 프로젝트, 54 개 위성을 발사 할 후속을 구현할 낮은 궤도 통신 위성의 별자리에 배포 시스템 성능의 원활한 전환을 위해 위성의 수는 300 개가 넘을 것입니다.

CPPCC의 부재와 항공 우주 기술 그룹 CST 패키지 웨이 민 이사는, 시스템이 공간 정보 네트워크 인프라 원활한 글로벌 범위에 내장되고, 땅이, 휴대용 모바일, 고정 할 수 있습니다 자동차, 선박 부담, 공기 및 기타 터미널 인터넷 전송 서비스를 제공 깊은 바다, 북극과 남극에, 그리고 다른 지역 '길을 따라'넓은, 협 대역 통신 지원 기능이 결합 달성하기 위해. 원활한 글로벌 범위를 이러한 시스템을 통해, 사람을 지구 나에 어떤 장소에 객체는 언제든지 정보 상호 연결을 통해 얻을 수 있습니다.

첫째, 지능 통신 단자, 전화로 상업 위성 별자리 직접 액세스를 지원하는 고화질 음성 서비스, 마이크로 문자와 다른 인스턴트 메시징 서비스, 이메일 서비스 등을 제공 : 기자는 글로벌 모바일 광대역 위성 인터넷 시스템은 여섯 개 측면에서 능력을 달성 할 것을 배웠다 ; 사용자가 유사한 지상파 네트워크 및 해양 낚시와 다른 시장, 원격 교육, 원격 의료 서비스 지원을위한 현장 운영을 인터넷 경험을 즐길 수 있도록 둘째, 인터넷 접속, 대기 시간이 짧은 데이터 서비스 기능, 셋째는 물건을 가지고하는 것입니다 환경 모니터링, 새로운 해양 물류, 유해 화학 물질, 모니터링, 트래픽 관리, 해양 및 기타 정보에 대한 산업 수요 개발에 초점을 맞춘 것들의 저전력 단말기의 소형화 서비스로, 네 번째 핫스팟 정보 푸시를, 위성 광역 범위의 특성을 활용, 달성하기 위해 보다 정확하고 신뢰성을 제공하기 위해 다섯 번째 탐색 향상, 앞으로 나침반 차동 수정, 항공기, 차량 위치 터미널, 문화 선전, 재해 경고, 공공 안전 경고, 날씨 방송, 실시간 방송은 핫 포커스 헤드 라인 방송, 라디오 교통 등을 밀어 위치 서비스는 무인 자동차 운전, UAV 제어를 충족 준 농업, 엔지니어링 기계 시장 개발 요구, 여섯째, 항공 및 해상 감시 항공기는 통계 데이터 부가 가치 서비스를 제공, 선박의 글로벌 전체 사이클 추적을 달성했다.

홍 윤 공학 기술 시범 위성은 올해 시작

중국 우주 항공 과학 공업 주식 회사의 CPPCC 전국위원회 회원이자 회장에 따르면 2018 데모 및 애플리케이션 데모를 수행하는, LEO는 광대역 통신을 최초의 위성 기술 시연을 시작합니다 홍콩 윤 프로젝트를 추진하고 두 집 장 중앙대, 항공 우주 과학 산업을 소개했다.

"3 단계 전략에 따라 무지개 구름 건설 .Zhang Zhongyang 올해 첫 번째 단계 완료 후, 두 번째 단계는 2022 년에 비즈니스 테스트 시스템을 완료하기 위해 2020 년에 네 가지 상업 시험 네트워크 테스트를 실행하는 것입니다, 중국 향상된 실시간 원격 감지 통신, 네비게이션, 원격 감지 통합 정보 시스템 지원 기능이있는 LEO 기반 광대역 통신 및 탐색을 형성 배포 156 개 위성들을 구축하는 우주 기반 광대역 인터넷의 전체 컨 스텔 레이션을 제공한다. "다음으로, 우리가 사막, 바다 또는 비행기에 있더라도 가정에서 동일한 인터넷 속도와 서비스 경험을 누릴 수 있습니다. "

기자는, 멀티 채널의 위상 시프터 칩 기술, 광대역 위성 홍 윤은 세계 최초의 저궤도 카 광대역 통신 시스템이 될 것이다, 매우 고급 작동하고, 광대역 위성 통신 사이에 세계에서 처음으로, 광대역 별 라우팅 것을 배웠다 최소 통신 단말기, 최소 전력 소비, 가장 가벼운 무게.

외국 관련 기술 개발에 돌리면, 장 중앙대는 스페이스 엑스 혁신을 생각, 도전 정신이 큰 별을 채굴하기 위해,이 체인은 계획을 배울 가치가있다. 위성 무지개 구름 프로젝트와 소규모의 수 있지만, 같은 목표, 궁극적 기능도 비슷하지만.

3. 복주 하이테크 구역 반도체 신소재 산업 단지 프로젝트에 50 억 투자;

장시 데일리에 따르면, 마이크로 네트워크 뉴스 설정은 복주시에서 하이테크 개발구, 적극적으로 2017 푸 저우 하이테크 지역 산업 경제가 확장 높은 끝으로 산업 클러스터 개발을 촉진하기 위해 '하이'와 '새로운'지속적인 노력을 목표로 혁신 중심의 전략을 구현,보고 품질 향상 금액, 주요 사업 소득 452 억 위안, 10 %의 증가, 완료 세금은 1.628 억 위안, 개발의 강력한 활력을 보여주는 총 금융 수익의 92.37 %를 차지합니다.

푸 저우 하이테크 존 '중요한'기술 혁신을 포착하고, 적극적으로 기업의 기술 확장을 촉진하고, 주요 산업의 변화 및 업그레이드를 촉진합니다. 지역 비즈니스 혁신과 기업 활동은 작년에 크게 증가 네 개의 새로운 국가 혁신 플랫폼, 지방 혁신 플랫폼을 10 위 규모의 기업과 50 개 이상의 과학 연구 기관은 연구 및 협력 관계를 구축하기 위해 국가, 연간 특허 출원은 1174, 600 개 권한 특허, 발명 특허 (210) 보야 생물, 강릉 섀시, 디 자전거에 도달 새로운 '국가 지적 재산권 경쟁 기업의 큰 Fukang 의료 부여'국가 지적 재산권 시범 기업의 승인 에너지. 지난해 상반기 버슨 - 응고 인자 지능형 제조 센터 시범 사업 및 "의약품 GMP 인증서를"원, 생산의 생산 작업장 최대 1.2 억 위안 기준 연간 생산량 작년, 생물 의학의 영역, 자동차 및 부품, 전자 정보 등 3 개 산업 32,590,000,000위안의 주요 사업 소득은 전체 경제의 첨단 기술 영역에 대한 회계, 수익 1,560,000,000위안을 달성하기 위해 총량의 72.1 %인데, 그 중 생물 의학 산업 전반적인 경쟁력은 국가 하이테크 지역 중 39 위이며 중국의 혁신 산업 클러스터 3 번째 파일럿 배치에 포함되었다.

동시에, 푸 저우 하이테크 존 적극적으로 개발 잠재력을, 주요 기업을 지원 향상시키기 위해 크고 강력한 유치, '억 기업, 수십억 산업을'전파. 지난해 지구 48 개 주요 산업 프로젝트를 도입하는 주요 억 위안 항목 8. JMC 라이트 스팀 기술 혁신 능력 확장 프로젝트 5.05 억 위안, 투자 500 억 투자 OPTIMUM (복주) 신 에너지 자동차 산업 단지 프로젝트, 투자 $ 4.5 억 Zhuolang 클라우드 컴퓨팅 데이터 센터 프로젝트, 투자 (40) 억 슈퍼 컴퓨터 센터 창세기 프로젝트, 미래 발전을위한 Jianchang 트로프 생산 프로젝트를 도울 수있는 새로운 투자의 반도체 재료 산업 단지 프로젝트 500 억, $ 4.5 억 투자는 새로운 모멘텀을 추가합니다. 현재, 도시는 버슨 - 마스 텔러 등장 생물, 금 제품, 구리, 디 자전거 ​​새로운 에너지, 과학 기술 Shenghong, 헤일리 스테인레스 스틸, 구리, 스프린트 지도자의 백억위안 출력 값 기타 기업의 Deyi 반도체 번호.

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