'ジレンマ'マイクロ7nmエッチング機の注目|国内の半導体機器のジレンマを解決する方法は?

1.マイクロ・ナノ7エッチャー注意、中国は新しい半導体材料工業団地プロジェクトに156の衛星宇宙ベースのグローバルなインターネットのWiFi信号カバレッジ;?福州ハイテクゾーン350億元の投資を構築する国内の半導体製造装置2の窮状を解決する方法。

1 7ナノメートルのエッチング機の懸念、国内の半導体機器はどのように窮状を解決するには?

マイクロネットワークのニュースを設定し、第二四半期第六話「インターネットで勝つ」重い放送における3大CCTVのドキュメンタリー「大きな国計量機器」の夜は、微細加工設備(上海)有限公司7ナノメートルチップのエッチング装置は光栄しますそれらに含まれています。

半導体業界のこの段階で最も高度なプロセスノードで生産されるエネルギーは7nmで、7ナノメートル製造プロセス設備の面でTSMC全体的なリード、アプライドマテリアルズ(Applied Materials社)、コリンの研究開発(LAM)を含む5つの主要な機器メーカーを含むように、東京のパワーであります分岐(TEL)、日立チップ(日立)は、TSMCにAMEC。マイクロのみ7ナノメートル製造プロセスのエッチング装置本土国内機器メーカーです。

この時間は、CCTVは、中国は、シリコンマイクロ上に刻まれている化学的に活性なプラズマを用いたプラズマエッチング技術を使用して第1の自己開発チップ7ナノメートルエッチングマシン、マイクロされる付属しました回路。

報告書によると、1nmのエッチング均一性が必要な場合、ICPチップエッチング、キーサイズとチップ温度の関係は1対1の関係にあり、チップ間の温度差は2度以内に制御する必要があります。温度制御の精度エッチングプロセスを可能にするように設計された自己開発マイクロサーモスタットは、国際的なレベルよりも良い0.75度内に維持されます。

ガスシャワープレートエッチャーは、チップエッチング装置の重要な技術的ポイントは7nmであり、コアの最も重要な成分の一つである。エッチング装置のパフォーマンスへの影響のためにその設計及び材料選択が重要である。ではマイクロおよび国内メーカー、開発およびプラズマのセットの最適化を強化物理的気相堆積法サーメット天気は、この革新的なアプローチが大幅に材料、より細粒のパフォーマンスを向上させ、高密度の、ほぼ欠陥ゼロは、現在のスプレープレートの使用に比べて、中国のセラミックコーティングスプレーディスクの寿命は倍増することができる、コストは5分の1未満です。

マイクロ会長兼CEOのDr. Yinzhiヤオは言った:「中国は偉大な国家とマイクロチップの集積回路デバイスの生産で、2020年、新しいチップの生産ラインへの投資は、米国、日本、韓国、その他の地域以上になります投資、中国は最大のチップ生産拠点の一つになり、2030年までには中国のチップとマイクロデバイスの処理能力と規模は、国際先進レベルよりも十分に追いつくことができます。

リソグラフィ技術は依然として後退しており、中国はEUV供給を熱望している

世界が唯一の量産に見ることができ、特にEUVリソグラフィ機械の分野では、ASMLマイクロエッチング装置のフィールドで場所を持っている、ということは注目すべきであるが、先進的なリソグラフィプロセスで最も重要な。

リソグラフィは、目的に応じて、コアチップ製造装置の一つであるいくつかに分けることができる:YESチップ製造用のリソグラフィ、パッケージングのためのリソグラフィ機械、及び投影露光LEDの製造分野。チップを製造するために使用されるリソグラフィー装置は、半導電性装置の製造において中国人が作る最大のショートボードであり、ファブが必要とする国内のハイエンドリソグラフィー機械は完全に輸入に依存する。

EUVリソグラフィは、最高レベルの光学開発の現在のアプリケーションを表し動作波長、用13.5nmのEUV投影リソグラフィ技術の波長を使用しています。次世代のリソグラフィ技術として、ムーアの法則は、業界を保存する使命を与えられています。

技術と資本のしきい値しきい値の集積回路産業、研究開発の王冠の宝石のようにリソグラフィ機械業界は非常に高いです。また、なぜ、非常に小さなハイエンドのリソグラフィ機メーカーを生産することができる最も先進的な14nmのリソグラフィ上へASML、日本のキヤノン、ニコンだけが基本的に第六世代のEUVリソグラフィーの開発を放棄しています。

これに対し、輸入に完全に依存して必要な国内のハイエンドのファブリソグラフィによって。これは、国内の工場にも大きな悪影響をもたらす機器、産業の発展と独立した技術の成長を買うためにお金を費やすことになるだけではなく。

彼らは27台の合計値を蓄積するEUVリソグラフィシステムを出荷するための順序をしなかった、2017年第2四半期の8つのEUVシステム用の2017年第2四半期決算、新規受注によると、サプライヤーASMLの80%の市場シェアを占めて28億ユーロまで。同社は現在、2018年12台の年間生産能力は40万台に到達するために2019年24台に増加しますです。

生産能力は噂「中国禁止にEUV用機器」に対応して、そのため、世界的な工場のニーズを満たすことができない、与えられたASMLの説明があり、同様に、限り顧客として本土と国際的な顧客のASMLファブ公式の、すべての21ヶ月単一中国にインポートする、EUV配信の面で全く問題は、すべてのお客様が全く同じで、注文から納品まで。同社はコンチネンタル巨人とのファブがあると述べましたASMLはEUV、2019年を議論するために、7ナノメートルプロセス技術を展開し、中国本土初のEUVが下落すると予想されます。

どちらか禁止か確認するために、並んで待って、中国は、国内の半導体産業へのショートボードの機器の影響が明らかに発生し、確かに優先順位の供給の範囲内階段ではありません。

EUVの誕生は、すべての産業の努力の結果です

国内半導体専門の源、AMSL歴史と重要な瞬間はすぐにチャンスをつかむと技術を飛び越す達成、同社の「オープンイノベーションのフレームワーク」のおかげで、同社の浸潤歴史的な転換点になることをすることができましたリソグラフィー機械の誕生はもちろん、多くのベンダーとファブの結果も一緒に働いています。

例えば、彼は高度なプロセスR&D部門、および様々な提案で会社ASMLに数十点の改善を置くプロセス開発製造工場スタッフの仕事のリーダーは、何千も与えられたのファブを改善します。

量産プロセスへの研究開発は、粗いEUVでいっぱいです。

我々はすべて知っているように、ムーアの法則の進化とともに、より高度なプロセス技術の研究開発には高いコスト、あなたは半導体メーカーのペースに追いつくために投資する、価格を呼び出すことができます少なくを持って、EUVの研究開発の高コストがさえません会社はそれを買う余裕があります。

EUVの技術的な難しさのため、必要な投資額が高すぎるので、その時に、他の2つのリソグラフィ装置メーカー──日本のニコンとキヤノンは、開発を放棄しなければならない。ASMLは、半導体業界は、高度なプロセスの次の世代をスプリントを続けることができるとなっている、開発より効率的で高速なトランジスタの最終的な希望です。

ASMLはまた、同社は、同社がインテル、サムスン、TSMCや他の巨人の資金調達への招待状を発行しているために莫大な開発コストだけではデバイスを、余裕がないことを学びました。同社はまた、成功した投資家にその既存の顧客を追いましたインテル、TSMC、サムスンは、後にEUVの研究開発資金を調達するため、ASMLに41億ドル、276百万ユーロ、779百万ユーロを投資した。

国内の半導体機器のジレンマ、大草原の火を待っている星の火花

不完全な統計によると、2018 --2020中国本土で5 12インチウエハー製造工場を建設し、総投資額以上3000億元となり、中国によると、2018年「インストールウォーズ」、半導体製造装置の需要が大幅に増加の始まりの到来を告げることが予想されます。税関情報ネットワーク統計は、2017年中国本土の主要な半導体製造装置の総輸入は$ 5.483億ドルに達し、13.8%の増加は、2017年、国内の半導体製造装置の売上に期待されている76億元、以上の32%の増加に達するだろう。

巨大な需要に直面して、中国は輸入に依存してほぼ完全に半導体製造装置に直面している。中国電子生産設備産業協会、金Cunzhongは、世界の半導体のわずか2%のためにその国内の機器のアカウントを指摘していました。

半導体産業の急速な発展の波では、状態は「非常に大規模集積回路製造装置と完全なプロセスの特別な」科学技術(02特別)の主要なプロジェクトを採用しており、中国の半導体製造装置業界は、CCIDによると、最初から突破口を達成するためにデータは、タンク、AMEC、瀋陽の拡張子はジン、北京、企業や他の製品の数は、審査プロセスと生産ラインの検証に合格したと思う。中国の半導体製造産業は地上に降りている、創造的であるためには、いくつかの企業は、資本市場の製品を入力し始めました一部の機械はすでに輸入代替能力を有しており、設備のピーク需要を満たすために下流拡大ボーナスを最初に楽しむことが期待されているが、一般に、中国の設備産業は依然として多くの課題に直面している。

インサイダーは、マイクログリッドのセットは、半導体業界は、市場志向型の、だけでなく、業界のための非常に高いしきい値の両方で、これは必然的にそれを学ぶことは非常に困難である開発者につながります。国内の機器には、例えば、多くは国内の生産ラインを購入したくないことを指摘しました機器は、彼らは経済的利益を考慮しなければならないので、自家製デバイスを試す機会を与えたくない、成熟した外国機器の選択は、最も安全な方法であり、国内の機器の選択はリスクをたくさん持っている。国内の設備が裁判を受ける機会がなく、何の問題も見つからないので、改善問題の機会、急速な進歩をするのは難しい。

私は悪いデバイスを感じたので、複雑な製品の企業の製造のために、徐々に、消極的で」、しかし、試行錯誤学習プロセスは非常に重要であるが増加している。誰も使用していないので、国内の半導体製造装置業界を改善する機会がないので。それは無限ループです。

ファブの視​​点からは、政府は国内機器の使用を促進しているが、生産ラインの代わりに意思決定を行うことはできないと指摘した。

マイクロのセットの「重要な問題のいくつかの結果は、スマート想像を再生することで、国内の業界で最もばかげたが、多くの人々は、単にチップを見ていないということであるよりも、多くの場合、当たり前の、だけでなく、プロジェクトを行うか、半導体の半導体分野をコピーする。」R&D人材ネットのようにTucao。

それが困難であったが、国内の半導体製造装置はチャンスを持っている?それは新たな問題を解決することを目的とする場合、ビューは、新しい機器を発現させた、限りデバイスの前面ではなく、巨大な競争がちょうど成熟した外国の機器を交換しなかった多くの国内設備の機会であるとして、これは非常に困難なポジティブな競争です。

その他は、Fabは恐怖がブラインドちらつきで、開いている、機器、フォトレジスト、スラリー、および他のターゲットは限り真剣に、いつでも機会を持って、表現している。やるための「江風水のターゲットを表示し、マイクロエッチングを行いますマシン、マイクロ行う中国の電子ビーム、LGベアウェーハを行い、良い例です。最大の項目は、リソグラフィの欠如である。「業界は国内の02のプロジェクト」と言っ、企業の数はハッチを持って、これらの事業は、火災、彼らが現在開発しているが、十分な大きさではありませんです。しかし、私は一緒に育った彼らは、中国の工場の次産業の発展の転換点のいくつかをキャッチします信じています。 "

2.中国は全世界をカバーする156の衛星宇宙ベースのインターネットWiFi信号を構築する。

最近では、二つの小さな衛星を搭載したルーチンファルコン九ロケット打ち上げミッション中 - 「タンタン-a」と「タンタンの-b」、彼らはSpaceX社の星チェーン(スターリンク)されている衛星をテストすることを計画し、地上で行われます通信テスト。このプロジェクトは、2024年までに約12,000の小型衛星を打ち上げ、高速インターネットサービスを世界に向けて開始する予定です。

しかし、私たちはWiFiパスワードにMuskを見つけることを急いではありません。私たちの国の宇宙ベースのインターネットも建設中です。

グローバルモバイルブロードバンド衛星インターネットシステムは、建設を開始しようとしています

記者はグループが今年いっぱいでグローバルなモバイルブロードバンド衛星インターネットシステムの構築を開始する予定、中国航空宇宙科学技術グループから学んだ。システムは、低軌道における通信衛星の星座で展開され、建設プロジェクトは、フォローアップを実施し、54個の衛星を起動します構築の第二段階は、スムーズな移行を実現するシステムの能力は、衛星の数が300以上となります。

政協委員のメンバーと航空宇宙技術グループCSTパッケージWeiminのディレクター、システムは、空間情報のネットワークインフラストラクチャのシームレスなグローバルカバレッジ、地面を固定することができ、ハンドヘルドモバイル、自動車、船で運ばれる、空中およびその他の端末に内蔵されます組み合わせ広い、狭帯域通信サポート機能を実現するために「道に沿って」、深い海、北極と南極で、インターネット伝送サービスを提供し、他の領域。シームレスなグローバルなシステムを介し報道、地球上の任意の場所に任意の個人または任意のオブジェクトは、いつでもインターネット情報を達成することができます。

まず、インテリジェント通信端末は、携帯電話への商業衛星コンステレーションの直接アクセスをサポートする高精細音声サービス、マイクロ文字や他のインスタントメッセージングサービス、電子メールサービスなどを提供する:記者は、グローバルなモバイルブロードバンド衛星インターネットシステムは、6つの側面で能力を達成することを学びました;ユーザーが同様の地上ネットワーク、および沖合漁業や他の市場、遠隔教育、遠隔医療サービスをサポートするためのフィールドオペレーションをインターネット体験を楽しむことができるように第二に、インターネットアクセス、低レイテンシのデータサービス機能、;第三は物事を取ることです環境モニタリング、新しいオフショア物流、有害化学物質、監視、トラフィック管理、海洋およびその他のインテリジェンスのための工業用需要の開発に焦点を当てたもの、の低電源端子小型化でサービスに、第四に、ホットスポット情報のプッシュを、衛星広いエリアカバレッジの特性を活用し、達成するためにより正確で信頼性の高いを提供するために、フィフス・ナビゲーションの強化、前方コンパスディファレンシャル補正、空中、車両測位端末、文化宣伝、災害警報、公共の安全上の警告、気象放送は、リアルタイムの放送は、ホットフォーカス見出し放送、ラジオトラフィックなどをプッシュ無人車両運転、無人機、準農業、建設機械市場の発展が必要である。第六に、航空および海上偵察機を船のグローバル、フルサイクルの追跡を達成するために、統計データの付加価値サービスを提供します。

レインボークラウドの今年の技術検証スターを開始するプロジェクト

中国航天科工集団の政協全国委員会のメンバーと社長によると、2018年にデモンストレーションやアプリケーションのデモンストレーションを実施するため、LEOは、ブロードバンド通信をその最初の衛星技術デモンストレータを起動します香港ユンプロジェクトを推進している2つの家庭張Zhongyang、航空宇宙科学産業を導入しました。

「虹の雲の構造は、三段階の戦略に準じて行う。」張Zhongyangは、この最初のステップが完了した後、第2のステップは、2020年2022年のネットワークテストラン4つ星のビジネステスト、完全なテストシステム事業を立ち上げるためにあると言いました中国が強化され、リアルタイムのリモートセンシング通信、ナビゲーション、リモートセンシング統合情報システムのサポート機能を備えたLEOベースのブロードバンド通信とナビゲーションを形成するために、展開し、156個の衛星を構築するために宇宙ベースのブロードバンドインターネットのコンステレーション全体を操作します。「その時までに、かどうか、私たちは、砂漠、海や航空機に住んでいる、と家族は、同じ接続速度やサービスの体験を楽しむことができます。 "

記者は世界初の低軌道のKaブロードバンド通信システムとなり、ブロードバンド衛星通信との間に世界で初めて、星をルーティング、ブロードバンド、マルチチャネル位相シフタチップ技術、ブロードバンド衛星ます、香港ユンは非常に高度な機能することを学びました最小の通信端末、最小の消費電力、最も軽い重量。

外国人関連の技術開発に回すと、張ZhongyangはSpaceX社の革新を考えて、チャレンジ精神は偉大なスターを発掘するために、チェーンが計画を学ぶ価値がある。衛星虹クラウドプロジェクトや小規模の数が、同じ目標、そして最終的に機能しても同様ですが。

3.福州ハイテクゾーン半導体新素材工業団地プロジェクトへの50億ドルの投資。

江西日報によると、マイクロネットワークのニュースを設定するには、福州市のハイテクゾーン、精力的に2017福州ハイテクゾーンの産業経済は拡大し、ハイエンド向けた産業クラスターの発展を促進するための「高」と「新しい」継続的な努力に向けたイノベーション主導型の戦略を実装、報告しました量と質の45.2億元で、10%の増加の主な事業収入を達成するために、力強い成長のダイナミックを示し、総収入の92.37パーセントを占め、売上高16.28億元を達成。

福州ハイテク区は「極めて重要な」技術革新を押収し、精力的に企業の技術展開を促進し、業界をリードの転換とアップグレードを推進しています。エリアはビジネスのイノベーションと起業活動は、昨年大幅に増加し4つの新しい国家イノベーション・プラットフォーム、地方イノベーションプラットフォームを10、上記の規模の企業や国50の以上の科学研究機関の研究と協力関係を確立するために、毎年恒例の特許出願は、600件の認可の特許を1174に達した発明特許210ボヤ生物学、江陵シャーシ、ディバイク新しい「国家知的財産競争力のある企業の大富康医療付与された「国家知的財産権のデモンストレーション企業の承認のエネルギー。昨年の上半期のバーソン・凝固因子インテリジェントな製造センターのパイロットプロジェクト、および「医薬品GMP証明書」を獲得した、生産の生産工場最大1.2億元の標準的な年間生産量は昨年、生物学的医学の分野、自動車および部品、電子情報、他の3つの主要産業、325.9億元の主な事業所得は、経済全体のハイテクゾーンを占め、売上高15.6億元を達成するために72.1パーセントの量。その中で、第39位の国の国家ハイテクゾーンのバイオ製薬産業の競争力は、国家のパイロット革新的な産業クラスターの第三のバッチに含まれていました。

同時に、主要企業をサポートするために、大規模かつ強力な誘致によって福州ハイテクゾーン精力的に伝播「億企業、数十億業界は」、発展の可能性を高めています。昨年、地区は48件の主要な産業プロジェクト、大手のの億元を導入項目8.は、JMC光スチーム技術革新能力の拡張プロジェクト、500億投資OPTIMUM(福州)新エネルギー自動車産業パークプロジェクトの5050000000元を投資$ 4.5十億Zhuolangクラウド・コンピューティング・データセンター・プロジェクトを投資し、投資40億スーパーコンピュータセンタージェネシスプロジェクト、将来の発展のためにJianchangトラフ生産プロジェクトを支援するための新たな投資半導体材料工業団地プロジェクト500億、$ 4.5億ドルの投資が新たな勢いを追加します。現在、市はバーソン・マーステラが登場しました生物、金製品銅、Dubico新エネルギー、センホン技術、Hailiステンレス銅、テキサスセミコンダクターと数十億元の出力スプリントの主要企業。

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