اسکنر یکپارچه MEMS مبتنی بر لنز فوق العاده مسطح سطوح سمت چپ فن آوری است تصویر SEM، حق تصویر تشکیل تصاویر میکروسکوپ نوری است. لنز سوپر یکپارچه در دستگاه MEMS، آن را به ادغام با سرعت بالا و کنترل دقیق از موج پویا کمک مزایای کنترل فضای جلو، برای ایجاد یک مدل جدید کنترل نور
در حال حاضر، فن آوری لنز در زمینه های مختلف به پیشرفت های بزرگ از دوربین های دیجیتال به فیبر نوری با پهنای باند بالا به دست آورد، به موج رصدخانه گرانشی تداخل سنج لیزری، در لیگو تجهیزات غیره در حال حاضر، استفاده از یک تکنولوژی تولید تراشه های کامپیوتری استاندارد توسعه فن آوری لنز جدید، و یا به جای لنز منحنی ساختارهای متعارف چند لایه پیچیده و هندسه.
متفاوت از لنز منحنی متعارف، بر اساس سطح هواپیما از لنز نوری بیش از یک نانومواد نسبتا سبک تر است. هنگامی که نانوساختار زیر طول موج بر روی سطح است که با یک الگوی تکرار تشکیل، آنها می توانند انحنای پیچیده ای از منکسر نور تقلید، اما کوچکتر ، تمرکز قوی تر، در حالی که کاهش اعوجاج است. با این حال، بسیاری از این دستگاه نانوساختار هستند استاتیک، قابلیت های محدود.
بر اساس گزارش مشاوره مای MUSI، فوق العاده پیشگام فن آوری لنز - دانشگاه هاروارد اعمال فیزیکدان فدریکو کاپاسو، توسعه دهنده اولیه تکنولوژی و MEMS - دستگاه های آزمایشگاه ملی آرگون و آمریکا نانو تولید رهبر تیم دانیل لوپز، دو نفر از آنها برخی از طوفان مغزی قابلیت های کنترل حرکت را به سوپر لنزها اضافه کرده اند، مانند اسکن سریع و کنترل پرتو، و یا برنامه های فوق العاده لنز جدید.
کاپاسو و لوپز به طور مشترک توسعه یک دستگاه است که ادغام یک لنز فوق العاده در طیف مادون قرمز بر MEMS آنها یافته در بر روی "APL فوتونیک" مجله این هفته منتشر شده است.
MEMS است یک تکنولوژی میکرو الکترونیک نیمه هادی و ریز مکانیکی اتصال، می توان در یک کامپیوتر و تلفن های هوشمند به کیسه هوا پیدا شده است، یک ساختار مکانیکی شامل سنسورها، رله، چرخ دنده میکرو، و مانند آن. MEMS در حال حاضر تقریبا در همه جا، از گوشی هوشمند ، دستگاه حسگر زیستی و یک دستگاه نوری، و غیره، برای تکمیل MEMS تکنولوژی ساخت با استفاده از یک نیمه هادی یک تراشه کامپیوتری معمولی است.
لوپز گفت: "یک دستگاه MEMS داشتن با چگالی بالا هزاران لنز یکپارچه از کنترل فرد بر روی یک تراشه سیلیکون، میدان نوری می توان به دست آورد کنترل نور بی سابقه ای و بهره برداری.
محققان در یک SOI (سیلیکون در عایق 2 میکرون دستگاه لایه بالا، یک لایه اکسید به خاک سپرده از 200 نانومتر و 600 [مو] متر لایه بستر)، استفاده از تکنیک های فوتولیتوگرافی استاندارد برای تولید این سطح فوق العاده لنز. سپس، این لنز مسطح و آنها یک اسکنر MEMS (بادگیر است که اساسا با سرعت بالا طول مسیر نوری برای micromirror مدولاسیون نور) تراز وسط قرار دارد با مرکز از پلت فرم، با سپردن صفحه پلاتین خوب به آنها امن با هم، هواپیما نهایی مونتاژ لنز را در اسکنر MEMS.
، اسکن تمرکز در عرض چند درجه، ما این دستگاه نمونه یکپارچه MEMS بر روی سطح لنز، زاویه چرخش را می توان با هواپیما برق و کنترل از لنز تغییر گفت: لوپز، 'علاوه بر این، این MEMS فوق العاده یکپارچه هواپیما سطح لنز اثبات کالا اسکنر مفهوم، و همچنین می تواند به دیگر محدوده طیفی قابل مشاهده تمدید شود، توسعه طیف گسترده ای از کاربردهای بالقوه، برای مثال، سیستم های MEMS میکروسکوپی، طرح هولوگرافی و تصویربرداری از LIDAR (رادار لیزری) و اسکنر لیزری چاپ و مانند آن بر اساس.
در مورد یک محرک الکترواستاتیک، که می تواند پلت فرم MEMS کنترل دو محور متعامد از یک لنز زاویه حرکت، به طوری که لنز هواپیما اسکن کانونی در محدوده حدود 9 درجه در هر جهت است. محققان تخمین می زنند که حدود 85٪ تمرکز بهره وری.
Capasso افزود: 'این فوق العاده لنز می تواند در آینده با تکنولوژی نیمه هادی تولید شود یا جایگزین لنزهای سنتی در طیف گسترده ای از برنامه های کاربردی شود.
