एकीकृत एमईएमएस अल्ट्रा प्लानर लेंस के आधार पर स्कैनर सतहों प्रौद्योगिकी बाईं है SEM चित्र, सही छवि ऑप्टिकल माइक्रोस्कोपी छवियों के गठन है। एमईएमएस डिवाइस में सुपर एकीकृत लेंस, यह उच्च गति और गतिशील लहर की सटीक नियंत्रण के एकीकरण के लिए योगदान देगा प्रकाश नियंत्रण के एक नए मॉडल को बनाने के लिए फ्रंट स्पेस कंट्रोल फायदे
वर्तमान में, विभिन्न क्षेत्रों में लेंस प्रौद्योगिकी बड़ी प्रगति डिजिटल कैमरों से उच्च बैंडविड्थ ऑप्टिकल फाइबर के लिए, लेजर interferometer गुरुत्वीय तरंग वेधशाला, LIGO के लिए हासिल किया है, उपकरण आदि। अब एक नया लेंस प्रौद्योगिकी मानक कंप्यूटर चिप विनिर्माण तकनीकों या एक बहुपरत संरचना और ज्यामिति का उपयोग कर विकसित की गई है जो परंपरागत घुमावदार लेंस जटिलता को बदल देगा।
पारंपरिक घुमावदार लेंस,। एक अपेक्षाकृत हल्का नेनो सामग्री से अधिक ऑप्टिकल लेंस जब सतह पर subwavelength nanostructure पुनरावृत्ति पैटर्न के साथ बनाई है के विमान सतह पर आधारित से अलग हैं, वे प्रकाश refracts के जटिल वक्रता की नकल कर सकते हैं, लेकिन छोटे , मजबूत ध्यान केंद्रित करते हुए विरूपण को कम करने। हालांकि, इन nanostructured उपकरणों के सबसे स्थिर, सीमित कार्यक्षमता है।
माई मूसी परामर्श रिपोर्ट, सुपर लेंस प्रौद्योगिकी अग्रणी के अनुसार - हार्वर्ड विश्वविद्यालय लागू किया भौतिक विज्ञानी Federico Capasso, प्रौद्योगिकी और एमईएमएस का एक प्रारंभिक डेवलपर - उनमें से अमेरिका Argonne राष्ट्रीय प्रयोगशाला उपकरणों और नैनो निर्माण दल के नेता डैनियल लोपेज, दो इस तरह जल्दी से स्कैन और बीम नियंत्रण, या नए अनुप्रयोगों सुपर लेंस को खोलने के लिए क्षमता के रूप में गहन विचार-विमर्श, सुपर लेंस के लिए मोटर नियंत्रण की वृद्धि हुई है, का एक बहुत कुछ करने के लिए।
Capasso और लोपेज संयुक्त रूप से एक युक्ति है कि एमईएमएस पर अवरक्त स्पेक्ट्रम में एक सुपर लेंस को एकीकृत विकसित किया है। वे प्रकाशित "एपीएल फोटोनिक्स" पत्रिका इस सप्ताह पर में निष्कर्ष।
एमईएमएस अर्धचालक शास्त्रीय और micromechanical के एक प्रौद्योगिकी बंधन, एयरबैग एक कंप्यूटर और स्मार्ट फोन में पाया जा सकता, सेंसर, प्रवर्तक, माइक्रो गियर, और पसंद है। एमईएमएस सहित एक यांत्रिक सूक्ष्म अब लगभग हर जगह, स्मार्ट फोन से है , बायोसेंसर डिवाइस और एक ऑप्टिकल डिवाइस, आदि, एक विशिष्ट कंप्यूटर चिप की एक अर्धचालक के माध्यम से निर्माण प्रौद्योगिकी एमईएमएस पूरा करने के लिए।
लोपेज ने कहा: 'एक एमईएमएस डिवाइस एक सिलिकॉन चिप पर अलग-अलग नियंत्रण के एक उच्च घनत्व एकीकृत लेंस हजारों होने, ऑप्टिकल क्षेत्र अभूतपूर्व प्रकाश नियंत्रण और संचालन प्राप्त किया जा सकता।'
एक SOI में शोधकर्ताओं (इन्सुलेटर पर सिलिकॉन 2 माइक्रोन शीर्ष डिवाइस परत, 200 एनएम और 600 [म्यू] मीटर सब्सट्रेट परत का एक दफन ऑक्साइड परत), इस अति लैंस की सतह। फिर, इस प्लानर लेंस और वे उत्पादन के लिए मानक photolithographic तकनीक का उपयोग एक एमईएमएस स्कैनर (झुकानेवाला अनिवार्य रूप से एक उच्च गति प्रकाश मॉडुलन माइक्रो के लिए ऑप्टिकल पथ लंबाई है), मंच के केंद्र के साथ गठबंधन ठीक प्लैटिनम प्लेट जमा एमईएमएस स्कैनर में, उन्हें एक साथ सुरक्षित करने के लिए लेंस विधानसभा के अंतिम हवाई जहाज से।
'हम लेंस की सतह पर प्रोटोटाइप एकीकृत एमईएमएस उपकरण, रोटेशन के कोण लेंस के बिजली के नियंत्रण हवाई जहाज से बदला जा सकता है, कुछ डिग्री के भीतर ध्यान केंद्रित स्कैन,' लोपेज ने कहा, 'इसके अलावा, इस अति एकीकृत एमईएमएस लेंस की सतह विमान स्कैनर सबूत ऑफ अवधारणा उत्पादों को भी दृश्यमान और अन्य वर्णक्रमीय श्रेणियों में विस्तारित किया जा सकता है जैसे कि एमईएमएस-आधारित माइक्रोस्कोपी, होलोग्राफिक और प्रक्षेपण इमेजिंग, लीडार स्कैनर और लेजर प्रिंटींग जैसे संभावित अनुप्रयोगों के लिए।
एक इलेक्ट्रोस्टैटिक actuator, जो एमईएमएस मंच आंदोलन के एक लेंस कोण के दो ओर्थोगोनल कुल्हाड़ियों नियंत्रित कर सकते हैं, जिससे कि फोकल विमान स्कैन लेंस प्रत्येक दिशा में लगभग 9 डिग्री की सीमा में है के मामले में। शोधकर्ताओं का अनुमान है कि लगभग 85% दक्षता ध्यान केंद्रित।
'यह सुपर लेंस भविष्य में अर्धचालक प्रौद्योगिकी के साथ बड़े पैमाने पर उत्पादन किया जा सकता है या पारंपरिक लेंस की एक विस्तृत श्रृंखला में बदल जाएगा,' कैपासो ने कहा।
