کچھ وقت پہلے، Qualcomm کی کہ مستقبل 5G مربوط baseband کے چپ Xiaolong سیمسنگ 7nm مینوفیکچرنگ کی بنیاد، خاص 7nm LPP، EUV کا استعمال کرتے ہوئے (انتہائی بالائے بنفشی) ٹیکنالوجی کا اعلان کیا.
اس کے بعد، سیمسنگ، ایک نیا Huacheng 7nm EUV ٹیکنالوجی مینوفیکچرنگ پلانٹ پر زمین توڑ دیا 2020 کی طرف سے کمیشن کیا جائے گا.
بظاہر مکمل جھول میں ہے، لیکن حقیقت میں 7nm یورو وی اب بھی بہت سے تکنیکی مسائل کا سامنا ہے.
ایٹائم افشاء کرنے کے مطابق، حال ہی میں چپ بنانے والا کانفرنس میں، بعض وینڈر نے تیز بیان کیا.
مثال کے طور پر، گلوبل فاؤنڈیشن ریسرچ نائب صدر جارج گوبا نے کہا: اب بھی EUV لتھوگرافی مشینیں ASML (ASML) کیش آفر NXE-3400 مصنوعات کی 250 واٹ کر کے معیار کو پورا نہیں کر سکتا میں سے صرف صلاحیت رکھتا انہوں نے سپلائرز کو مشورہ دیا کہ وہ یورپی یونین کے ریٹیکل نظام کا معائنہ کریں اور فلوٹسٹسٹ کو بہتر بنائیں.
یہاں کچھ سادہ سائنس کرنے کی لتھوگرافی ہے.
لیتھوگرافی اس پیٹرن کو پھیلانے کا عمل ہے جو سلکان ویر پر چپ بناتا ہے وائفر ایک فوٹریسسٹسٹ نامی فوٹو گرافی مواد کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے اور پھر وفر ایک ماسک کے ذریعہ روشن روشنی سے منسلک ہوتا ہے. ماسک کی طرف سے احاطہ کردہ علاقے اس کے photoresist پرت کو برقرار رکھا جائے گا اور براہ راست الٹرایوریٹ روشنی سے منسلک ہو جائے گا. وہ گر جائیں گے.
وائفر پھر پلازما یا ایسڈ کا استعمال کرتے ہوئے etched (پلازما) ہے، etch کے دوران، photoresist کی طرف سے احاطہ کرتا wafer کا حصہ محفوظ ہے، سلکان آکسیڈ چھوڑ کر؛ دوسرا الگ الگ ہے.
ظاہر ہے، چھوٹے طول و عرض کی روشنی بہتر تفصیلات بنا سکتی ہے ، اس طرح تنگ سرکٹ اور چھوٹے ٹرانسمیٹرز، لیکن موجودہ 14nm مینوفیکچررز میں نہیں، لیکن ایک سے زیادہ پیٹرن نمائش (ایک سے زیادہ ماسک اور نمائش کے اسٹیشن) کے ساتھ.
تاہم، زیادہ مرحلہ، مینوفیکچرنگ کا وقت اور زیادہ خرابی کی شرح زیادہ ہے، لہذا کم یووی لائٹ کو تکنیکی شیڈول میں فروغ دینا ہوگا.
چپ انڈسٹری 1990s کے آغاز سے 13.5 این ایم یئ وی وی لتھوگرافی (یووی لہرائی کی حد 10-400 این ایم) کے استعمال پر غور کر رہی ہے، موجودہ 193 ایم ایم کی جگہ لے لے یورپی یونین خود کو حدود، جیسے اعلی اور شدت سے متعلق یورپی یونین پیدا کرنے کے لئے ہوا اور لینس کے مواد کو جذب کرنا آسان ہے. انڈسٹری اتفاق رائے ہے، کم از کم 250 واٹ کے یورپی یونین کے تجارتی روشنی ماخذ کی طاقت، انٹیل نے بھی کہا کہ ان کی ضرورت کم از کم 1000 واٹ ہے.
کانفرنس میں، سیمسنگ / ٹی ایم ایس سی کے محققین نے بتایا کہ NXE-3400 پر لیتھوگرافی کے ساتھ دو مشکل مسائل، یا شارٹ سرکٹ یا ایک اضافی علاقے کے نتیجے میں علاقے کی کمی، جس کے نتیجے میں پھاڑنے کے نتیجے میں موجود ہیں.
اس وقت، یورپی یونین لیتھوگرافی مشین 20nm سے زیادہ خرابی کے سائز کے لئے قابل قبول ہے، لیکن اس سے نمٹنے کے لئے ابھی بھی مشکل ہے.
