Recientemente, las principales conferencias internacionales en el ámbito de los sistemas microelectromecánicos y la 31ª Conferencia IEEE MEMS, celebrada en Belfast, Reino Unido. La presentación conferencia de 874 documentos, 347 contratados, recibe el 40%. Noroeste de la Escuela de Ingeniería Mecánica y Eléctrica de la Universidad Politécnica 'laboratorio aeroespacial de sistemas micro y nano Ministerio de Educación' profesor Chang Hung pulmón Grupo de Investigación llevó a cabo un total de cinco documentos en la reunión de la pantalla, que tiene un papel 'un micro resonante electrómetro con 9-Electrón Resolución cargo en la habitación de temperatura' después de la Asamblea general Comité programa técnico (TPC) Anónimo opinión 38 expertos de renombre internacional en MEMS, empiezan a destacar ganó el mejor nombramiento de la concesión de papel de la conferencia, y un informe oral y presentaciones de póster en la conferencia al mismo tiempo. el primer autor del trabajo es Yang Jing, un estudiante de maestría en la Escuela de Ingeniería Mecánica y Eléctrica XCMG, supervisado por el profesor Chang Honglong.
Este artículo informa sobre un electrómetro basado en un resonador débilmente acoplado de tres DOF que alcanza una resolución de 9.21e a temperatura ambiente. Más importante aún, esta alta resolución se encuentra dentro del amplio rango dinámico de 3 millones de electrones. , Que tiene importantes perspectivas de aplicación en los campos de investigación de física básica, medición electrónica y exploración espacial.
