Недавно в Белфасте, Англия, было проведено первое в мире заседание МЭМС и 31-я конференция МЭМС IEEE, в котором было представлено 874 доклада и принято 347 заявок с приемлемым коэффициентом 40%. Северо-западный политехнический университет «Ключевая лаборатория микрокосмической микроскопии космического времени» Профессор Чан Хунлун опубликовал в общей сложности пять работ, представленных на совещании, включая статью «Микрорезонансный электрометр с разрешением 9-электронного заряда в комнатной температуре» после Генеральной Ассамблеи Двойной слепой обзор 38 всемирно известных экспертов MEMS из Комитета технической программы (TPC) получил премию «Лучшая номинация на бумажную номенклатуру» за эту конференцию и представил как устные доклады, так и плакаты на конференции. Первым автором этой статьи был Ян Цзин, студент магистра в Школе механики и электроники XCMG, под руководством профессора Чан Хунлуна.
В этой статье представлен электрометр, основанный на 3-DOF слабосвязанных резонаторах, который достигает разрешения 9,21e при комнатной температуре. Более того, это высокое разрешение находится в пределах большого динамического диапазона 3 миллиона электронов , Которая имеет важные перспективы применения в области фундаментальных исследований физики, электронных измерений и освоения космоса.
