Kürzlich hielten die internationalen Top-Konferenzen auf dem Gebiet der mikroelektromechanische Systeme und der 31. IEEE MEMS-Konferenz in Belfast, UK. Die Konferenz 874 Papiere Vorlage stellte 347, erhält 40%. Northwestern Polytechnischen Universität Schule für Maschinenbau und Elektrotechnik ‚Luft- und Raumfahrt Labor von Mikro- und Nanosystemen Ministerium für Bildung‘ Professor Chang Hung Lung Research Group insgesamt fünf Papiere auf der Sitzung des Displays, die ein Papier ‚ein Mikro Resonant Elektrometer mit 9-Elektronenladung Auflösung in Raumtemperatur‘ nach der Generalversammlung hat technischer Programmausschuss (TPC) Anonyme Bewertung 38 international anerkannte Experten in MEMS, in den Vordergrund gewann die best paper Award Nominierung der Konferenz und einen mündlichen Bericht und Posterpräsentationen auf der Konferenz zur gleichen Zeit. der erste Autor des Papiers NPU Maschinenbau und Elektrotechnik Doktoranden Yang Jing, Tutor Professor Chang Hung Long.
Die Arbeit berichtet über ein Elektrometer, das auf einem schwach gekoppelten Resonator mit drei DOFs basiert, der eine Auflösung von 9,21e bei Raumtemperatur erreicht, und noch wichtiger ist, dass diese hohe Auflösung innerhalb des großen dynamischen Bereichs von 3 Millionen Elektronen liegt , Die wichtige Anwendungsmöglichkeiten in den Bereichen der physikalischen Grundlagenforschung, der elektronischen Messung und der Weltraumforschung bietet.
