Récemment, la plus grande réunion MEMS au monde et la 31ème Conférence IEEE MEMS ont eu lieu à Belfast, au Royaume-Uni, avec 874 communications soumises et 347 acceptées, avec un taux d'acceptation de 40%. «Laboratoire clé de la micronanologie spatio-temporelle» Ministère de l'éducation Prof. Chang Honglong un total de cinq documents présentés à la réunion, y compris un document «Un électromètre micro résonant avec résolution de charge de 9 électrons dans la température ambiante» après l'Assemblée générale Une revue en double aveugle de 38 experts en MEMS de renommée internationale du Comité du programme technique (PTC) a remporté le prix du meilleur article pour cette conférence et a présenté des rapports verbaux et des affiches lors de la conférence. Yang Jing, un étudiant à la maîtrise à l'École de génie mécanique et électrique XCMG, supervisé par le professeur Chang Honglong.
Cet article rapporte un électromètre basé sur un résonateur faiblement couplé à trois DOF qui atteint une résolution de 9,21e à température ambiante et, plus important encore, cette haute résolution se situe dans la grande plage dynamique de 3 millions d'électrons. , Qui a des perspectives d'application importantes dans les domaines de la recherche en physique de base, de la mesure électronique et de l'exploration spatiale.
