Desde 2008, eléctrica división de equipos ha llevado a cabo 02 '90 -65nm gran ángulo especial ion desarrollo de la máquina de la implantación y la industrialización '' componentes clave dispositivo de acondicionamiento y tecnología de la base ''45 gran viga -22nm de desarrollo implantador de iones de baja energía y la industrialización ''28 -14nm equipo y proceso completo, la industria de materiales de pulido' '300mm delgada adelgazamiento de obleas de pulido máquina de desarrollo y proyectos de industrialización.
9 años, equipos eléctricos división ha roto a través de la implantador de iones, un gran número de aparatos químicos de investigación pulido mecánico (CMP) y por lo tanto difícil de conducir IC clave tecnología de la base de equipos y fuerte; hecha 146 patentes de invención, ganado el nivel provincial y ministerial más de 22 premios, integrado conforme a la plataforma estándar SEMI volumen de fabricación de implantación iónica, el establecimiento de la estación de investigación de doctorado; CMP I + D plataforma aprobó el 'Beijing química mecánica proceso de aplanamiento tecnología de ingeniería de equipos de centros de investigación'; primero implantador de iones doméstica, Equipos de 200mmCMP en las grandes líneas de producción de SMIC, equipos de envasado avanzados con capacidades de servicio integradas, acceso a empresas líderes en el envasado avanzado ......
Diligentemente describe la responsabilidad y la responsabilidad de la piedra fundamental
chip de circuito integrado es el núcleo de la piedra angular de la era de la información, la tecnología de fabricación de circuitos integrados representa el nivel más alto en el mundo actual de fabricación de ultra-precisión, la industria de circuitos integrados se ha convertido en una industria estratégica, el impacto de la seguridad social, económico y defensa y la competitividad global. Sin embargo, a medida que la industria del IC de capital intensivo, intensivo en tecnología, personal de uso intensivo de las características, mucho tiempo, la industria china de CI ha sido objeto de diversas limitaciones en occidentales avanzados equipos de fabricación, materiales y procesos, el chip de gama alta es principalmente dependiente de las importaciones. nuestra integración las importaciones de productos de circuito durante muchos años en una fila más de $ 200 mil millones al año, más que el aceite más grande fueron los productos importados. con el fin de lograr el desarrollo de la innovación independiente, el estado puso en marcha 02 proyectos, los principales equipos, procesos e innovación de materiales en 2008.
Zhang Boxu, director de la Comisión Municipal de Beijing por carta, dicho equipo y materiales de alta gama cadena de la industria a partir de cero para llenar las lagunas, tecnología de fabricación y la integración del paquete de crescendo débil para el mundo a participar en la competencia internacional, muestra que el principal sistema nacional de innovación científica y tecnológica para crear etapa de fabricación de circuitos integrados se han alcanzado los objetivos. en los últimos años, el desarrollo vigoroso de la industria de circuitos integrados de china, los principales proyectos jugó un importante innovación técnica para dirigir y papel de apoyo en la investigación 02 equipos especiales de alta gama, la División de equipos eléctricos desempeñó un papel fundamental.
División eléctrica está equipada con China de Tecnología Electrónica Group Corporation (en lo sucesivo, División Eléctrica de China), una subsidiaria de propiedad total, establecida en 2013, integrado por la División eléctrica de China y dos, cuarenta y cinco y cuarenta y ocho años y 11 de la sociedad de cartera , A través de Beijing, Taiyuan, Changsha, Shanghai y otras seis provincias y ocho parques.
Desde su inicio, el equipo eléctrico División defensa de la bandera de la selección de equipos de fabricación electrónica, para llevar adelante la capacidad de soportar las dificultades, destacando la dedicación, la 'década espada' equipo está dispuesto a adherirse al espíritu, de acuerdo con el 'avance clave, soporte de plataformas, conjuntos parciales de servicios integrados' el desarrollo de ideas, se adhieran a la innovación y el desarrollo, se adhieren a la integración entre civiles y militares, mantener el equipo al servicio del país, la captura de la tecnología clave del circuito integrado de fabricación de implantación iónica en los principales equipos, equipos de pulido mecánico químico, etc., para resolver una serie de restringir el desarrollo del autocontrol componentes electrónicos militares de china estrangular retención tema', apoyando el rápido desarrollo de nuevas industrias de semiconductores y componentes electrónicos, y describir las facultades y responsabilidades que pesan juego.
Basándose en años de habilidad equipo básico IC acumulada y el patrimonio de investigación y tecnología de producción militar, División Eléctrica formó un equipo de gama alta pantalla, nueva energía fotovoltaica, materiales de la batería y otros pan-Semiconductor Equipment y conjuntos parciales de capacidades de servicios integrados, una mejora sustancial de los equipos tasa de localización. Actualmente la mayor doméstico equipo IC, el mayor equipo de visualización de gama alta, el equipo de fabricación fotovoltaica, materiales de la batería proveedores de equipos de fabricación, con conjuntos parciales de circuitos integrados y capacidades de integración de sistemas, con una cadena de la industria fotovoltaica completa y toda la línea de capacidades llave en mano.
Romper el monopolio de la forja de implantación iónica en las marcas nacionales avances en tecnologías clave, invención patentada 101 patentes internacionales, y ha logrado una serie de productos para SMIC 90 nm, 55 nm, 40 nm, 28 nm proceso de línea de producción ...... Esta es la división de equipos de energía Bear 02 proyectos especiales de investigación y desarrollo de dos máquinas de implantación de iones realizaron algunos de los resultados.
Ion implantador es del equipo de fabricación de circuito integrado núcleo crítico - principalmente las partículas inyectadas en el material semiconductor, controlando de este modo la conductividad del material semiconductor, formando de este modo una unidad básica de un dispositivo de circuito integrado unión PN, etc., como un solo conjunto después de la investigación y el desarrollo, fabricación, servicios en uno de los proveedores implantador de iones de equipos eléctricos en la División llevaron a cabo 02 proyectos, la investigación y el desarrollo en el implantador iónico, un año a un nuevo nivel. para el año 2014, de 12 pulgadas de implantador de iones de haz a excelente valoración por la oficina nacional de gestión de la aplicación organizadas 02 especial aceptación. 2015, SMIC ha completado el 55 nm, 45 nm y validación de procesos de productos de bajo volumen de 40nm, implantador de iones primer haz interno Taichung primero en lograr la producción en masa de las obleas a través un millón. Por 2016, la introducción de nuevos modelos para satisfacer la tecnología de alta gama 45-22nm gran viga de implantador de iones de baja energía, el haz, gran viga de productos de bajo IC energía utilizados en línea de grandes cantidades. 2017, condiciones de fabricación de volumen implantador de iones planta de proceso y puesto en uso en el laboratorio, plataforma industrial de acuerdo con la norma SEMI, capacidad anual de 50, y la aplicación de sistemas de gestión de información real implantador de iones de lotes para la fabricación de control de calidad y trazabilidad a lo largo.
'PLOT Sintetizador de espesor, para la industria de fabricación de equipos, no sólo para centrarse en el desarrollo de una sola pieza de equipo, juegos completos de alimentación dentro de un cierto rango, formando una plataforma de la capacidad de producción es más importante.' Presidente y secretario del partido Liu Jidong destacaron, equipos eléctricos División La investigación y el desarrollo independientes de implantadores de iones rompió el monopolio del mercado de gama alta de los Estados Unidos y Japón, creando un implantador de iones de marca nacional.
Cero avance doméstico 200mmCMP entrar en la línea de producción de SMIC validación
21 de noviembre de equipos eléctricos, departamento de investigación y desarrollo independiente 200mmCMP aviones comerciales completó las pruebas internas, SMIC Tianjin envió a la compañía en línea de verificación. Esta es la primera vez para entrar en el dispositivo de circuito integrado 200mmCMP línea de producción nacional a gran escala, la solución eficaz a las restricciones de la industria china de CI independiente Cuellos de botella controlables de desarrollo.
CMP es uno de los siete dispositivos clave en la fabricación de circuitos integrados para la planarización y los procesos de interconexión de cobre.
División eléctrica dificultades equipos, los dos extremos de la fuerza. En el oso 'segunda cinco' '28 -14nm 02 proceso de pulido especial y juegos completos de equipo, materiales de proyecto de la industria', al mismo tiempo, la necesidad urgente de que el mercado interno, inversión independiente de investigación Equipo comercial de 200mmCMP, la formación de 300mm, equipo de 200mm de I + D van de la mano, situación de apoyo mutuo.
Desde principios de enero de 2015, el equipo de equipo de I + D División Eléctrica CMP equipado con innumerables noches de insomnio, la industria de las flores de riego final del equipo CMP: Rompiendo más de 10 tecnologías clave, la finalización de la mejora técnica de más de 50, y finalmente en 2017 agosto presenta unas primeras desarrollado con éxito los derechos de propiedad intelectual totalmente independientes de China 200mmCMP aviones comerciales, logrado romper el monopolio de bloqueo de la tecnología extranjera. a través de una estricta prueba de diez mil 'maratón', el dispositivo puede ser comparable con el equipo similar internacional actual.
Se ha informado de que en los próximos seis meses, el equipo de prueba de 200 mm de CMP sea aceptada oficialmente la producción a gran escala, la fiabilidad de los equipos y la consistencia será sometido a un estricto examen.
Juegos completos de lotes avanzados de equipos clave de suministro de envases aplicados a las principales empresas
Equipamiento de empaquetado y ventas totales de más de 2.000 juegos, la tecnología de larga recibe alimentación en lotes, a través rica micro-poder, Suzhou Jing Fang y otros envases IC conocido y empresas de pruebas - en el campo de equipos de gama alta de embalaje, equipos eléctricos División ha formado un conjunto completo de la capacidad de la red local.
Desde el 'Undécimo Cinco', con el apoyo de 02 proyectos, equipos eléctricos División ha emprendido 300mm adelgazamiento delgada oblea y pulido de equipos de envasado máquina y los componentes clave de la tecnología de la base y otros proyectos de tecnología y desarrollo de productos. Hoy en día, los equipos eléctricos División R + D flip-chip de dispositivo de unión, máquina automática adelgazamiento oblea, máquina automática de precisión en dados líder nivel avanzado nacional e internacional, y a IC equipos de envasado avanzada de desarrollo propio y equipo de construcción línea de proceso de verificación parcial para continuo mejorar la estabilidad y fiabilidad de un paquete de circuito integrado hizo dispositivos proporcionan una buena plataforma.
'Cuando el proceso de desarrollo de dispositivos tendrá que ser el diseño del equipo de expansión de la demanda y de fabricación, y continuar para llevar a cabo la validación del proceso.' Dijo Liu Jidong.
Actualmente, la línea de proceso de validación de equipos de envasado que comprende tres efectos: en primer lugar, el dispositivo de verificación, el proceso de verificación, el adelgazamiento, corte en dados, flip-chips, unión de cables y otros equipos para verificar la estabilidad de la línea, la fiabilidad de la capacidad de adaptación, el proceso de validación de la evaluación, y la segunda es verificar la producción masiva del dispositivo, mejorar la capacidad de entregar un lote de equipos, en tercer lugar es para fortalecer la capacidad local en línea, la acumulación de experiencia para proporcionar soluciones totales.
Llamada de responsabilidad para jugar, la misión lidera el futuro.
Eléctrica división de equipos como el equipo nacional en el campo de la fabricación de equipos electrónicos, el equipo mantendrá la responsabilidad de servir al país, para crear equipo electrónico de los poderes que pesan equipos 'de gama alta, creado Guoxin piedra angular del futuro, acerca de la captura de los equipos de fabricación de circuitos núcleo integrado, tecnologías clave, División de equipos eléctricos adhieren a la innovación científica y tecnológica y tracción inversión industrial, los esfuerzos continuos. alrededor del equipo y las industrias relacionadas en el apoyo de la industria de equipos, los esfuerzos para mejorar el nivel de industrialización, a través de actividades dentro del todo, recolectar recursos, construir Beijing equipo de IC y el centro de la innovación industrial al mismo tiempo, la capacidad de cultivar las normas sub-sector de fabricación electrónica inteligentes, equipos de fabricación inteligentes y soluciones de sistemas inteligentes de fabricación; de base, china División eléctrica (Shanxi) de información electrónica innovación tecnológica parque industrial y un parque industrial en Changsha equipos fotovoltaicos, los servicios, nacional y desarrollo local Se ha convertido en una de las principales empresas principales de fabricación inteligente y en proveedores de soluciones de sistemas de fabricación inteligentes en China.