С 2008 года оборудование EEE провело в общей сложности 02 специальных «90 -65 нм крупномасштабных ионных имплантатов R & D и индустриализации» ключевых компонентов и основных технологий упаковочного оборудования «45 -22 нм низкоэнергетического крупнолучевого ионного имплантата R & D и индустриализации «28 -14nm полировочное оборудование и комплекты технологий, индустриализация материалов» 300-мм тонколистовая полировальная машина R & D и индустриализация »и другие проекты.
За последние 9 лет электрооборудование последовательно пробило основные технологии ключевых интегральных схем, таких как ионный имплант и химическое механическое шлифовальное оборудование (CMP), которые приложили большие усилия для решения сложных проблем и имеют сильную движущую силу. Они получили 146 патентов на изобретения и получили сертификаты провинциального и министерского уровня Более 22 наград, построенных в соответствии со стандартной платформой для производства ионных имплантатов SEMI, создание пост-докторской исследовательской станции, платформа R & D CMP была одобрена «Пекинским химическим механическим уплотнительным оборудованием», первым методом имплантации ионов, 200mmCMP оборудование в крупные производственные линии SMIC, современное упаковочное оборудование со встроенными возможностями обслуживания, доступ к передовым упаковочным компаниям ...
Удостоверьтесь в описании ответственности и ответственности за фундаментный камень
Микросхемы интегральной микросхемы являются основным краеугольным камнем эпохи информации, а технология производства интегральных схем представляет собой самый высокий уровень производства сверхточной точности в современном мире. Индустриальная интегральная схема стала стратегической отраслью, которая влияет на социальное обеспечение, экономику и безопасность национальной обороны и общую конкурентоспособность. Однако, Из-за капиталоемких, высокотехнологичных и талантливых особенностей индустрии интегральных схем в течение длительного времени индустрия IC в нашей стране подверглась различным ограничениям в передовом производственном оборудовании, материалах и процессах на Западе. Высококачественные чипы в основном полагаются на импорт. В течение многих лет годовая стоимость импортных товарных продуктов превысила 200 млрд. Долларов США, превысив долю нефти и стала крупнейшим импортным продуктом. В 2008 году государство начало проект «Специализация 02», в основном сосредоточившись на независимой инновации оборудования, процессов и материалов.
Чжан Бейшу, директор Пекинской экономической комиссии, сказал, что высококачественное оборудование и материалы заполнили производственную цепочку с нуля и что процесс производства и интеграция пакетов постепенно меняются от слабых к сильным для участия в международной конкуренции. Это показывает, что национальный научный и технологический крупный проект создает инновационную систему для производства интегральных схем В последние годы активное развитие индустрии IC в Китае, крупные проекты сыграли значительную роль в лидерстве и технической поддержке инноваций. В 02 специальных исследованиях высокого класса оборудования электрооборудование сыграло ключевую роль.
E-Tech является дочерней компанией China Electronics Technology Group Corporation (далее China Electonics), созданной в 2013 году путем интеграции двух E-Techco, сорок пять и сорок восемь и ее 11 холдинговых компаний , Через Пекин, Тайюань, Чаншу, Шанхай и другие шесть провинций и восемь парков.
С момента основания предприятия электротехническое оборудование держало флаг национальной сборной электронного технологического оборудования, переносило трудности, подчеркивает самоотверженность, желая присоединиться к оборудованию «Десятичный мелющий меч» в соответствии с «ключевыми прорывами, поддержкой платформы, частичным пакетом, интегрированными услугами», Идеи для развития, придерживаться инноваций и развития, придерживаться интеграции гражданских и военных, придерживаться оборудования для обслуживания страны, преодолевать интегральное производство ионного имплантата, химического механического шлифовального оборудования и других ключевых технологий для решения группы военных электронных компонентов Китая для контроля за развитием самообороны, Card шея ", поддерживая быстрое развитие полупроводниковых и новых электронных компонентов промышленности, чтобы выразить ответственность и ответственность Великого энергетического оборудования.
Основываясь на накоплении технологий в области основного оборудования интегральной схемы на протяжении многих лет, а также в научно-исследовательских и производственных технологиях военной промышленности, электрооборудование сформировало локальную комплектацию и интегрированную сервисную способность высококачественного дисплея, новые источники энергии фотоэлектрических, силовых полупроводниковых материалов и другого пан-полупроводникового оборудования и значительно улучшило скорость локализации оборудования. В настоящее время это крупнейшее оборудование для интегральных схем, крупнейшее высококачественное дисплейное оборудование, оборудование для производства фотоэлектрических материалов, поставщики оборудования для производства батарейных батарей, интегральная схема локальных комплектов и возможности системной интеграции с полной цепочки фотоэлектрической промышленности и мощностью «под ключ» всей линии.
Преодоление монополии. Продвижение прорыва в ключевых технологиях патентов на отечественный бренд-ионный имплант, сделанных 101 патентами на изобретения, международными патентами 2, достигло серии продуктов и используется в технологической линии SMIC 90 нм, 55 нм, 40 нм, 28 нм ... ... Это электрооборудование Некоторые из результатов сделали два специальных экспериментальных исследования и разработки для ионной имплантации Bear 02.
Ионный имплант является основным оборудованием при изготовлении интегральной схемы (IC), которое в основном вводит частицы в полупроводниковый материал для управления проводимостью полупроводникового материала и формирует базовый блок интегрального устройства, такого как PN-переход. Как единственный в Китае R & D, производство и обслуживание в одном из поставщиков ионных имплантатов, электрооборудование в специальном заявке 02, ионный имплантат R & D в год на новый уровень в 2014 году, 12-дюймовая ионная имплантационная машина для Отличный уровень благодаря внедрению национального специального управления внедрением 02 для принятия организацией. В 2015 году SMIC завершила проверку процесса мелкого пакетного продукта 55 нм, 45 нм и 40 нм, первые возможности имплантации ионного пучка для достижения первой массового производства В 2016 году был введен новый модельный ионный имплантат с малой энергией 45-22 нм с высокой энергией, отвечающий высокотехнологичной технологии, а средние и низкоэнергетические продукты большого тока серийно были применены к основной линии IC в 2017 году. Условия массового производства ионного имплантера в 2017 году Лаборатория завода и процесса, введенная в эксплуатацию, со стандартизацией платформы индустриализации в соответствии с SEMI с годовой производительностью 50 единиц и применением системы управления информацией Пакетный ион Имплантер для производственного контроля качества и прослеживаемость повсюду.
«Накопительное толстое устройство для обрабатывающей промышленности не только заботится о разработке единого устройства в определенном диапазоне поставок, но и становится еще более важным создание платформы для производственных мощностей». Председатель партии Лю Цзидун подчеркнул, что электрооборудование Независимые исследования и разработки ионных имплантеров нарушили монополию на рынке элитного рынка со стороны Соединенных Штатов и Японии, создав внутренний имплантируемый бренд.
Нулевой прорыв отечественного 200mmCMP вводит валидацию производственной линии SMIC
21 ноября коммерческая машина CNM 200MW, независимо разработанная оборудованием EDB, была протестирована внутри страны и отправлена SMIC Tianjin Company для онлайновой проверки, что является первым случаем, когда самодельное 200-миллиметровое устройство CPM вошло в крупную производственную линию по интегральной схеме, эффективно решая проблему ограничения автономии индустрии IC в Китае Контролируемые узкие места разработки.
CMP является одним из семи ключевых устройств в производстве интегральных схем для процессов планирования и медного соединения.
Электрические проблемы отраслевого оборудования, оба конца силы в стремлении «Twelve Five» 02 специального «28 -14nm полировочного оборудования и комплектации технологий, индустриализации материалов» в то же время, сталкиваются с насущными потребностями внутреннего рынка, независимыми исследованиями и разработками 200mmCMP коммерческого оборудования, формирование 300 мм, 200 мм оборудования R & D идти рука об руку, ситуация взаимной поддержки.
Начиная с января 2015 года команда R & D по оборудованию CMP в группе электрооборудования провела бесчисленные бессонные ночи, выливая индустриализацию оборудования CMP: прорыв более чем 10 ключевых технологий, завершил более 50 технических усовершенствований и, наконец, в 2017 году В августе этого года он успешно разработал первую 200-миллиметровую коммерческую машину CMP с полностью независимыми правами на интеллектуальную собственность в Китае и преуспел в нарушении монополии иностранной технологической блокады. Строгий тест на марафон на 10 000 штук сравним с аналогичным международным оборудованием.
Сообщается, что в течение следующих 6 месяцев 200-мм CMP-оборудование официально примет испытание крупномасштабного производства, надежность и согласованность оборудования будут подвергнуты тщательной проверке.
Комплекты передовых пакетов основного оборудования для упаковки, применяемые на ведущих предприятиях
Продажи упаковочного оборудования более 2000 комплектов использовались в партиях Changdian Technology, Tong Fu Microelectronics, Suzhou Jing Fang и других известных отечественных упаковочных и испытательных компаниях - в области высокопроизводительного упаковочного оборудования, электрооборудования сформировалась частичная поставка местных возможностей.
С 11-го FYP, при поддержке Special 02, электрооборудование заняло 300-миллиметровое ультратонкое устройство для прореживания и полировки пластины, а также ключевые компоненты упаковочного оборудования и основных технологий и проектов разработки продуктов и т. Д. Теперь электрооборудование Исследование и разработка сальниковых машин для склеивания, автоматическая машина для прореживания вафли, автоматическая машина для точной резки для достижения ведущего отечественного и международного передового уровня, а также независимые исследования и разработка оборудования для создания интегрированного интегрального оборудования для упаковки, локальная линия проверки процесса для устойчивого Повысьте стабильность и надежность внутреннего оборудования для интегральной схемы, чтобы обеспечить хорошую платформу.
«На момент разработки оборудования нам необходимо проектировать и производить оборудование на основе требований к процессу и постоянно проверять процесс», - сказал Лю Цзидун.
В настоящее время линия проверки технологии упаковочного оборудования имеет три основные функции: во-первых, проверить оборудование, проверить процесс, прореживание, резку, флип-чип, прокладку и другое оборудование в стабильности линии проверки, надежности, адаптивности процесса Оценка и проверка, вторая - проверка серийного производства оборудования для повышения способности пакетной поставки оборудования, а третья - укрепить способность локальных линий, чтобы обеспечить общее решение для получения опыта.
Ответ на вызов, чтобы играть, миссия возглавляет будущее.
В качестве национальной команды в области электронного технологического оборудования электрооборудование будет поддерживать важную задачу обеспечения оборудования для обслуживания страны и создания «высокомощного оборудования» электронного высокотехнологичного оборудования, которое станет краеугольным камнем страны. В будущем, сосредоточив внимание на ключевых технологиях производства интегрированного основного оборудования, Придерживайтесь научно-технических инноваций и промышленности в двухколесном приводе, устойчивой силе вокруг оборудования и оборудования, поддерживаемой смежными отраслями, усилиях по повышению уровня индустриализации, в рамках всей информационно-пропагандистской деятельности, сбора ресурсов, строительства инновационного центра интеграционной микросхемы в Пекине и индустриализации Base, China E-Techco (Shanxi) Инновационный индустриальный парк информационных технологий и технологический парк Changsha Photovoltaic Industrial для обслуживания национального и местного развития, в то же время культивируют способность интеллектуально создавать стандартную формулу электронного отраслевого подразделения, интеллектуальное оборудование и интеллектуальные системы производства Он стал одним из основных интеллектуальных производственных предприятий и интеллектуальных поставщиков системных решений в Китае.