Desde 2008, o equipamento da EEE realizou um total de 02 componentes especiais de 90 e 65nm de implantação e implantação de íons grandes ângulos e tecnologia básica de equipamentos de embalagem "45 -22nm de baixa energia de implantação de íons de feixe grande de I & D e industrialização Equipamentos de polir "28 -14nm e conjuntos completos de tecnologia, industrialização de materiais" Máquina de polir de bolachas finas de 300mm R & D e industrialização "e outros projetos.
Ao longo dos últimos 9 anos, o equipamento elétrico perdeu sucessivamente as principais tecnologias dos principais circuitos integrados, tais como o implante de íons e o equipamento de polimento mecânico químico (CMP), que fizeram grandes esforços para resolver problemas-chave e ter uma forte força motriz. Obteve 146 patentes de invenção e obteve os certificados de nível provincial e ministerial Mais de 22 prêmios, construídos em linha com a plataforma de fabricação de lotes de implantação de íons padrão SEMI, o estabelecimento da estação de pesquisa pós-doutoral, a plataforma de pesquisa e desenvolvimento da CMP foi aprovada 'Centro de Pesquisa de Engenharia de Equipamentos de Processamento Mecânico Mecânico de Pequim, fez o primeiro implante de íons, Equipamentos de 200mm CMMP nas grandes linhas de produção da SMIC, equipamentos avançados de embalagem com capacidades de serviço integradas, acesso a empresas avançadas de embalagens líderes ...
Descreva minuciosamente a responsabilidade e a responsabilidade da pedra fundamental
Os chips de circuito integrado são a pedra angular da era da informação e a tecnologia de fabricação de circuitos integrados representa o mais alto nível de fabricação de ultra-precisão no mundo de hoje. A indústria de circuitos integrados tornou-se uma indústria estratégica que afeta a segurança social, economia e segurança nacional de defesa e competitividade geral. No entanto, Devido às características intensivas em capital, intensivas em tecnologia e intensivos em talento do setor de circuitos integrados, há muito tempo que a indústria de IC em nosso país sofreu vários constrangimentos nos avançados equipamentos, materiais e processos de fabricação no Ocidente. Os chips de ponta dependem principalmente das importações. Durante muitos anos, o volume anual de importação de produtos de circuito excedeu 200 bilhões de dólares dos EUA, superando o do petróleo e se tornando o maior produto importado. Em 2008, o estado iniciou o projeto de "02 Especialização" e principalmente focado na inovação independente de equipamentos, processos e materiais.
Zhang Beixu, diretor da Comissão Econômica de Pequim, disse que os equipamentos e materiais de ponta encheram a cadeia industrial do zero e que o processo de fabricação e integração de pacotes mudaram gradualmente de fraco para forte para participar da competição internacional. Isso mostra que o projeto principal de ciência e tecnologia nacional está criando um sistema de inovação para fabricação de circuitos integrados Nos últimos anos, o desenvolvimento vigoroso da indústria chinesa da IC, os principais projetos têm desempenhado um papel importante na liderança da inovação e no suporte técnico. Na 02 pesquisa especial de equipamentos de ponta, o equipamento elétrico tem desempenhado um papel fundamental.
A E-Tech é uma subsidiária integral da China Electronics Technology Group Corporation (doravante denominada China Electonics), criada em 2013 pela integração de dois E-Techco, quarenta e cinco e quarenta e oito e suas 11 holdings Através de Pequim, Taiyuan, Changsha, Xangai e outras seis províncias e oito parques.
Desde a fundação do estabelecimento, o equipamento elétrico manteve alto a bandeira da equipe nacional de equipamentos de fabricação eletrônica, envie o trabalho árduo, fale sobre a dedicação, querendo aderir ao equipamento da "espada de moagem da década", de acordo com "avanços-chave, suporte de plataforma, pacote parcial, serviços integrados" Idéias de desenvolvimento, aderir à inovação e ao desenvolvimento, aderir à integração civil e militar, aderir ao equipamento para atender o país, superar o fabrico de circuitos integrados equipamentos chave de implante de íons, equipamentos de polimento mecânico químico e outras tecnologias-chave para resolver um grupo de componentes eletrônicos militares da China para controlar o desenvolvimento de auto- Card neck ', apoiando o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores e componentes eletrônicos emergentes, para expressar a responsabilidade e responsabilidade do Great Power Equipment.
Baseando-se na acumulação de tecnologia no campo do equipamento de núcleo de circuito integrado durante muitos anos e a tecnologia de pesquisa científica e produção da indústria militar, o equipamento elétrico formou um conjunto local completo e uma capacidade integrada de serviço de exibição de alta qualidade, novas fontes de energia de materiais fotovoltaicos, semicondutores de energia e outros equipamentos pan-semicondutores. Atualmente, é o principal equipamento de circuitos integrados, o maior equipamento de exibição de gama alta, equipamentos de fabricação fotovoltaica, fornecedores de equipamentos de fabricação de material de bateria elétrica, com o circuito integrado de conjuntos completos locais e capacidades de integração de sistemas, com uma cadeia de indústria fotovoltaica completa e capacidade chave na mão da linha inteira.
Rompendo o monopólio Forjando um avanço nas principais tecnologias das patentes de implantação de íons da marca doméstica, realizou 101 patentes de invenção, patentes internacionais 2, conseguiu uma série de produtos e usado em SMIC 90nm, linha de processo de 55nm, 40nm, 28nm ... ... Este é o equipamento elétrico Oportão 02 projetos especiais de pesquisa e desenvolvimento de máquinas de implantação de dois íons fizeram alguns dos resultados.
Ion dispositivo de implantação é de equipamento de fabricação de circuitos integrados núcleo crítico - em primeiro lugar as partículas injectados para dentro do material semicondutor, controlando desse modo a condutividade do material semicondutor, formando deste modo uma unidade de base de um dispositivo de circuito integrado junção PN, etc, uma vez que apenas um conjunto após a pesquisa e desenvolvimento, fabricação, serviços em um dos fornecedores ion implantador de equipamento eléctrico na Divisão realizou 02 projetos, pesquisa e desenvolvimento no implantador de íons, um ano a um novo nível. em 2014, 12 polegadas de implantador de íons feixe para excelente classificação pelo escritório nacional de gestão de implementação organizados 02 aceitação especial. até 2015, a SMIC concluiu a 55nm, 45nm e validação processo de produto de baixo volume de 40nm, Taichung doméstica implantador de íons primeiro feixe primeiro a alcançar a produção em massa de bolachas através um milhão. em 2016, a introdução de novos modelos para atender a tecnologia de ponta 45-22nm grande feixe de dispositivo de implantação de iões de baixa energia, o feixe, grande feixe de produtos de baixa IC energia utilizados em linha de grandes quantidades. 2017, condições de fabricação de volume de implantação iónica O laboratório de instalações e processos é utilizado, com a padronização da plataforma de industrialização em linha com a SEMI, com uma produção anual de 50 unidades e a aplicação do sistema de gerenciamento de informações. implantador de íons de lote para a fabricação de controle de qualidade e rastreabilidade por toda parte.
'Traçar Sintetizador de espessura, Para a indústria de fabricação de equipamentos, não só para se concentrar no desenvolvimento de uma única peça de equipamento, conjuntos completos de abastecimento dentro de um determinado intervalo, formando uma plataforma de capacidade de produção é mais importante.' Presidente e secretário do partido Liu Jidong enfatizou, equipamento eléctrico Divisão Pesquisa independente e desenvolvimento de implantes de íons quebraram o monopólio do mercado high-end pelos Estados Unidos e Japão, criando um implante de íons da marca doméstica.
Zero breakhiprough 200mmCMP interno entra na validação da linha de produção SMIC
21 de novembro de equipamentos elétricos, departamento de pesquisa e desenvolvimento independente 200mmCMP aeronaves comerciais concluídos testes internos, SMIC Tianjin enviou para a empresa on-line de verificação. Esta é a primeira vez para entrar no dispositivo de circuito integrado 200mmCMP linha de produção doméstica em grande escala, solução eficaz para as restrições de IC da China indústria independente Estrangulamentos de desenvolvimento controláveis.
O CMP é um dos sete dispositivos chave na fabricação de circuitos integrados para processos de planarização e interconexão de cobre.
As dificuldades dos equipamentos do ramo elétrico, ambos os extremos da força no compromisso de "Twelve Five" 02 especial '28 -14nm polimento equipamentos e completos conjuntos de tecnologia, materiais industrialização 'projeto ao mesmo tempo, de frente para as necessidades urgentes do mercado interno, pesquisa independente e desenvolvimento Equipamentos comerciais 200mmCMP, a formação de RYD de equipamentos de 300mm, 200mm, acompanham a mão, situação de apoio mútuo.
A partir de janeiro de 2015, a equipe de P & D do equipamento CMP no Grupo de Equipamentos Elétricos gastou inúmeras noites sem sonar derramando a industrialização de equipamentos CMP: avanços de mais de 10 tecnologias-chave, completou mais de 50 melhorias técnicas e, finalmente, em 2017 Em agosto deste ano, desenvolveu com sucesso a primeira máquina comercial CMP de 200mm com direitos de propriedade intelectual completamente independentes na China e conseguiu quebrar o monopólio do bloqueio de tecnologia estrangeira. O rigoroso teste de maratona de 10.000 peças é comparável ao equipamento internacional similar.
É relatado que nos próximos 6 meses, equipamentos de CMP de 200mm para aceitar formalmente o teste de produção em larga escala, confiabilidade e consistência do equipamento serão submetidos a um exame rigoroso.
Conjuntos completos de lotes avançados de equipamento de fornecimento de embalagens avançadas aplicados às principais empresas
As vendas de equipamentos de embalagem de mais de 2.000 conjuntos, tem sido usada em lotes Changdian Technology, Tong Fu Microelectronics, Suzhou Jing Fang e outras bem conhecidas embalagens domésticas e empresas de teste - no campo de equipamentos de embalagem de alta qualidade, equipamentos elétricos formaram um fornecimento parcial de capacidades locais.
Desde o 11º FYP, com o suporte do Special 02, o equipamento elétrico adquiriu máquina de amassar e polir ultra-fina de bolinhas de 300 mm e os principais componentes do equipamento de embalagem e tecnologias de núcleo e projetos de desenvolvimento de produtos, etc. Agora, equipamentos elétricos A pesquisa eo desenvolvimento da máquina de encadernação flip-chip, máquina automática de desbaste de bolacha, máquina de correção de precisão automática para atingir o nível avançado nacional e internacional avançado e pesquisa e desenvolvimento independente de equipamentos para construir equipamentos integrados de empacotamento de circuitos avançados, linha de validação de processos local para a sustentação Melhore a estabilidade e a confiabilidade dos equipamentos domésticos de embalagens de circuitos integrados para fornecer uma boa plataforma.
"No momento do desenvolvimento do equipamento, precisamos projetar e fabricar equipamentos com base nos requisitos do processo e verificar continuamente o processo", disse Liu Jidong.
Atualmente, a linha de verificação de tecnologia de equipamentos de embalagem tem três funções principais: primeiro, verifique o equipamento, verifique o processo, o desbaste, o corte, o flip-chip, a ligação de arame e outros equipamentos na estabilidade da linha de verificação, confiabilidade, adaptabilidade do processo Avaliação e verificação, o segundo é verificar a produção em lote de equipamentos para aumentar a capacidade de entrega de lotes de equipamentos; o terceiro é fortalecer a capacidade do local em uma linha, para fornecer a solução global para ganhar experiência.
Responsabilidade chamada a jogar, a missão liderar o futuro.
Como equipe nacional no campo do equipamento de fabricação eletrônica, o equipamento elétrico manterá a importante tarefa de fornecer equipamentos para atender o país e construir "equipamentos de alta potência" de equipamentos eletrônicos high-end, que serão a pedra angular do país. No futuro, com foco nas principais tecnologias para a fabricação de equipamentos integrados, Aderir à inovação científica e tecnológica e à indústria em uma força de duas rodas, uma força sustentada em torno da indústria de equipamentos e equipamentos sob o apoio de indústrias relacionadas, esforços para aumentar o nível de industrialização, através de todo o alcance, reunindo recursos, construção do centro de inovação de equipamentos de circuitos de Pequim e industrialização Base, China E-Techco (Shanxi), o Parque Industrial de Inovação de Tecnologia de Informação Eletrônica e o Parque Industrial de Equipamentos Fotovoltaicos de Changsha para atender o desenvolvimento nacional e local, ao mesmo tempo, cultivar a capacidade de criar inteligentemente a formulação padrão da indústria de subdivisões eletrônicas, fabricação de equipamentos inteligentes e soluções de sistemas de fabricação inteligentes Tornou-se uma das principais empresas de backbone de fabricação inteligente e fornecedores de soluções de sistemas de fabricação inteligentes na China.