2008 년부터, 전기 장비 부문은 주입 기계 개발 및 산업화 ''포장 장치 핵심 부품 및 핵심 기술 '저 에너지 이온 주입기 개발 및 산업화 '45 -22nm 큰 빔 이온 02 특별 '90 -65nm 큰 각도를 수행하고있다 '장비와 완벽한 공정, 소재 산업을 연마 '28 -14nm'기계 개발 및 산업화 '프로젝트를 연마 300mm 박막 웨이퍼 숱.
9년는 전기 장비 부문 대형 연구 화학 기계적 연마 장치의 수 (CMP) 등 어려운 IC를 주요 장비의 핵심 기술과 강한 구동 이온 주입 돌파 갖는다 146 개 발명 특허 이루어진 지방 및 장관급 원 22 개 이상의 상을, CMP R & D 플랫폼 '베이징 화학 기계적 평탄화 공정 장비 공학 기술 연구 센터'를 승인;, 박사 후 연구 기지의 설립 SEMI 표준 이온 주입기 대량 생산 플랫폼에 부합하는 내장 국내 최초의 이온 주입기를, SMIC의 대형 생산 라인에 200mmCMP 장비, 통합 서비스 기능을 갖춘 첨단 패키징 장비, 첨단 패키징 선도 기업에 대한 액세스 ......
기초 석의 책임과 책임을 부지런히 묘사
집적 회로 칩, 집적 회로 산업은 전략 산업이되었다 정보화 시대의 초석의 핵심은, 집적 회로 제조 기술은 초정밀 제조 오늘날의 세계에서 가장 높은 수준을 나타냅니다이다, 사회, 경제 및 국방 보안 및 종합 경쟁력에 미치는 영향. 그러나, 이 IC 산업으로 자본 집약적, 기술 집약적, 인력 집약적 인 기능, 오랜 시간, 중국의 IC 산업은 서양의 첨단 제조 장비, 재료 및 프로세스의 여러 제약 대상이되고있다, 하이 엔드 칩은 수입에 주로 의존한다. 우리의 통합 더 큰 석유 제품을 수입 한 것보다 더 많은 연간 $ (200) 억 이상 연속 몇 년 동안 회로 제품 수입. 독립적 인 혁신의 발전을 달성하기 위해, 국가는 2008 년 02 프로젝트, 주요 장비, 프로세스 및 재료 혁신을 시작했다.
장 Boxu, 편지에 의해 북경시위원회 이사, 국가 주요 과학 기술 혁신 시스템은 집적 회로 제조 단계를 만들 수 있음을 보여줍니다 처음부터 하이 엔드 장비 및 재료 산업 체인이 국제 경쟁에 참여하는 세계에 약한 크레센도의 차이, 제조 기술 및 패키지 통합을 채우기 위해 말했다 목표를 달성하고있다. 최근 몇 년 동안, 중국의 집적 회로 산업의 활발한 개발, 주요 프로젝트 리드와 연구 02 특별 하이 엔드 장비에서 지원 역할을하는 중요한 기술 혁신을 담당, 전기 장비 부문 중추적 인 역할을했다.
전기 부문은 중국 전기 부문이, 사십 오와 지주 회사 40-8와 (11)에 의해 통합 된 2013 년에 설립 된 (이하 중국 전기 부문으로 함) 중국 전자 기술 그룹 공사, 자회사, 장착되어 있습니다 베이징, 타이 위안, 창사, 상하이에서 여섯 개 주와 팔 개 공원 기타.
그것의 처음부터, 전자 제품 제조 장비의 국가 대표팀의 배너를 지키는 전기 장비 사업부, 헌신을 강조 어려움을 견딜 수있는 능력을 앞으로 수행하기 위해, '십 년간 칼'장비는 '키 혁신, 플랫폼 지원, 통합 서비스의 부분 집합'에 따라, 정신을 준수 할 의사가 아이디어의 개발 등 핵심 장비 이온 주입기, 화학 기계적 연마 장비를 제조 집적 회로의 핵심 기술을 캡처, 국가를 봉사하는 장비를 유지, 민간 군사 통합을 준수, 혁신과 개발을 준수, '자기 통제 군 전자 부품의 중국의 발전을 제한하는 숫자를 해결하기 위해 새로운 반도체 및 전자 부품 산업의 급속한 발전을 지원 보류 '문제를 졸라, 놀이 무게 권한과 책임을 설명합니다.
축적 된 기술 IC 핵심 장비와 군사 연구 및 생산 기술 유산의 년에 의존, 전기 부문은 하이 엔드 디스플레이 장비, 새로운 에너지 태양 광, 전지 재료 및 기타 팬 반도체 장비 및 통합 서비스 기능의 부분 집합, 장비 국산화율의 상당한 업그레이드를 형성했다. 현재 전체 태양 광 산업 체인 턴키 기능의 전체 라인이 집적 회로 및 시스템 통합 기능의 부분 집합와 국내 주요 IC 장치, 최대 상한 디스플레이 장치, 태양 광 제조 장비, 전지 재료 제조 설비 공급자.
발명 (101) 국제 특허 특허 핵심 기술의 이온 주입기 국내 브랜드의 혁신 단조 독점을 깨고, 그리고 SMIC의 90 나노, 55 나노, 40 나노, 28 나노 공정의 생산 라인에 대한 제품의 시리즈를 달성했다 ......이 전력 설비 부문이다 결과 중 일부는 만든 02 특수 이온 주입기 두 개의 R & D 프로젝트를 부담.
이온 주입기는 중요한 핵심 집적 회로 제조 장비 인 - 이에 따라서 등 PN 접합 집적 회로 장치의 기본 단위를 형성하는 반도체 재료의 도전율을 제어하는, 반도체 재료를 주입 주로 입자, 하나 개의 세트로서 연구 개발, 제조 후에 분할 전기 장비의 이온 주입 업체 중 하나의 서비스는 02 프로젝트, 이온 주입, 새로운 레벨로 년의 연구 및 개발에 착수. 2014, 빔 이온 주입기 12 인치 국가 구현 관리 사무소에 의해 우수한 한 점수는 제 1 관통 웨이퍼의 대량 생산을 달성하기 위해 02 특별 승인. 2015 년 SMIC는 55 나노, 45 나노 및 40 나노 소량 제품 공정 검증, 타이 중 국내 제 1 빔 이온 주입기에 완료 조직 백만. 2016 년, 새로운 모델의 도입은 하이 엔드 기술을 낮은 에너지 이온 주입기, 빔, 대량 라인에 사용되는 낮은 에너지 IC 제품의 대형 빔의 45-22nm 대형 빔을 충족합니다. 2017, 이온 주입기의 대량 생산 조건을 공장 및 공정 실험실은 SEMI와 일치하는 산업화 플랫폼의 표준화와 함께 사용되며 연간 생산량은 50 유닛이며 정보 관리 시스템 전반에 걸쳐 품질 관리 및 추적을 제조하기위한 배치 이온 주입기.
'생산 능력의 플랫폼이 더 중요 형성뿐만 아니라 장비, 일정한 범위 내에서 공급의 완전한 세트의 한 조각의 개발에 초점을, 장비 제조 산업을위한 두꺼운 신디사이저를 그린다.'회장 겸 당 비서 리우 Jidong 강조, 전기 장비 부문 이온 주입기의 독립적 인 연구 및 개발은 미국과 일본의 고급 시장 독점을 깨뜨리고 국내 브랜드 이온 주입기를 만들었습니다.
국내 최초의 200mmCMP 획기적인 SMIC 생산 라인 검증
11 월 21 일 전기 장비, 독립적 인 연구 및 개발 부서 200mmCMP 상용 항공기 내부 테스트를 완료, SMIC 천진 독립적 인 중국의 IC 산업의 제약으로 검증. 이는 국내 집적 회로 장치 200mmCMP 대규모 생산 라인을 입력하는 것은 이번이 처음이다 온라인 회사에 효율적인 솔루션을 전송 개발의 병목 현상을 제어 할 수 있습니다.
CMP는 평탄화 및 구리 상호 연결 공정을위한 집적 회로 제조의 7 가지 주요 장치 중 하나입니다.
전기 부문 장비 어려움, 힘의 양 끝. '28 -14nm 02 특수 연마 공정 및 장비의 완전한 세트, 소재 산업 '프로젝트를 동시에'오초 '곰에서 국내 시장을위한 긴급한 필요, 독립적 인 투자 연구 200mm CMP 상용 장비, 300mm, 200mm 장비 R & D의 형성 손에 손을 가서, 상호 지원 상황.
10 개 이상의 핵심 기술, 50의 기술적 개선을 완료하고, 마침내 2017 속보 : 2015 년 1 월 초부터, 전기 부문 CMP 장비 R & D 팀은 수많은 잠못드는 밤의 CMP 장비의 최종 물 꽃 산업 장착 8 월 성공적으로 상용 항공기, 외국 기술의 봉쇄의 독점을 깨는 데 성공 200mmCMP 중국 최초의 완전 독립적 인 지적 재산권을 개발했다. 엄격한 만 '마라톤'테스트를 통해, 장치는 현재 국제 유사한 장비와 비교 될 수있다.
그것은 향후 6 개월, 200mm CMP 장비는 공식적으로 대규모 생산, 장비의 신뢰성과 일관성의 시험을 받아 엄격한 심사를 받게됩니다보고됩니다.
선도 기업에 적용되는 고급 포장 공급 핵심 장비 배치의 전체 세트
2,000 개 이상의 세트 포장 장비 매출이 긴 전원 기술이 풍부한 미세 전력 통해 일괄 적으로 적용되어, 소 징 팡 등의 공지의 IC 패키징 및 테스팅 기업 - 하이 엔드 장비 기기의 분야에서, 전기 장치 부는 로컬 공급 능력의 완전한 세트를 형성하고있다.
02 사업의 지원으로 '11 차 5'이후, 전기 장비 부문은 300mm 박막 웨이퍼 숱이 연마 기계 포장 장비 및 핵심 기술 및 기타 기술 및 제품 개발 프로젝트의 주요 구성 요소. 오늘을 수행하고있다, 전기 장비 부문 R & D 플립 칩 본더, 자동 웨이퍼 씨닝 기계, 자동 정밀 싱 머신 선도 국내외 고급 수준 및 연속 운전 자체 개발 IC 고급 패키징 장비, 건설 장비, 부분 검증 프로세스 라인 우수한 집적도를 제공하기 위해 국내 집적 회로 패키징 장비의 안정성과 신뢰성을 향상시킵니다.
'장비 개발 당시 프로세스 요구 사항에 따라 장비를 설계 및 제조하고 프로세스를 지속적으로 검증해야합니다.'라고 Liu Jidong은 말했습니다.
현재 세 효과를 포함하는 공정 검증 포장 설비 라인 : 우선, 인증 장치, 인증 과정, 세 선화, 다이 싱 라인의 안정성, 적응성의 신뢰성을 검증하기 위해, 와이어 본딩 및 기타 장비 플립 칩 프로세스 평가 검증, 둘째, 디바이스 양산 검증 장치의 배치를 전달하는 능력을 강화하는 것이다 셋째 줄에 로컬 용량, 총 솔루션을 제공하는 경험의 축적을 강화하는 것이다.
미래의 임무를 수행하는 임무 책임자.
전기 장비 부문은 전자 제품 제조 장비 분야에서 국내 팀으로, 장비는 하이 엔드 전자 기기 '무게를 측정하는 장비의 힘'을 만들기 위해, 국가를 봉사하는 책임을지지 않습니다의 핵심 집적 회로 제조 장비의 수중에 넣어, 핵심 기술, 전기 장비 부문 의지에 대한 미래의 Guoxin의 초석을 만들어 베이징 IC 장비 및 산업 혁신 센터, 전체에서 봉사 활동을 통해 산업화의 수준을 향상 자원을 수집, 구축하기위한 노력을 장비 주위에. 과학 기술 혁신과 산업 투자 륜 구동, 지속적인 노력을 준수 및 장비 산업 지원 관련 산업 기지, 중국 전기 부문 (산서) 창사 태양 광 장비, 서비스, 국가 및 지역 개발에 전자 정보 기술 혁신 산업 단지와 산업 단지, 동시에 지능형 전자 제조 하위 분야 표준 지능형 제조 장비 및 지능형 생산 시스템 솔루션을 육성 할 수있는 능력에서 그것은 중국에서 주류 스마트 제조 백본 기업 및 지능형 제조 시스템 솔루션 공급자 중 하나가되었습니다.