2008年以来、電気機器事業部は、低エネルギーイオン注入装置の開発と工業化の'45 -22nm大きなビームを注入機の開発と産業化イオン02特別'90 -65nm大きな角度「」包装装置のキーコンポーネントとコア技術」を実施してきました「'28機器と完全なプロセスを研磨-14nm、素材産業」 'マシンの開発と産業化のプロジェクトを研磨300ミリメートル薄いウェーハ薄化。
9年、電気機器部門は、イオン注入を介して、研究、化学機械研磨装置（CMP）の多数を破壊し、ICキー装置コア技術を駆動し、強いことが非常に困難いる; 146件の発明特許を作り、省、閣僚レベルを獲得しました以上の22個の賞、構築されたSEMIスタンダードイオン注入装置の大量生産プラットフォームに準拠し、ポスドク研究ステーションの設立;、国内の第一のイオン注入装置、CMP R＆Dは、プラットフォームは「北京化学的機械的平坦化プロセス装置工学技術研究センター」を承認200mmCMP機器SMIC国内の先進的なパッケージング企業を入力するために、統合サービス機能を備えた大規模な生産ライン、高度な包装機器を入力する......
基礎石の責任と責任を丁寧に記述する
集積回路チップは、集積回路の製造技術は、超精密製造業の今日の世界で最高レベルを表し、集積回路産業は戦略的な産業、社会、経済、防衛、セキュリティと包括的な競争力のインパクトとなっている、情報化時代の礎石の中核である。しかし、 IC産業の資本集約型、技術集約、人員集約的な機能、長い時間のように、中国のIC産業は欧米の先進的な製造装置、材料とプロセスに様々な制約を受けてきた、ハイエンドチップは輸入に主に依存している。私たちの統合最大の石油よりも、年間の行で長年のための回路製品の輸入以上$ 200億ドル、製品を輸入した。独立した技術革新の発展を達成するために、状態は2008年に02のプロジェクト、主要機器、プロセスおよび材料の革新を開始しました。
張Boxu、手紙で北京市委員会のディレクターは、国際競争に参加するために弱いクレッシェンドから世界へ製造技術とパッケージの統合、ギャップを埋めるためにゼロからハイエンドの機器や材料産業チェーンを述べ、集積回路の製造段階を作成するために、全国の主要な科学技術イノベーションシステムすることを示しています目的は、近年の中国の集積回路産業の積極的な発展を遂げてきた、主要なプロジェクトは、研究02特別なハイエンド機器での役割をリードし、サポートするための重要な技術革新を果たし、電気機器部門は、極めて重要な役割を果たしました。
電気事業は、中国の電気事業2、四〇から五及び持株会社四〇から八と11により一体化し、2013年に設立され（以下、中国の電気事業とも呼ばれる）中国エレクトロニクス技術グループ株式会社、全額出資子会社、装備されています、北京、太原、長沙、上海、他の6つの州と8つの公園を横切ります。
創業以来、エレクトロニクス製造装置の代表チームの旗を掲げ電気機器部門は、献身を強調し、苦難に耐える能力を前方に運ぶために、「十年の剣の機器は、「キー画期的な、プラットフォームのサポート、統合されたサービスの部分集合」に合わせて、精神を遵守していく所存ですセルフコントロール軍用電子部品の中国の発展を制限するの数を解決するためのアイデアの開発、技術革新と開発に準拠し、市民軍の統合を遵守など主要機器のイオン注入装置、化学機械研磨装置を製造する集積回路のキーテクノロジーを取り込み、国に奉仕する機器を守ります、新しい半導体・電子部品産業の急速な発展を支援する、」問題を保持絞め、およびプレイを計量権限と責任を記述する。
蓄積したスキルICのコア機器や軍事研究と生産技術遺産の年に頼って、電気事業は、ハイエンドのディスプレイ機器、新エネルギー太陽光発電、電池材料や他のパン・半導体製造装置および統合サービス機能の部分集合、機器のローカライズ率の大幅なアップグレードを結成しました。現在、完全な太陽光発電産業チェーンとターンキー機能の全体のラインを有する集積回路やシステム統合機能の部分集合、との主要な国内のIC機器、最大のハイエンドディスプレイ機器、太陽光発電製造装置、電池材料製造装置サプライヤー、。
キーテクノロジーでイオン注入国内ブランドのブレークスルーを鍛造独占、特許発明101件の国際特許を破る、とSMICの90nm、55nmの、40nmプロセス、28nmプロセスの生産ラインのための製品のシリーズを達成した......これは、電力機器部門ですベア02特別な2イオン注入機の研究開発プロジェクトは、いくつかの結果を出した。
イオン注入装置は臨界コア集積回路製造装置である - 主に粒子が唯一一組として、これにより、これによりPN接合集積回路装置の基本単位、等を形成し、半導体材料の導電率を制御する、半導体材料に注入しました研究開発、製造した後、部門の電気機器のイオン注入装置のサプライヤの一つでサービスは02プロジェクト、イオン注入装置、新たなレベルへの年間の研究開発に着手した。2014年までに、ビームイオン注入装置で12インチまで国内実施管理事務所による優れた評価は、02特別な受け入れを組織しました。2015年までに、SMICは、第1貫通ウエハーの量産を実現するために55nmの、45nmプロセスと40nmの低容量製品のプロセスバリデーション、台中国産第1のビームイオン注入を完了しました百万。2016年までに、ハイエンドの技術を低エネルギーイオン注入、ビーム、大量のラインで使用される低エネルギーIC製品の大梁の45-22nm大きなビームを満たすために新機種の導入。2017年、イオン注入量の製造条件SEMIに沿った工業化プラットフォームの標準化と、50ユニットの年間生産量を持つプラントとプロセスの実験室、および情報管理システムのアプリケーション全体の品質管理とトレーサビリティを製造するためのバッチイオン注入装置。
「生産能力のプラットフォームを形成することがより重要であり、一定の範囲内の電源の完全なセット、一つの機器の開発に注力するだけでなく、機器の製造業のために、厚いシンセサイザーをプロットします。」会長と党書記の劉Jidongを強調し、電気機器部門イオン注入装置の独立した研究開発は、米国と日本のハイエンド市場の独占を破り、国内ブランドのイオン注入装置を作り出しました。
突破口の国内200mmCMPはSMIC生産ラインの検証に入る
11月21日には、電気機器、独立した研究開発部門200mmCMP商用航空機が内部テストを完了し、SMIC天津は、オンライン検証会社に送信される。これは、国内の集積回路装置200mmCMP大規模な生産ラインを入力するのは初めてで、独立した中国のIC産業の制約に効果的なソリューションを開発のコントロール可能なボトルネック。
CMPは、平坦化および銅相互接続プロセスのための集積回路製造における7つの重要なデバイスの1つである。
電気事業設備の難しさ、力の両端。熊第2次5 "'28 -14nm 02特殊な研磨工程や設備の完全なセットで、素材産業「プロジェクト同時に、国内市場のための緊急の必要性、独立した投資リサーチ200mmCMP商用機器、300ミリメートル、200ミリメートル機器の研究開発の形成は、手の中で手を行き、相互支援状況。
10の以上の主要技術、50以上の技術的改良が完了したことを破ると、最終的には2017年：2015年1月、無数の眠れない夜、CMP装置の最終散水花業界を搭載した電気事業CMP装置のR＆Dチームの先頭から8月には成功した民間航空機は、外国技術の封鎖の独占を破ることに成功し200mmCMP中国初の完全に独立した知的財産権を開発しました。厳しい1万「マラソン」のテストを通じて、デバイスは、現在の国際同様の装置に匹敵することができます。
それは次の6ヶ月で、200ミリメートルCMP機器は、正式に大規模な生産、機器の信頼性と一貫性のテストを厳格な審査を受けることを受け入れることが報告されている。
先進的な包装の完全なセットは、主要な企業に適用される主要な機器のバッチを供給
2,000人以上のセットの包装機器の総売上高は、長い電源技術が豊富なマイクロパワーを通じて、バッチで適用されている、蘇州ジン牙と他のよく知られたICパッケージングとテストの企業 - ハイエンド包装機器の分野では、電気機器部門は、地元の供給能力の完全なセットを形成しています。
「十一五」以来、02のプロジェクトの支援を受けて、電気機器部門は、300ミリメートル薄いウェーハ薄化に着手し、機械包装機器とコア技術やその他の技術や製品開発プロジェクトの主要なコンポーネントを研磨している。今日では、電気機器部門をR＆Dフリップチップボンダ、自動ウェハ薄化機、自動精密ダイシング機械主要な国内および国際的な高度なレベル、および連続のための自己開発IC高度包装装置及び建設機械部分検証プロセスラインに国内の集積回路パッケージング装置の安定性と信頼性を向上させ、優れたプラットフォームを提供します。
「機器開発時には、プロセス要件に基づいて機器を設計、製造し、プロセスを継続的に検証する必要があります」とLiu Jidong氏は述べています。
現在、3つの効果を含むプロセスバリデーション包装機器ライン：まず、検証装置、検証処理、細線化、ダイシング、フリップチップ、ワイヤーボンディング及びラインの安定性、適応性の信頼性、プロセスを検証するための他の機器を評価と検証;第二は機器のバッチ生産の能力を高めるために機器のバッチ生産を確認することです;第三は、経験を得るために全体的なソリューションを提供するために、ラインへのローカルの能力を強化することです。
プレイするための責任の呼びかけ、将来の使命のリーダー。
エレクトロニクス製造装置の分野での代表チームとして電気機器部門、機器は、ハイエンドの電子機器の機器計量力 'を作成するために、国に奉仕する責任を維持し、将来の国信の礎石を作成し、コア集積回路製造装置、キーテクノロジー、電気機器部門の取得に関する意志機器業界の支援に機器や関連産業を中心に、科学技術の革新と産業投資輪駆動への継続的な努力を接着し、工業化のレベルを高めるための努力は、全体の中のアウトリーチを通じて、資源を集め、北京IC機器と産業革新センターを建設ベース、中国の電気事業（山西省）電子情報技術革新工業団地と長沙の太陽光発電設備では工業団地、サービス、国や地方の開発、インテリジェント電子製造業サブセクター規格、インテリジェントな製造設備および知的生産システムソリューションを育成すると同時に能力それは中国の主流のスマートな製造バックボーン企業とインテリジェントな製造システムソリューションプロバイダの1つになっています。