Depuis 2008, la Division des équipements électriques a entrepris 02 spécial '90 -65nm grand angle ion développement de la machine d'implantation et de l'industrialisation « » dispositif de conditionnement de composants clés et la technologie de base « '45 faisceau -22nm important de développement à faible implantation d'ions d'énergie et de l'industrialisation « '28 -14nm matériel de polissage et processus complet, industrie des matériaux » « 300mm amincissement mince plaquette développement de la machine de polissage et de l'industrialisation » des projets.
9 ans, Division de l'équipement électrique a franchi le dispositif d'implantation d'ions, un grand nombre d'appareils de recherche chimique de polissage mécanique (CMP) et si difficile à conduire la technologie clé de base de l'équipement IC et forte; fait 146 brevets d'invention, a remporté le niveau provincial et ministériel plus de 22 prix, construit conformément à la plate-forme de fabrication de volume implanteur ionique SEMI standard, la mise en place de la station de recherche post-doctorale, la plate-forme CMP R & D a approuvé le « centre de recherche technologique de l'ingénierie Beijing équipement de traitement de planarisation mécano-chimique », premier domestique implanteur ionique, équipement 200mmCMP SMIC pour entrer des lignes de production à grande échelle, des équipements d'emballage de pointe avec des capacités de services intégrés, d'entrer dans les entreprises d'emballage avancées nationales ......
L'écriture responsabilité fondamentale tempérée de l'Etat et a servi de pierre angulaire de
puce de circuit intégré est au cœur de la pierre angulaire de l'ère de l'information, la technologie de fabrication de circuits intégrés représente le plus haut niveau dans le monde d'aujourd'hui de la fabrication de haute précision, l'industrie des circuits intégrés est devenue une industrie stratégique, l'impact de la sécurité sociale, économique et de la défense et de la compétitivité globale. Cependant, comme les caractéristiques secteur des circuits intégrés à forte intensité capitalistique, à forte intensité technologique, le personnel à forte intensité, depuis longtemps, l'industrie des circuits intégrés de la Chine a fait l'objet de diverses contraintes dans l'équipement de fabrication de pointe occidentales, matériaux et procédés, la puce haut de gamme dépend essentiellement des importations. notre intégration les importations de produits de circuit depuis de nombreuses années dans une rangée plus de 200 milliards $ par année, plus que les produits les plus importants ont été importés d'huile. afin de réaliser le développement de l'innovation indépendante, l'Etat a lancé 02 projets, l'équipement principal, les processus et l'innovation des matériaux en 2008.
Zhang Boxu, directeur de la Commission municipale de Beijing par lettre, ladite chaîne de l'industrie des équipements haut de gamme et des matériaux à partir de zéro pour combler les lacunes, la technologie de fabrication et l'intégration de paquet de crescendo faible au monde à participer à la compétition internationale, montre que le système scientifique national majeur et l'innovation technologique pour créer intégrée étape de fabrication de circuits objectifs ont été atteints. Ces dernières années, le développement vigoureux de l'industrie du circuit intégré de la Chine, les grands projets a joué une innovation technique importante pour diriger et rôle de soutien dans la recherche 02 de l'équipement haut de gamme spéciale, la division de l'équipement électrique a joué un rôle central.
Division électrique est équipée de la Chine Electronics Technology Group Corporation (ci-après dénommée la Chine Electric Division), une filiale en propriété exclusive, établie en 2013, intégré par la Division électrique en Chine deux, quarante-cinq et quarante-huit et 11 de la société holding , à travers Pékin, Taiyuan, Changsha, Shanghai et d'autres six provinces et huit parcs.
Depuis sa création, la division d'équipements électriques confirmant la bannière de l'équipe nationale des équipements de fabrication de produits électroniques, pour faire avancer la capacité de supporter les épreuves, mettant l'accent sur le dévouement, l'équipement « épée décennie » est prêt à adhérer à l'esprit, conformément à la « percée clé, support de plate-forme, des ensembles partiels de services intégrés » le développement d'idées, adhérer à l'innovation et le développement, d'adhérer à l'intégration civilo-militaire, soutenir l'équipement pour servir le pays, capturant la technologie clé de implanteur d'ions d'équipement clé de fabrication circuit intégré, équipement de polissage mécano-chimique, etc., pour résoudre un certain nombre de restreindre le développement de la Chine de composants électroniques militaires auto-contrôle étrangle la main « question, soutenir le développement rapide des nouvelles industries de semi-conducteurs et de composants électroniques, et décrire les pouvoirs et les responsabilités pesant jeu.
En se fondant sur des années de compétences accumulées IC équipement de base et le patrimoine de la recherche et de la technologie de production militaire, Division électrique formé d'un équipement d'affichage haut de gamme, de nouveaux matériaux photovoltaïques d'énergie, la batterie et d'autres équipements pan-semi-conducteurs et des ensembles partiels de capacités de services intégrés, une mise à jour importante du taux de localisation de l'équipement. actuellement le principal équipement IC domestique, le plus grand équipement d'affichage haut de gamme, l'équipement de fabrication photovoltaïque, matériaux de batterie fournisseurs d'équipement de fabrication, avec des ensembles partiels de capacités de circuits intégrés et de l'intégration des systèmes, avec une chaîne de l'industrie photovoltaïque complète et la gamme complète des capacités clés en main.
Briser le monopole forgeant des percées marques domestiques implanteurs ioniques dans les technologies clés, invention brevetée 101 brevets internationaux, et a réalisé une série de produits pour SMIC 90nm, 55nm, 40nm, processus 28nm ligne de production ...... Ceci est la division de l'équipement électrique certains résultats portent 02 implanteur ionique spécial deux projets de R & D réalisés.
Implanteur d'ions est de noyau critique matériel de fabrication du circuit intégré - principalement les particules injectées dans le matériau semi-conducteur, commandant ainsi la conductivité du matériau semi-conducteur, formant ainsi une unité de base d'une jonction PN dispositif à circuit intégré, etc., comme un seul ensemble après la recherche et le développement, la fabrication, les services dans l'un des fournisseurs de implanteur ionique des équipements électriques de la Division ont entrepris 02 projets, la recherche et le développement dans le implanteur d'ions, un an à un nouveau niveau. en 2014, 12 pouces implanteur ionique faisceau à excellente note par le bureau national de gestion de la mise en œuvre a organisé 02 acceptation spéciale. d'ici 2015, le SMIC a terminé le 55nm, 45nm et 40nm processus de produits à faible volume de validation, Taichung implanteur ionique domestique premier faisceau premier à obtenir la production de masse de plaquettes par un million. en 2016, l'introduction de nouveaux modèles pour répondre à la technologie haut de gamme 45-22nm large faisceau d'implantation ionique à faible énergie, le faisceau, un grand faisceau de produits à faible IC d'énergie utilisées dans les grandes lignes des quantités. 2017, ion des conditions de fabrication de volume de l'implanteur usine de traitement et mis en service dans le laboratoire, la plate-forme industrielle conforme à la norme SEMI, la capacité annuelle de 50, et l'application des systèmes de gestion de l'information réelle Lot implanteur d'ions pour la fabrication de contrôle de la qualité et de traçabilité tout au long.
« PLOT Synthétiseur épais, pour l'équipement pour l'industrie de la fabrication, non seulement de se concentrer sur le développement d'une seule pièce d'équipement, des ensembles complets de l'offre dans une certaine plage, formant une plate-forme de la capacité de production est plus importante. » Président et secrétaire du parti Liu Jidong ont souligné, Division des équipements électriques la recherche et le développement indépendant de implanteur ionique pour briser le marché haut de gamme est monopolisé par les Etats-Unis et au Japon la situation, la création de marques nationales de implanteurs d'ions.
Zero percée domestique 200mmCMP entrer la validation de la ligne de production SMIC
21 novembre matériel électrique, le service de recherche et de développement indépendant 200mmCMP avions commerciaux terminé les tests internes, SMIC Tianjin envoyé à la société de vérification en ligne. Ceci est la première fois pour entrer dans le dispositif de circuit intégré domestique 200mmCMP à grande échelle ligne de production, solution efficace aux contraintes de l'industrie de la Chine IC indépendante Goulots d'étranglement contrôlables du développement.
CMP est l'un des sept dispositifs clés dans la fabrication de circuits intégrés pour les processus de planarisation et d'interconnexion de cuivre.
difficultés d'équipement Division électrique, les deux extrémités de la force. Dans l'ours « deuxième cinq » '28 -14nm 02 processus de polissage spécial et ensembles complets d'équipement, l'industrie des matériaux « projet en même temps, le besoin urgent pour le marché intérieur, recherche sur les placements 200mmCMP équipement commercial, 300mm, 200mm matériel de recherche et de développement vont de pair, en soutenant la situation de l'autre.
Dès le début de Janvier 2015, la division électrique équipe CMP équipement de R & D équipé d'un nombre incalculable de nuits sans sommeil, l'industrie des fleurs d'arrosage final de l'équipement CMP: Briser plus de 10 technologies clés, l'achèvement de l'amélioration technique de plus de 50, et enfin en 2017 Août a développé avec succès les premiers droits de propriété intellectuelle totalement indépendant de la Chine des avions commerciaux 200mmCMP, a réussi à briser le monopole du blocus de la technologie étrangère. par un test strict dix mille « marathon », le dispositif peut être comparable à l'équipement similaire international actuel.
Il est rapporté que, dans les six prochains mois, 200mm équipement d'essai CMP d'être officiellement accepté la production à grande échelle, la fiabilité des équipements et la cohérence sera soumis à un examen rigoureux.
Ensembles complets de l'offre avancée d'équipement de clé d'approvisionnement par lots appliqué aux entreprises principales
équipement de conditionnement total des ventes de plus de 2000 jeux, longue technologie de l'énergie a été appliquée par lots, par le biais de micro-alimentation riche, Suzhou Jing Fang et autres emballages IC bien connu et les entreprises de test - dans le domaine des équipements d'emballage haut de gamme, Division de l'équipement électrique a formé un ensemble complet de la capacité d'approvisionnement local.
Depuis le « onzième Five », avec le soutien de 02 projets, Division des équipements électriques a entrepris 300mm mince amincissement de la plaquette et le polissage des équipements d'emballage de la machine et des composants clés de la technologie de base et d'autres projets technologiques et de développement des produits. Aujourd'hui, la division d'équipements électriques R & D de bonder flip-chip, une machine d'amincissement de la tranche automatique, machine de précision de découpage automatique premier niveau avancé national et international, et à l'équipement d'emballage avancé IC auto-développé et l'équipement de construction ligne de processus de vérification partielle pour continu renforcer la stabilité et la fiabilité d'un boîtier de circuit intégré fait dispositifs offrent une bonne plate-forme.
« Lorsque le processus de développement de l'appareil devra être la conception des équipements d'expansion axée sur la demande et la fabrication, et de continuer à mener à bien la validation du processus. » Liu a dit Jidong.
À l'heure actuelle, la ligne de l'équipement d'emballage de validation de processus comprenant trois effets: d'abord, le dispositif de vérification, le processus de vérification, l'amincissement, la découpe, flip-chip, une liaison par fil ou autre appareil pour vérifier la stabilité de la ligne, la fiabilité de la capacité d'adaptation, le processus la validation de l'évaluation, le second est de vérifier la production de masse de l'appareil, d'améliorer la capacité à fournir un lot d'équipement, le troisième est de renforcer les capacités locales en ligne, l'accumulation d'expérience pour fournir des solutions globales.
Prendre la responsabilité d'appeler, la mission de diriger l'avenir.
Division des équipements électriques comme l'équipe nationale dans le domaine des équipements de fabrication de produits électroniques, l'équipement maintiendra la responsabilité de servir le pays, de créer des « puissances des équipements de pesage » équipement électronique haut de gamme, créé des pierres angulaires Guoxin de l'avenir, au sujet de la capture de l'équipement de fabrication de circuits intégrés de base, technologies clés, Division des équipements électriques seront adhérer à l'innovation scientifique et technologique et de propulsion de l'investissement industriel, des efforts continus. autour de l'équipement et des industries connexes dans l'équipement de soutien de l'industrie, les efforts pour améliorer le niveau d'industrialisation, par la sensibilisation dans l'ensemble, rassembler des ressources, construire Pékin équipements IC et centre d'innovation industrielle en même temps, la capacité de cultiver les normes du sous-secteur de la fabrication électronique intelligents, des équipements de fabrication intelligents et des solutions de systèmes de fabrication intelligents, la base, la Chine Division électrique (Shanxi) l'innovation des technologies de l'information électronique parc industriel et parc industriel de Changsha équipements photovoltaïques, les services, le développement national et local il est devenu l'un des traditionnels des entreprises de fabrication intelligents, fournisseur de solutions de systèmes de fabrication intelligents.