implantador de iones de 28nm en SMIC 12 pulgadas sitio de la línea de producción
Equipo de 200 mmCMP en la línea de producción SMIC para validación de procesos
PERC fotovoltaica eficiente núcleo línea de fabricación de células equipo inteligente smart tasa de localización de 91,8%
Recientemente, el equipo eléctrico Electrónica Group Co., Ltd. (en lo sucesivo, rama del equipo eléctrico) buenas noticias, en primer implantador de China de desarrollo propio haz de iones en más de 2 millones en SMIC gran línea de producción de hoja de flujo constante, la primera etapa 200mmCMP venta de equipos consiguen. esto se confirma División de equipos eléctricos 'equipamiento muy gran escala de circuitos integrados de fabricación y el proceso completo' gran ciencia y la tecnología (en lo sucesivo, 02 especial) logrado resultados significativos en miniatura.
9 años, División de equipo eléctrico ha emprendido 02 '90 -65nm gran ángulo especial ion desarrollo de la máquina de la implantación y la industrialización '' componentes clave dispositivo de acondicionamiento y tecnología de la base ''45 gran viga -22nm de desarrollo implantador de iones de baja energía y la industrialización' ' 28-14nm y juegos completos de aparatos de pulido, industria de materiales '' 300mm delgada adelgazamiento de obleas de pulido máquina de desarrollo y de industrialización de proyectos.
9 años, con el apoyo de 02 proyectos, equipo eléctrico división ha roto a través de la implantador de iones, un gran número de aparatos químicos de investigación pulido mecánico (CMP) y por lo tanto difícil de conducir IC clave tecnología de la base de equipos y fuerte; hecha 146 patentes de invención , el acceso a los premios provinciales y ministeriales 22; construida conforme a la plataforma de la fabricación de volumen implantador de iones estándar SEMI, el establecimiento de la estación de investigación de doctorado; CMP I + D plataforma aprobó el 'Beijing química mecánica proceso de aplanamiento tecnología de ingeniería de equipos centro de investigación'; primer implantador de iones doméstica, 200mmCMP equipos SMIC para entrar en las líneas de producción a gran escala, equipos de envasado avanzado con capacidades de servicios integrados, para entrar en las empresas de embalaje avanzados domésticos ......
Diligentemente describe la responsabilidad y la responsabilidad de la piedra fundamental
chip de circuito integrado es el núcleo de la piedra angular de la era de la información, la tecnología de fabricación de circuitos integrados representa el nivel más alto en el mundo actual de fabricación de ultra-precisión, la industria de circuitos integrados se ha convertido en una industria estratégica, el impacto de la seguridad social, económico y defensa y la competitividad global.
Sin embargo, ya que la industria del IC de capital intensivo,, características personales de uso intensivo de tecnología intensiva, mucho tiempo, la industria china de CI ha sido objeto de diversas limitaciones en equipos occidentales avanzadas de fabricación, materiales y procesos, el chip de gama alta es principalmente dependiente de las importaciones. La producción anual de productos de circuito integrado de China durante muchos años más de 200 mil millones de dólares estadounidenses, más que el petróleo para convertirse en los mayores productos importados.
Para realizar la innovación y el desarrollo independientes, en 2008, el estado comenzó el proyecto especial de 02 y se centró en la innovación independiente de equipos, procesos y materiales.
Zhang Boxu, director de la Comisión Municipal de Beijing por carta, dicho equipo y materiales de alta gama cadena de la industria a partir de cero para llenar las lagunas, tecnología de fabricación y la integración del paquete de crescendo débil para el mundo a participar en la competencia internacional, muestra que el principal sistema nacional de innovación científica y tecnológica para crear etapa de fabricación de circuitos integrados En los últimos años, el vigoroso desarrollo de la industria de circuitos integrados de China, los principales proyectos han jugado un papel importante en la innovación y el apoyo técnico.
02 investigaciones especiales en equipos de gama alta, la División de equipos eléctricos desempeñó un papel fundamental.
División eléctrica está equipada con China de Tecnología Electrónica Group Corporation (en lo sucesivo, División Eléctrica de China), una subsidiaria de propiedad total, establecida en 2013, integrado por la División eléctrica de China y dos, cuarenta y cinco y cuarenta y ocho años y 11 de la sociedad de cartera , a través de Beijing, Taiyuan, Changsha, Shanghai y otras seis provincias y ocho parques.
Desde su inicio, el equipo eléctrico División defensa de la bandera de la selección de equipos de fabricación electrónica, para llevar adelante la capacidad de soportar las dificultades, destacando la dedicación, la 'década espada' equipo está dispuesto a adherirse al espíritu, de acuerdo con el 'avance clave, soporte de plataformas, conjuntos parciales de servicios integrados' el desarrollo de ideas, se adhieran a la innovación y el desarrollo, se adhieren a la integración entre civiles y militares, mantener el equipo al servicio del país, la captura de la tecnología clave del circuito integrado de fabricación de implantación iónica en los principales equipos, equipos de pulido mecánico químico, etc., para resolver una serie de restringir el desarrollo del autocontrol componentes electrónicos militares de china estrangular retención tema', apoyando el rápido desarrollo de nuevas industrias de semiconductores y componentes electrónicos, y describir las facultades y responsabilidades que pesan juego.
Basándose en años de habilidad equipo básico IC acumulada y el patrimonio de investigación y tecnología de producción militar, División Eléctrica formó un equipo de gama alta pantalla, nueva energía fotovoltaica, materiales de la batería y otros pan-Semiconductor Equipment y conjuntos parciales de capacidades de servicios integrados, una mejora sustancial de los equipos tasa de localización. Actualmente la mayor doméstico equipo IC, el mayor equipo de visualización de gama alta, el equipo de fabricación fotovoltaica, materiales de la batería proveedores de equipos de fabricación, con conjuntos parciales de circuitos integrados y capacidades de integración de sistemas, con una cadena de la industria fotovoltaica completa y toda la línea de capacidades llave en mano.
Romper el monopolio de forjar un implantador de iones de marca nacional
Los avances en tecnologías clave, invención patentada 101 patentes internacionales, y ha logrado una serie de productos para SMIC de 90 nm, 55 nm, 40 nm, línea de producción de proceso de 28nm ...... Esto se confirma equipos eléctricos División 02 especial de dos ion implantador de I + D Algunos logros realizados por el proyecto.
Ion implantador es de núcleo circuito integrado equipos de fabricación crítico - principalmente las partículas inyectadas en el material semiconductor, controlando de este modo la conductividad del material semiconductor, formando de este modo una unidad básica de un dispositivo de circuito integrado unión PN y similares.
Como la única investigación un conjunto y el desarrollo, fabricación, servicios en uno de los proveedores de implantación iónica de equipos eléctricos en la División llevaron a cabo 02 proyectos de investigación y desarrollo, en el implantador iónico, un año a un nuevo nivel.
2014, 12 pulgadas de viga de la máquina de implantación iónica con excelente nivel de aceptación por parte de la aplicación nacional de organización especial 02 Oficina de Administración. En 2015, el SMIC ha completado el 55 nm, 45 nm y validación de procesos de productos de bajo volumen de 40nm, Taichung primer haz doméstica implantador de iones de corriente primero para lograr la producción en masa de las obleas de más de un millón. Por 2016, la introducción de nuevos modelos para satisfacer la tecnología de alta gama 45-22nm gran viga de implantador de iones de baja energía, el haz, del haz de baja energía grandes cantidades de productos utilizados en la IC línea grande. 2017, planta ion volumen implantador de fabricación y condiciones de laboratorio proceso y puesto en uso, con plataformas industriales conforme a la norma SEMI, capacidad anual de 50, y la aplicación de sistemas de gestión de información para lograr el control de calidad de fabricación implantador volumen de iones a lo largo Y rastrear hacia atrás.
'PLOT Sintetizador de espesor, para la industria de fabricación de equipos, no sólo para centrarse en el desarrollo de una sola pieza de equipo, juegos completos de alimentación dentro de un cierto rango, formando una plataforma de la capacidad de producción es más importante.' Presidente y secretario del partido Liu Jidong destacaron, equipos eléctricos División La investigación y el desarrollo independientes de implantadores de iones rompió el monopolio del mercado de gama alta de los Estados Unidos y Japón, creando un implantador de iones de marca nacional.
Cero avance doméstico 200mmCMP entrar en la línea de producción de SMIC validación
21 de noviembre de equipos eléctricos, departamento de investigación y desarrollo independiente 200mmCMP aviones comerciales completó las pruebas internas, SMIC Tianjin envió a la compañía en línea de verificación. Esta es la primera vez para entrar en el dispositivo de circuito integrado 200mmCMP línea de producción nacional a gran escala, la solución eficaz a las restricciones de la industria china de CI independiente Cuellos de botella controlables de desarrollo.
CMP es uno de los siete dispositivos clave en la fabricación de circuitos integrados para la planarización y los procesos de interconexión de cobre.
División eléctrica dificultades equipos, los dos extremos de la fuerza. En el oso 'segunda cinco' '28 -14nm 02 proceso de pulido especial y juegos completos de equipo, materiales de proyecto de la industria', al mismo tiempo, la necesidad urgente de que el mercado interno, inversión independiente de investigación Equipo comercial de 200mmCMP, la formación de 300mm, equipo de 200mm de I + D van de la mano, situación de apoyo mutuo.
Desde principios de enero de 2015, el equipo de equipo de I + D División Eléctrica CMP equipado con innumerables noches de insomnio, la industria de las flores de riego final del equipo CMP: Rompiendo más de 10 tecnologías clave, la finalización de la mejora técnica de más de 50, y finalmente en 2017 agosto presenta unas primeras desarrollado con éxito los derechos de propiedad intelectual totalmente independientes de China 200mmCMP aviones comerciales, logrado romper el monopolio de bloqueo de la tecnología extranjera. a través de una estricta prueba de diez mil 'maratón', el dispositivo puede ser comparable con el equipo similar internacional actual.
Se ha informado de que en los próximos seis meses, el equipo de prueba de 200 mm de CMP sea aceptada oficialmente la producción a gran escala, la fiabilidad de los equipos y la consistencia será sometido a un estricto examen.
Juegos completos de lotes avanzados de equipos clave de suministro de envases aplicados a las principales empresas
Equipamiento de empaquetado y ventas totales de más de 2.000 juegos, la tecnología de larga recibe alimentación en lotes, a través rica micro-poder, Suzhou Jing Fang y otros envases IC conocido y empresas de pruebas - en el campo de equipos de gama alta de embalaje, equipos eléctricos División ha formado un conjunto completo de la capacidad de la red local.
Desde el 'Undécimo Cinco', con el apoyo de 02 proyectos, equipos eléctricos División ha emprendido 300mm adelgazamiento de obleas delgadas y pulido de equipos de envasado máquina y los componentes clave de la tecnología de la base y otros proyectos de tecnología y desarrollo de productos.
Hoy en día, los equipos eléctricos de I + D División flip chip de Bonder, máquina automática adelgazamiento de obleas, precisión automática máquina de cortar en cubitos líder nivel avanzado nacional e internacional, y la investigación independiente y el desarrollo de equipos de envasado avanzada y construcción de equipos de tecnología de circuitos integrados a nivel local Verificar la línea, a fin de mejorar continuamente la estabilidad y fiabilidad de los equipos de embalaje de circuitos integrados nacionales proporcionar una buena plataforma.
'Cuando el proceso de desarrollo de dispositivos tendrá que ser el diseño del equipo de expansión de la demanda y de fabricación, y continuar para llevar a cabo la validación del proceso.' Dijo Liu Jidong.
Actualmente, la línea de proceso de validación de equipos de envasado que comprende tres efectos: en primer lugar, el dispositivo de verificación, el proceso de verificación, el adelgazamiento, corte en dados, flip-chips, unión de cables y otros equipos para verificar la estabilidad de la línea, la fiabilidad de la capacidad de adaptación, el proceso de validación de la evaluación, y la segunda es verificar la producción masiva del dispositivo, mejorar la capacidad de entregar un lote de equipos, en tercer lugar es para fortalecer la capacidad local en línea, la acumulación de experiencia para proporcionar soluciones totales.
Llamada de responsabilidad para jugar, la misión lidera el futuro.
Eléctrica división de equipos como el equipo nacional en el campo de la fabricación de equipos electrónicos, el equipo mantendrá la responsabilidad de servir al país, para crear equipo electrónico de los poderes que pesan equipos 'de gama alta, creado Guoxin piedra angular del futuro, acerca de la captura de los equipos de fabricación de circuitos núcleo integrado, tecnologías clave, División de equipos eléctricos adhieren a la innovación científica y tecnológica y tracción inversión industrial, los esfuerzos continuos. alrededor del equipo y las industrias relacionadas en el apoyo de la industria de equipos, los esfuerzos para mejorar el nivel de industrialización, a través de actividades dentro del todo, recolectar recursos, construir Beijing equipo de IC y el centro de la innovación industrial al mismo tiempo, la capacidad de cultivar las normas sub-sector de fabricación electrónica inteligentes, equipos de fabricación inteligentes y soluciones de sistemas inteligentes de fabricación; de base, china División eléctrica (Shanxi) de información electrónica innovación tecnológica parque industrial y un parque industrial en Changsha equipos fotovoltaicos, los servicios, nacional y desarrollo local Se ha convertido en una de las principales empresas principales de fabricación inteligente y en proveedores de soluciones de sistemas de fabricación inteligentes en China.