28-нм ионный имплантат в 12-дюймовом производственном участке SMIC
200mmCMP оборудование в производственную линию SMIC для проверки процесса
PERC высокоэффективной фотогальванической ячейки интеллектуального производства производственной линии ядра умного оборудования локализации скорость 91,8%
В последнее время China Electronics Technology Group Co., Ltd. (далее называемое электрооборудованием) прибыла хорошая новость, независимые исследования и разработка первой в Китае ионной имплантационной машины в серийной линии SMIC стабильной пленки более 2 миллионов, первая 200mmCMP Достигнутые продажи оборудования. Это воплощение крупных достижений компании электрооборудования в осуществлении крупного проекта «Оборудование для крупномасштабных комплексных интегральных схем и комплексных технологий» (далее - «Специальный проект 02»).
В течение последних девяти лет оборудование EEE провело в общей сложности 02 специальных «90 -65 нм крупнотоннальных ионных имплантатов R & D и индустриализации», «Основные компоненты и основные технологии упаковочного оборудования», «45 -22 нм низкоэнергетических исследований и разработок с большим пучком ионов R & D и индустриализации», 28-14nm полировочное оборудование и комплекты технологий, индустриализация материалов «300-мм тонколистовая полировальная машина R & D и индустриализация» и другие проекты.
За последние 9 лет, при поддержке Special Project 02, электрооборудование последовательно пробило основные технологии ключевых интегральных схем, таких как ионные имплантаты и химические механические шлифовальные машины (CMP), которые затруднили преодоление трудностей и мотивацию. Они также получили патентное разрешение на изобретение 146 , Получив 22 награды над провинциальным и министерским уровнями, построенный в соответствии со стандартной платформой для производства ионных имплантатов SEMI, создание пост-докторской исследовательской станции, платформа R & D CMP была одобрена, «Beijing Chemical Mechanical Flattening Process Equipment Engineering Research Center» Внутренний первый ионный имплантат, оборудование 200 ммCMP для входа в крупную производственную линию SMIC, современное упаковочное оборудование со встроенными сервисными возможностями, доступ к передовым упаковочным ведущим предприятиям ......
Удостоверьтесь в описании ответственности и ответственности за фундаментный камень
Интегральные микросхемы интегральной микросхемы являются основным краеугольным камнем информационной эпохи. Технология производства интегральных микросхем сегодня представляет собой самый высокий уровень ультраточной обработки в мире. Интегральная индустрия стала стратегической отраслью, которая влияет на социальное обеспечение, экономику и безопасность национальной обороны и общую конкурентоспособность.
Однако из-за капиталоемких, высокотехнологичных и талантливых отраслей промышленности IC в течение длительного времени индустрия IC в Китае подвергалась различным ограничениям в передовом производственном оборудовании, материалах и процессах на Западе. Высококачественные чипы в основном полагаются на импорт. Годовой объем производства продукции интегральных схем в Китае на много лет превышает 200 млрд. Долларов США, больше, чем нефть, чтобы стать крупнейшей импортной продукцией.
Чтобы реализовать независимые инновации и развитие, в 2008 году государство начало специальный проект 02 и сосредоточился на независимой инновации оборудования, процессов и материалов.
Чжан Бейшу, директор Пекинской экономической комиссии, сказал, что высококачественное оборудование и материалы заполнили производственную цепочку с нуля и что процесс производства и интеграция пакетов постепенно меняются от слабых к сильным для участия в международной конкуренции. Это показывает, что национальный научный и технологический крупный проект создает инновационную систему для производства интегральных схем В последние годы активное развитие индустрии IC в Китае, крупные проекты сыграли значительную роль в инновационной и технической поддержке.
В 02 специальных исследованиях высокого класса оборудования электрооборудование сыграло ключевую роль.
E-Tech является дочерней компанией China Electronics Technology Group Corporation (далее China Electonics), созданной в 2013 году путем интеграции двух E-Techco, сорок пять и сорок восемь и ее 11 холдинговых компаний , Через Пекин, Тайюань, Чаншу, Шанхай и другие шесть провинций и восемь парков.
С момента своего создания, электрооборудование Отдел отстаивании знамя национальной команды производства электроники оборудования, для продвижения вперед способности переносить трудности, подчеркивая преданность, «десятилетие меч» оборудование готово придерживаться духа, в соответствии с «ключевой прорыв, поддержка платформы, частичные наборы интегрированных услуг» развитие идей, придерживаться инноваций и развития, придерживаться гражданско-военной интеграции, поддерживать оборудование, чтобы служить стране, захватывая ключевую технологию интегральной схемы производственного ключа оборудования ионного имплантер, химико-механической полировки, оборудование и т.д., чтобы решить ряд ограничения развития Китая самоконтроля военных электронных компонентов Card шея ", поддерживая быстрое развитие полупроводниковых и новых электронных компонентов промышленности, чтобы выразить ответственность и ответственность Великого энергетического оборудования.
Опираясь на многолетний накопленный квалификации основного оборудования IC и военного научно-технического производства наследия, Electric Division формируется медийное оборудование высокого класса, новый фотоэлектрической энергии, материалы батареи и другие пан-полупроводникового оборудования и частичные наборы интегрированных возможностей услуг, существенное обновление оборудования скорости локализации. в настоящее время основного отечественный IC оборудование, крупнейшее выставочное оборудование высокого класса, фотоэлектрическое производственное оборудование, материалы батареи поставщики оборудования для производства, с частичными наборами интегральных схем и возможностей интеграции систем, с полной фотоэлектрической промышленностью цепью и всей линейкой возможностей под ключом.
Разрыв монополии ковки ионной имплантации машина марки
Прорывы в ключевых технологиях, запатентованные изобретение 101 международных патенты, и достигаемый ряд продуктов для 90нм, МРОТ 55нма, 40 нма, производство технологической линии 28nm ...... Это подтверждается Отдел электрического оборудования 02 специальных два иона Имплантер R & D Некоторые достижения, достигнутые в рамках проекта.
Ионные имплантаты являются основным оборудованием производства интегральных микросхем - в основном, впрыскиванием частиц в полупроводниковый материал для управления проводимостью полупроводникового материала для формирования базовой единицы интегрального устройства, такого как PN-переход.
Как единственное, что объединяет НИОКР, изготовление и обслуживание в одном ионном имплантате, после проведения специального проекта 02, электрооборудование сделало новый шаг в исследованиях ионного имплантата.
2014, 12 дюймов в пучковой ионной имплантации машины с отличным уровнем принятия Национального осуществления управления Бюро 02 специальных организаций. 2015, СМИК завершил на 55нм, 45нм и 40нм валидации процесса продукт низкого объема, Тайчун внутреннего первого луча ионный ток Имплантер первым для достижения массового производства вафель более одного миллиона. к 2016 году, внедрение новых моделей, чтобы удовлетворить высокие технологии 45-22nm большой пучок низкой ионной энергии имплантера, луч, низкоэнергетического пучка большого количества продуктов, используемых в ИС большая линия. 2017, ионный завод объем Имплантер и процесс лабораторных условия и введен в эксплуатацию, с производственными площадками в соответствии с SEMI стандарта, годовой мощностью 50, а также применение систем управления информацией для достижения ионного контроля Имплантера объема качества производства в течение И проследи назад.
"Участок густой Synthesizer, для оборудования обрабатывающей промышленности, а не только сосредоточиться на разработке единого куска оборудования, комплекты поставки в пределах определенного диапазона, образуя платформа производственных мощностей является более важной. Председатель и секретарь партии Ля Jidong подчеркнули, электрооборудование Отдел Независимые исследования и разработки ионных имплантеров нарушили монополию на рынке элитного рынка со стороны Соединенных Штатов и Японии, создав внутренний имплантируемый бренд.
Нулевой прорыв отечественного 200mmCMP вводит валидацию производственной линии SMIC
21 ноября, электрооборудование, независимые исследований и разработки отдел 200mmCMP коммерческие самолеты завершены внутреннее тестирование, СМИК Тяньцзинь послал в компанию он-лайн проверка. Это первый раз, чтобы ввести внутреннюю интегрированное устройство схемы 200mmCMP широкомасштабной производственную линию, эффективное решение для ограничений IC промышленности Китая независимой Контролируемые узкие места разработки.
CMP является одним из семи ключевых устройств в производстве интегральных схем для процессов планирования и медного соединения.
Electric Division трудность оборудования, оба конца силы. В медведе «второго пять» '28 -14nm 02 специальный процесс полировки и комплекты оборудования, материалы промышленности проект»в то же время, настоятельная потребность внутреннего рынка, независимые инвестиционные исследования 200mmCMP коммерческого оборудования, формирование 300 мм, 200 мм оборудования R & D идти рука об руку, ситуация взаимной поддержки.
С началом января 2015 года, оборудование R & D команда Electric Division CMP оснащена бесчисленными бессонными ночами, окончательной поливом цветочной индустрией оборудования CMP: Breaking более 10 ключевых технологий, завершением технического совершенствования более чем на 50, и, наконец, в 2017 год август успешно разработал первые Китай полностью независимых права интеллектуальной собственности 200mmCMP коммерческих самолеты, удались сломать монополию внешних технологической блокады. через строгий десять тысяч «марафон» тест, устройство может быть сравнимо с нынешним международным подобным оборудованием.
Сообщается, что в течение следующих шести месяцев, 200мм испытательное оборудование CMP будет официально принят крупномасштабное производство, надежность и соответствие оборудования будут подвергаться строгой экспертизе.
Комплектное оборудование ключ питания, используемое в насыпных передовых упаковочных предприятиях
Упаковочное оборудование общий объем продаж более чем 2000 комплектов, технология давно власть была применена в партиях, через богатые микро-власти, Сучжоу Jing Fang и другие известные упаковки IC и тестирования компании - в области высокого класса упаковочного оборудования, Отдел электрооборудования сформировала полный набор местного производственного потенциала.
Так как «Одиннадцатый пятерки», при поддержке 02 проектов, Отдел электрооборудования обязалось 300мм тонкой пластины истончение и полировку упаковочное оборудование машины и ключевые компоненты базовой технологии и другие технологии и разработки продукта проектов.
Сегодня, электрическое оборудование R & D Division флип чип полуторная, автоматическая пластина истончение машин, автоматическая точность перетасовки машины ведущего отечественный и международный продвинутый уровень, а также независимые исследования и разработки передового упаковочного оборудования и строительство интегрированного технологического оборудования схемы локально проверить линии, обеспечивает хорошую платформу для интегрированного пакета схемы MADE продолжать улучшать стабильность устройства и надежность.
«Когда процесс разработки устройства необходимо будет определяться спросом проектирования и изготовление оборудования расширения, и по-прежнему проводить проверку процесса. Лю сказал Jidong.
В настоящее время линия проверки технологии упаковочного оборудования имеет три основные функции: во-первых, проверить оборудование, проверить процесс, прореживание, резку, флип-чип, прокладку и другое оборудование в стабильности линии проверки, надежности, адаптивности процесса Оценка и проверка, вторая - проверка серийного производства оборудования для повышения способности пакетной поставки оборудования, а третья - укрепить способность локальных линий, чтобы обеспечить общее решение для получения опыта.
Ответ на вызов, чтобы играть, миссия возглавляет будущее.
В качестве национальной команды в области электронного технологического оборудования электрооборудование будет поддерживать важную задачу обеспечения оборудования для обслуживания страны и создания «высокомощного оборудования» электронного высокотехнологичного оборудования, которое станет краеугольным камнем страны. В будущем, сосредоточив внимание на ключевых технологиях производства интегрированного основного оборудования, Придерживайтесь научно-технических инноваций и промышленности в двухколесном приводе, устойчивой силе вокруг оборудования и оборудования, поддерживаемой смежными отраслями, усилиях по повышению уровня индустриализации, в рамках всей информационно-пропагандистской деятельности, сбора ресурсов, строительства инновационного центра интеграционной микросхемы в Пекине и индустриализации Base, China E-Techco (Shanxi) Инновационный индустриальный парк информационных технологий и технологический парк Changsha Photovoltaic Industrial для обслуживания национального и местного развития, в то же время культивируют способность интеллектуально создавать стандартную формулу электронного отраслевого подразделения, интеллектуальное оборудование и интеллектуальные системы производства Он стал одним из основных интеллектуальных производственных предприятий и интеллектуальных поставщиков системных решений в Китае.