Implanter ion 28nm در سایت خط تولید 12 اینچی SMIC
تجهیزات 200mmCMP به خط تولید SMIC برای تأیید صحت فرآیند
PERC بهره وری بالا سلول فتوولتائیک سلول هوشمند ساخت خط تولید هسته ابزار هوشمند سرعت محلی سازی 91.8٪
به تازگی، تجهیزات الکتریکی الکترونیک گروه شرکت، آموزشی ویبولیتین خبر خوب (از این پس به عنوان واحد تجهیزات الکتریکی نامیده می شود)، برای اولین بار implanter چین خود را توسعه یون پرتو در بیش از 2 میلیون نفر در SMIC بزرگ خط تولید ورق جریان ثابت، مرحله اول 200mmCMP خرید و فروش تجهیزات دست این تجهیزات الکتریکی به عهده است بخش، مقیاس یکپارچه تجهیزات بسیار بزرگ مدار ساخت و فرایند کامل. علم و فن آوری عمده (از این پس به عنوان 02 ویژه نامیده می شود) نتایج قابل توجهی در مینیاتور به دست آورد.
9 سال، تجهیزات الکتریکی بخش انجام شده است 02 ویژه '90 -65nm زاویه بزرگ یون توسعه ماشین کاشت و صنعتی '' دستگاه بسته بندی مولفه های کلیدی و فن آوری هسته ای، '45 -22nm پرتو زیادی از انرژی کم توسعه implanter یون و صنعتی '' 28-14nm دستگاه های پرداخت و مجموعه کامل از فن آوری، صنعتی صنعتی '300 میلی متر ویفر ورق پرداخت دستگاه تحقیق و توسعه و صنعتی سازی و پروژه های دیگر.
9 سال، با حمایت از 02 پروژه، تجهیزات الکتریکی بخش را از طریق implanter یون شکسته، تعداد زیادی از دستگاه های شیمیایی تحقیقاتی پرداخت مکانیکی (CMP) و بسیار دشوار به درایو IC های اصلی فن آوری تجهیزات هسته و قوی؛ ساخته شده 146 اختراع ثبت اختراع ، دسترسی به جوایز استانی و وزرا 22، ساخته شده است مطابق با نیمه پلت فرم تولید حجم implanter یون استاندارد، ایجاد ایستگاه تحقیقاتی دکترا؛ CMP R & D پلت فرم تایید 'پکن مرکز تحقیقات شیمیایی فرآیند planarization مکانیکی تکنولوژی تجهیزات مهندسی'؛ برای اولین بار implanter یون داخلی، تجهیزات 200mmCMP SMIC را وارد خطوط تولید در مقیاس بزرگ، تجهیزات بسته بندی پیشرفته با قابلیت های سرویس یکپارچه، برای ورود به شرکت های داخلی بسته بندی پیشرفته ......
مستحق مسئولیت و مسئولیت سنگ پایه است
تراشه مدار مجتمع است که هسته اصلی سنگ بنای عصر اطلاعات، یکپارچه تکنولوژی ساخت مدار نشان دهنده بالاترین سطح در جهان امروز از تولید فوق العاده دقیق، صنعت مدار مجتمع تبدیل به یک صنعت استراتژیک، تاثیر، امنیت اقتصادی و دفاع اجتماعی و رقابت جامع.
با این حال، از آنجا که صنعت IC سرمایه بر،، ویژگی های فن آوری فشرده پرسنل فشرده، مدت طولانی، صنعت چین آیسی است موضوع را به محدودیت های مختلف در تجهیزات غربی پیشرفته تولید، مواد و فرآیندها، تراشه بالا پایان به طور عمده وابسته به واردات است. تولید سالانه چین محصولات مدارهای مجتمع برای سالهای زیادی بیش از 200 میلیارد دلار بیشتر از نفت برای تبدیل شدن به بزرگترین محصولات وارداتی است.
برای رسیدن به توسعه نوآوری مستقل، دولت 02 پروژه، تجهیزات اصلی، فن آوری و نوآوری در مواد در سال 2008 راه اندازی شد.
ژانگ Boxu، مدیر کمیسیون شهرداری پکن با نامه، گفت: بالا پایان تجهیزات و مواد زنجیره صنعت از ابتدا برای پر کردن شکاف، فن آوری تولید و یکپارچه سازی بسته از اوج ضعیف به جهان برای شرکت در رقابت های بین المللی، نشان می دهد که علم و فن آوری سیستم نوآوری های بزرگ ملی به ایجاد مرحله ساخت مدار مجتمع در سال های اخیر، توسعه شدید صنعت IC IC، پروژه های بزرگ نقش مهمی در نوآوری و پشتیبانی فنی داشته است.
در 02 تحقیق دقیق در زمینه تجهیزات پیشرفته، تجهیزات الکتریکی نقش مهمی ایفا کرده است.
بخش برق با گروه تکنولوژی الکترونیک چین شرکت (از این پس به عنوان بخش چین الکتریکی نامیده می شود)، فرعی کاملا متعلق، در سال 2013 تاسیس شده است، یکپارچه توسط چین الکتریک بخش دو، چهل و پنج و چهل و هشت و 11 از شرکت برگزاری مجهز ، در سراسر پکن، تایوان، چانگشا، شانگهای و دیگر شش استان و هشت پارک.
از زمان آغاز آن، تجهیزات الکتریکی بخش حفظ پرچم تیم ملی از تجهیزات تولید قطعات الکترونیکی، برای حمل به جلو توانایی تحمل سختی، با تاکید بر تعهد، تجهیزات 'دهه شمشیر، مایل به پایبند به روح، در مطابق با "دستیابی به موفقیت کلیدی، پشتیبانی از پلت فرم، مجموعه بخشی از خدمات یکپارچه است توسعه ایده ها، پایبند به نوآوری و توسعه، پایبند به مدنی-نظامی یکپارچه سازی، حمایت و تجهیزات برای خدمت به کشور، گرفتن فن آوری های کلیدی مدار مجتمع تولید کلید implanter تجهیزات یون، مواد شیمیایی و تجهیزات پرداخت مکانیکی، و غیره، برای حل تعدادی محدود توسعه چین از کنترل خود قطعات الکترونیکی نظامی مشکل گردن کارت، حمایت از توسعه سریع نیمه هادی و صنعت الکترونیک مولد در حال ظهور، برای بیان مسئولیت و مسئولیت تجهیزات قدرت بزرگ.
با تکیه بر سالها انباشته مهارت IC تجهیزات هسته ای و تحقیقات و فن آوری تولید میراث نظامی، بخش برق با تشکیل یک تجهیزات بالا پایان نمایش، فتوولتائیک جدید انرژی، مواد باتری و دیگر پان نیمه هادی تجهیزات و قطعات بخشی از قابلیت های خدمات یکپارچه، ارتقاء قابل توجهی از تجهیزات نرخ محلی سازی. در حال حاضر عمده تجهیزات داخلی IC، بزرگترین بالا پایان تجهیزات صفحه نمایش، تجهیزات برای تولید فتوولتائیک، مواد باتری تجهیزات برای تولید کننده، با مجموعه بخشی از مدارات مجتمع و قابلیت یکپارچه سازی سیستم ها، با یک زنجیره صنعت فتوولتائیک کامل و خط کامل از قابلیت های کلید در دست.
شکستن انحصار جعل دستگاه ایمن سازی یون ساخته شده با نام تجاری
پیشرفت در فن آوری های کلیدی، ثبت اختراع 101 اختراع ثبت شده بین المللی، و شده است یک سری از محصولات را برای SMIC 90nm، 55nm، 40nm، خط تولید فرآیند 28nm دست ...... این به عهده تجهیزات الکتریکی بخش 02 ویژه دو یون implanter R & D برخی دستاوردهای پروژه.
یون implanter است از هسته تجهیزات برای تولید مدار مجتمع حیاتی - در درجه اول ذرات تزریق مواد نیمه هادی، در نتیجه کنترل هدایت از مواد نیمه هادی، در نتیجه تشکیل یک واحد اساسی یک دستگاه مدار اتصال PN یکپارچه و مانند آن.
به عنوان تنها تحقیقات یک مجموعه و توسعه، تولید، خدمات در یکی از تامین کنندگان implanter یون از تجهیزات الکتریکی در بخش 02 پروژه، تحقیق و توسعه به یک سطح جدید متعهد در implanter یون، یک سال است.
2014، 12 اینچ در پرتو دستگاه کاشت یون با سطح عالی از پذیرش توسط اجرای ملی دفتر مدیریت 02 سازمان خاص است. 2015، SMIC است در 55nm، 45nm و 40nm کم حجم اعتبار روند محصول، Taichung در پرتو داخلی تکمیل implanter یون فعلی برای اولین بار برای رسیدن به تولید انبوه ویفر بیش از یک میلیون نفر است. در سال 2016، معرفی مدل جدید برای پاسخگویی به تکنولوژی بالا پایان 45-22nm پرتو زیادی از implanter یون انرژی پایین، پرتو، پرتو های با انرژی پایین مقادیر زیادی از محصولات مورد استفاده در آی سی خط بزرگ است. 2017، یون حجم implanter کارخانه تولید و در شرایط آزمایشگاهی فرآیند و قرار داده استفاده کنید، با سیستم عامل های صنعتی مطابق با استاندارد SEMI، ظرفیت سالانه 50، و استفاده از سیستم های مدیریت اطلاعات برای رسیدن به کنترل implanter حجم کیفیت تولید یون در سراسر و ردیابی کنید
'توطئه سینتی سایزر ضخامت، برای صنعت تجهیزات تولید، نه تنها به تمرکز بر روی توسعه یک قطعه از تجهیزات، مجموعه کاملی از عرضه در یک محدوده خاص، تشکیل یک پلت فرم از ظرفیت تولید مهم تر است. رئیس هیئت مدیره و دبیر حزب لیو Jidong تاکید، تجهیزات الکتریکی بخش تحقیقات مستقل و توسعه یابنده های یون، انحصار بازار بالایی را توسط ایالات متحده و ژاپن شکست دادند، ایجاد یک ایمپلنت یونی با نام تجاری داخلی.
صفر پیشرفت 200mmCMP داخلی وارد اعتبار سنجی خط تولید SMIC
نوامبر 21، تجهیزات الکتریکی، تحقیق و توسعه بخش مستقل 200mmCMP هواپیماهای تجاری تکمیل تست داخلی، SMIC تیانجین به شرکت در خط تأیید. این اولین بار برای ورود به دستگاه مدار مجتمع 200mmCMP خط تولید در مقیاس بزرگ داخلی است راه حل موثر برای محدودیت های صنعت چین آیسی مستقل فرستاده می شود، تنگناهای کنترل شده توسعه
CMP یکی از هفت دستگاه کلیدی در ساخت مدار مجتمع برای پلاریزاسیون و فرآیندهای متصل به مس است.
بخش برق با مشکلات، هر دو به پایان می رسد از نیروی در خرس دوم پنج ''28 -14nm 02 فرایند پرداخت خاص و مجموعه کاملی از تجهیزات، مواد صنعت پروژه در همان زمان، نیاز فوری برای بازار داخلی، تحقیقات سرمایه گذاری مستقل تجهیزات تجاری 200mmCMP، تشکیل 300mm، تجهیزات 200mm تجهیزات تحقیق و توسعه دست در دست، وضعیت حمایت متقابل است.
از آغاز ژانویه سال 2015، تجهیزات R & D تیم بخش برق CMP مجهز به بی خوابی شبانه های بی شماری، فینال صنعت آبیاری گل از تجهیزات CMP: شکستن بیش از 10 فن آوری های کلیدی، اتمام فنی بهبود بیش از 50، و در نهایت در سال 2017 اوت با موفقیت اول به صورت کامل مستقل حقوق مالکیت معنوی چین 200mmCMP هواپیماهای تجاری، موفق به شکستن انحصار محاصره فن آوری های خارجی توسعه یافته است. از طریق یک سخت ده هزار، ماراتن آزمون، دستگاه می تواند قابل مقایسه با تجهیزات مشابه فعلی بین المللی است.
گزارش شده است که در شش ماه آینده، از 200mm CMP تجهیزات تست به طور رسمی پذیرفته تولید در مقیاس بزرگ، قابلیت اطمینان و ثبات تجهیزات خواهد شد به معاینه دقیق قرار گیرند.
مجموعه ای از بسته بندی پیشرفته تجهیزات بسته بندی دسته ای اعمال شده به شرکت های پیشرو
تجهیزات بسته بندی فروش کل بیش از 2000 مجموعه، فن آوری قدرت طولانی شده است در دسته اعمال می شود، از طریق غنی میکرو قدرت، سوژو جینگ نیش و دیگر بسته بندی IC شناخته شده و شرکت های تست - در زمینه بالا پایان تجهیزات بسته بندی، تجهیزات الکتریکی بخش یک مجموعه کامل از ظرفیت عرضه محلی تشکیل داده است.
از آنجا که، یازدهم پنج، با حمایت از 02 پروژه، تجهیزات الکتریکی بخش انجام شده است فاصله کانونی 300mm نازک شدن ویفر نازک و پرداخت ماشین آلات بسته بندی و مولفه های کلیدی از فن آوری هسته ای و دیگر پروژه های فناوری و توسعه محصول.
امروز، تجهیزات الکتریکی R & D بخش فلیپ چیپ، روکش فلزی بندر، به صورت خودکار ویفر دستگاه نازک شدن، دقت اتوماتیک دستگاه dicing را منجر سطح پیشرفته داخلی و بین المللی و تحقیق و توسعه مستقل از تجهیزات بسته بندی پیشرفته و ساخت و ساز یکپارچه تجهیزات تکنولوژی مدار به صورت محلی خط را تأیید کنید تا به طور مداوم بهبود پایداری و قابلیت اطمینان تجهیزات بسته بندی داخلی مدار یکپارچه فراهم شود.
لیو جیدونگ گفت: "در زمان توسعه تجهیزات، ما نیاز به طراحی و ساخت تجهیزات با توجه به نیازهای فرایند داریم و به طور مداوم روند را بررسی می کنیم."
در حال حاضر، فرایند اعتبار سنجی تجهیزات بسته بندی خط متشکل از سه اثر: اول، دستگاه تأیید، فرآیند راستی آزمایی، نازک شدن، dicing را، تلنگر تراشه، اتصال سیم و سایر تجهیزات به منظور بررسی ثبات خط، قابلیت اطمینان از سازگاری، روند اعتبار سنجی ارزیابی؛ دوم این است که به منظور بررسی تولید انبوه دستگاه، افزایش توانایی ارائه یک دسته از تجهیزات سوم این است که تقویت ظرفیت های محلی به خط، انباشت تجربه به ارائه راه حل در کل.
در مسئولیت از تماس، ماموریت خود را برای رهبری آینده است.
بخش تجهیزات الکتریکی به عنوان تیم ملی در زمینه تولید تجهیزات الکترونیکی، تجهیزات را مسئولیت حمایت برای خدمت به کشور، برای ایجاد بالا پایان تجهیزات الکترونیکی 'قدرت تجهیزات توزین، ایجاد سنگ بنای Guoxin اوراق از آینده، در مورد دستگیری از تجهیزات برای تولید مدار هسته یکپارچه، فن آوری های کلیدی، بخش تجهیزات الکتریکی خواهد شد پایبند به نوآوری علمی و فناوری و صنعتی چرخ سرمایه گذاری، تلاش مستمر. در اطراف تجهیزات و صنایع وابسته در تجهیزات حمایت از صنعت، تلاش به منظور ارتقاء سطح صنعتی شدن، از طریق کمک رسانی در کل، جمع آوری منابع، ساخت Beijing تجهیزات IC و مرکز نوآوری های صنعتی در همان زمان توانایی به پرورش تولید الکترونیکی استانداردهای زیر بخش هوشمند، تجهیزات برای تولید هوشمند و سیستم های تولید هوشمند راه حل؛ پایه، بخش چین الکتریکی (شانشی) فن آوری اطلاعات الکترونیکی نوآوری پارک های صنعتی و پارک صنعتی در چانگشا تجهیزات فتوولتائیک، خدمات، ملی و توسعه محلی آن را تبدیل به یکی از جریان اصلی از شرکت های تولیدی هوشمند، هوشمند تولید سیستم های ارائه دهنده راه حل.