Implante de íons de 28nm no site da linha de produção SMIC de 12 polegadas
Equipamento 200mmCMP na linha de produção SMIC para validação de processos
PERC célula fotovoltaica de alta eficiência linha de produção fabril de core inteligente taxa de localização do equipamento de 91,8%
Recentemente, a China Electronics Technology Group Co., Ltd. (doravante denominado equipamento elétrico) veio boa notícia, pesquisa independente e desenvolvimento da primeira máquina de implantação de iões de feixe da China na linha de produção SMIC filme estável mais de 2 milhões, o primeiro 200mmCMP As vendas de equipamentos foram alcançadas. Este é o epítome das principais realizações feitas pela empresa de equipamentos elétricos na realização do projeto principal de "Equipamentos de fabricação de circuitos integrados de grande escala e tecnologia completa" (doravante denominado "Projeto Especial 02").
Nos últimos nove anos, o equipamento da EEE realizou um total de 02 especialidades de I & D e implantação de íons grandes de 90 ° -65nm, componentes chave e tecnologia básica de equipamentos de embalagem, implantação e implantação de íons de grande porte de baixa energia de 45 a 22 nm de baixa energia e industrialização Equipamentos de polir 28-14nm e conjuntos completos de tecnologia, industrialização de materiais '300mm thin wafer polishing machine R & D e industrialização' e outros projetos.
Ao longo dos últimos 9 anos, com o apoio do Projeto Especial 02, o equipamento elétrico perdeu sucessivamente as principais tecnologias de circuitos integrados chave, como implantes de íons e máquinas mecânicas de polimento mecânico (CMPs), o que dificultou o enfrentamento de dificuldades e motivação. Ganhou 22 prêmios acima dos níveis provinciais e ministeriais, construído em linha com a plataforma de fabricação de lotes de implantação de iões padrão SEMI, o estabelecimento de uma estação de pesquisa pós-doutoral, a plataforma de P & D CMP foi aprovada, "Beijing Chemical Mechanical Flattening Process Equipment Engineering Research Center" Implante de iões de primeira mão doméstico, equipamentos de 200mmMP na grande linha de produção do SMIC, equipamentos avançados de embalagem com capacidades de serviço integradas, acesso a embalagens avançadas que lideram empresas ......
Descreva minuciosamente a responsabilidade e a responsabilidade da pedra fundamental
chip de circuito integrado é o núcleo da pedra fundamental da era da informação, tecnologia de fabricação de circuito integrado representa o nível mais alto no mundo de hoje da fabricação de ultra-precisão, indústria de circuitos integrados tornou-se uma indústria estratégica, o impacto de segurança econômica e de defesa social e competitividade global.
No entanto, desde a indústria do IC de capital intensivo,, recursos de pessoal intensivas de tecnologia intensiva, muito tempo, a indústria da China IC tem sido sujeita a várias restrições no equipamento ocidental avançada de fabricação, materiais e processos, o chip high-end é principalmente dependente das importações. IC produtos da China por muitos anos importa anualmente mais de US $ 200 bilhões, mais do que a maior óleo foram importados produtos.
Para alcançar o desenvolvimento de inovação independente, o Estado lançou 02 projetos, os principais equipamentos, tecnologia e inovação de material em 2008.
Zhang Boxu, diretor da Comissão Municipal de Pequim por carta, disse equipamentos e materiais high-end cadeia da indústria a partir do zero para preencher as lacunas, tecnologia de fabricação e integração pacote de crescendo fraco para o mundo para participar na competição internacional, mostra que o sistema de ciência e inovação tecnológica importante nacional para criar estágio de fabricação de circuitos integrados Nos últimos anos, o vigoroso desenvolvimento da indústria chinesa de IC, os principais projetos têm desempenhado um papel importante na inovação e no suporte técnico.
Em 02 pesquisas especiais de equipamentos de ponta, o equipamento elétrico tem desempenhado um papel fundamental.
Divisão elétrica é equipado com a China Electronics Technology Group Corporation (doravante referida como a China Divisão Electric), uma subsidiária integral, criada em 2013, integrado pela China Electric Divisão dois, quarenta e cinco e quarenta e oito e 11 da holding Através de Pequim, Taiyuan, Changsha, Xangai e outras seis províncias e oito parques.
Desde a fundação do estabelecimento, o equipamento elétrico manteve alto a bandeira da equipe nacional de equipamentos de fabricação eletrônica, envie o trabalho árduo, fale sobre a dedicação, querendo aderir ao equipamento da "espada de moagem da década", de acordo com "avanços-chave, suporte de plataforma, pacote parcial, serviços integrados" Idéias de desenvolvimento, aderir à inovação e ao desenvolvimento, aderir à integração civil e militar, aderir ao equipamento para atender o país, superar o fabrico de circuitos integrados equipamentos chave de implante de íons, equipamentos de polimento mecânico químico e outras tecnologias-chave para resolver um grupo de componentes eletrônicos militares da China para controlar o desenvolvimento de auto- Card neck ', apoiando o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores e componentes eletrônicos emergentes, para expressar a responsabilidade e responsabilidade do Great Power Equipment.
Baseando-se na acumulação de tecnologia no campo do equipamento de núcleo de circuito integrado durante muitos anos e a tecnologia de pesquisa científica e produção da indústria militar, o equipamento elétrico formou um conjunto local completo e uma capacidade integrada de serviço de exibição de alta qualidade, novas fontes de energia de materiais fotovoltaicos, semicondutores de energia e outros equipamentos pan-semicondutores. Atualmente, é o principal equipamento de circuitos integrados, o maior equipamento de exibição de gama alta, equipamentos de fabricação fotovoltaica, fornecedores de equipamentos de fabricação de material de bateria elétrica, com o circuito integrado de conjuntos completos locais e capacidades de integração de sistemas, com uma cadeia de indústria fotovoltaica completa e capacidade chave na mão da linha inteira.
Romper o monopólio forjando a máquina de implantação de íons feita marca
Destaque em tecnologias-chave, fez 101 patentes de invenção, 2 patentes internacionais, conseguiu uma série de produtos e usado em SMIC 90nm, 55nm, 40nm, linha de processo de 28nm ... ... Este é o equipamento elétrico para empreender 02 pesquisas e desenvolvimento especial de duas máquinas de implantação de íons Algumas realizações feitas pelo projeto.
Os implantes de íons são o equipamento principal de fabricação de circuitos integrados - principalmente injetando partículas no material semicondutor para controlar a condutividade do material semicondutor para formar a unidade básica do dispositivo de circuito integrado, como a junção PN.
Como o único fornecedor de implantes de íons integrando R & D, fabricação e serviço na China, depois de ter realizado 02 projetos especiais, o equipamento elétrico deu um novo passo na I & D do implante de íons.
Em 2014, o implante de íons de feixe médio de 12 polegadas passou pelo teste de aceitação organizado pelo Escritório de Gerenciamento de Implementação Especial do Estado 02 com excelente nível. Em 2015, o SMIC completou sucessivamente a verificação do processo de produtos de pequeno porte de 55nm, 45nm e 40nm, Taxa de implantação de íons de fluxo do primeiro para alcançar a produção em massa de bolachas em mais de um milhão em 2016, introduzido para atender a nova tecnologia high-end do novo modelo 45-22nm de baixa energia de grande feixe de implantes de íons de feixe, feixe, produtos de grande porte de baixa energia, aplicativos de lotes IC Line Em 2017, a fábrica de condições de produção em massa do implante de íons e laboratório de processo são utilizadas, com a plataforma industrial padrão SEMI, com capacidade anual de 50 unidades e a aplicação de sistemas de gerenciamento de informações para alcançar a produção em massa de produção em massa de implante de íons E trate de volta.
"O dispositivo de acumulação de espessura, para a indústria de fabricação de equipamentos, não só preocupado com o desenvolvimento de um único dispositivo, dentro de uma certa oferta, a formação de uma plataforma para a capacidade de produção é ainda mais importante." O presidente Liu Jidong, secretário do partido, destacou que o equipamento elétrico Pesquisa independente e desenvolvimento de implantes de íons quebraram o monopólio do mercado high-end pelos Estados Unidos e Japão, criando um implante de íons da marca doméstica.
Zero breakhiprough 200mmCMP interno entra na validação da linha de produção SMIC
21 de novembro de equipamentos elétricos, departamento de pesquisa e desenvolvimento independente 200mmCMP aeronaves comerciais concluídos testes internos, SMIC Tianjin enviou para a empresa on-line de verificação. Esta é a primeira vez para entrar no dispositivo de circuito integrado 200mmCMP linha de produção doméstica em grande escala, solução eficaz para as restrições de IC da China indústria independente Estrangulamentos de desenvolvimento controláveis.
O CMP é um dos sete dispositivos chave na fabricação de circuitos integrados para processos de planarização e interconexão de cobre.
Divisão Electric Equipment dificuldades, ambas as extremidades da força. Na urso 'segunda cinco' '28 -14nm 02 processo de polimento especial e conjuntos completos de equipamentos, materiais projeto indústria', ao mesmo tempo, a necessidade urgente para o mercado interno, o investimento independente de pesquisa 200mmCMP equipamento comercial, uma pesquisa equipamentos de 300 milímetros, 200 milímetros e desenvolvimento caminham lado a lado, apoiando situação de cada um.
A partir de janeiro de 2015, a equipe de P & D do equipamento CMP no Grupo de Equipamentos Elétricos gastou inúmeras noites sem sonar derramando a industrialização de equipamentos CMP: avanços de mais de 10 tecnologias-chave, completou mais de 50 melhorias técnicas e, finalmente, em 2017 Em agosto deste ano, desenvolveu com sucesso a primeira máquina comercial CMP de 200mm com direitos de propriedade intelectual completamente independentes na China e conseguiu quebrar o monopólio do bloqueio de tecnologia estrangeira. O rigoroso teste de maratona de 10.000 peças é comparável ao equipamento internacional similar.
É relatado que nos próximos 6 meses, equipamentos de CMP de 200mm para aceitar formalmente o teste de produção em larga escala, confiabilidade e consistência do equipamento serão submetidos a um exame rigoroso.
Conjuntos completos de lotes avançados de equipamento de fornecimento de embalagens avançadas aplicados às principais empresas
As vendas de equipamentos de embalagem de mais de 2.000 conjuntos, tem sido usada em lotes Changdian Technology, Tong Fu Microelectronics, Suzhou Jing Fang e outras bem conhecidas embalagens domésticas e empresas de teste - no campo de equipamentos de embalagem de alta qualidade, equipamentos elétricos formaram um fornecimento parcial de capacidades locais.
Desde o 11º período do Plano Quinquenal, com o apoio do projeto especial 02, o equipamento elétrico realizou equipamentos e componentes de equipamentos e máquinas de lixar e espessura de bolacha ultrafinas de 300 milímetros e tecnologias de núcleo e projetos de desenvolvimento de produtos.
Hoje, o desenvolvimento de equipamentos elétricos, máquina de encadernação flip chip, máquina automática de bolhas de bolacha, máquina automática de precisão para atingir o nível avançado nacional e internacional avançado, e pesquisa e desenvolvimento independente de equipamentos para construir o avançado equipamento de embalagem de circuito integrado para o processo local Verifique a linha, a fim de melhorar continuamente a estabilidade e a confiabilidade dos equipamentos domésticos de embalagem de circuitos integrados, fornecem uma boa plataforma.
"No momento do desenvolvimento do equipamento, precisamos projetar e fabricar equipamentos com base nos requisitos do processo e verificar continuamente o processo", disse Liu Jidong.
Atualmente, a linha de verificação de tecnologia de equipamentos de embalagem tem três funções principais: primeiro, verifique o equipamento, verifique o processo, o desbaste, corte, flip-chip, ligação de arame e outros equipamentos na estabilidade da linha de verificação, confiabilidade, adaptabilidade do processo Avaliação e verificação, o segundo é verificar a produção em lote de equipamentos para aumentar a capacidade de entrega de lotes de equipamentos; o terceiro é fortalecer a capacidade do local em uma linha, para fornecer a solução global para ganhar experiência.
Responsabilidade chamada a jogar, a missão liderar o futuro.
Como equipe nacional no campo do equipamento de fabricação eletrônica, o equipamento elétrico manterá a importante tarefa de fornecer equipamentos para atender o país e construir "equipamentos de alta potência" de equipamentos eletrônicos high-end, que serão a pedra angular do país. No futuro, com foco nas principais tecnologias para a fabricação de equipamentos integrados, Aderir à inovação científica e tecnológica e à indústria em uma força de duas rodas, uma força sustentada em torno da indústria de equipamentos e equipamentos sob o apoio de indústrias relacionadas, esforços para aumentar o nível de industrialização, através de todo o alcance, reunindo recursos, construção do centro de inovação de equipamentos de circuitos de Pequim e industrialização Base, China E-Techco (Shanxi), o Parque Industrial de Inovação de Tecnologia de Informação Eletrônica e o Parque Industrial de Equipamentos Fotovoltaicos de Changsha para atender o desenvolvimento nacional e local, ao mesmo tempo, cultivar a capacidade de criar inteligentemente a formulação padrão da indústria de subdivisões eletrônicas, fabricação de equipamentos inteligentes e soluções de sistemas de fabricação inteligentes Tornou-se uma das principais empresas de backbone de fabricação inteligente e fornecedores de soluções de sistemas de fabricação inteligentes na China.