SMIC 십이인치 생산 라인 사이트에서 28 나노 이온 주입기
프로세스 검증을위한 SMIC 생산 라인에 200mmCMP 장비 장착
91.8 %의 효율 PERC 광전지 제조 라인 코어 스마트 지능 장비 국산화율
최근, 전기 장비 전자 그룹 유한 회사는 좋은 소식 (이하, 전기 장비 지점이라한다), SMIC 큰 꾸준한 흐름 시트 생산 라인에서 200 만 명 이상에 중국 최초의 자체 개발 빔 이온 주입기, 첫 번째 단계 200mmCMP 장비 판매 미니어처 의미있는 결과를 달성했다.이 부담 전장품 부 '매우 대규모 집적 회로 제조 장비 및 전체 프로세스'(이하 특수 02이라 함)의 주요 과학 기술을 달성했다.
구년는, 전기 장비 부문은 주입 기계 개발 및 산업화 ''포장 장치 핵심 부품 및 핵심 기술 '저 에너지 이온 주입기 개발 및 산업화'의 '45 -22nm 큰 빔 이온 02 특별 '90 -65nm 큰 각도를 수행하고있다 28-14nm 연마 장치의 세트, 재료 업계 프로젝트 '시스템 개발 및 산업화 연마 얇은 300mm 웨이퍼 박막화'.
9년는 02 프로젝트의 지원으로, 전기 기기 부문, 많은 연구 화학 기계적 연마 장치의 수 (CMP) 등 어려운 IC를 주요 장비의 핵심 기술과 강력한 구동하는 이온 주입을 통해 고장이 146 개 발명 특허했다 지방 및 장관 상 (22)에 대한 액세스, 내장 SEMI 표준 이온 주입기 대량 생산 플랫폼에 따르는, 박사 후 연구 역 확립; CMP R & D 플랫폼은 '베이징 화학 기계적 평탄화 공정 장비 공학 기술 연구소'를 허가; 국내 첫 이온 주입기, SMIC의 대형 생산 라인에 들어가는 200mmCMP 장비, 통합 서비스 기능을 갖춘 첨단 패키징 장비, 첨단 패키징 선도 기업에 대한 액세스 ......
기초 석의 책임과 책임을 부지런히 묘사
집적 회로 칩은 정보화 시대의 초석의 핵심은, 집적 회로 제조 기술은 초정밀 제조 오늘날의 세계에서 가장 높은 수준을 나타냅니다이다, 집적 회로 산업은 전략 산업, 사회, 경제 및 국방 보안 및 종합 경쟁력에 미치는 영향이되었다.
그러나, IC 산업 이후 자본 집약적, 기술 집약적, 인력 집약적 인 기능, 오랜 시간, 중국의 IC 산업은 서양의 첨단 제조 장비, 재료 및 프로세스의 여러 제약 대상이되고있다, 하이 엔드 칩은 수입에 주로 의존한다. 오랜 세월 동안 2000 억 달러 이상의 집적 회로 제품을 생산하는 중국의 연간 생산량은 석유보다 더 많은 수입 제품이됩니다.
독립적 인 혁신의 발전을 달성하기 위해, 국가는 2008 년 02 프로젝트, 주요 장비, 기술과 재료 혁신을 시작했다.
장 Boxu, 편지에 의해 북경시위원회 이사, 국가 주요 과학 기술 혁신 시스템은 집적 회로 제조 단계를 만들 수 있음을 보여줍니다 처음부터 하이 엔드 장비 및 재료 산업 체인이 국제 경쟁에 참여하는 세계에 약한 크레센도의 차이, 제조 기술 및 패키지 통합을 채우기 위해 말했다 최근 몇 년 동안, 중국의 IC 산업의 활발한 발전, 주요 프로젝트 혁신과 기술 지원에 중요한 역할을했습니다.
02 특수 고급 장비 연구에서 전기 장비는 중추적 인 역할을 수행했습니다.
전기 부문은 중국 전기 부문이, 사십 오와 지주 회사 40-8와 (11)에 의해 통합 된 2013 년에 설립 된 (이하 중국 전기 부문으로 함) 중국 전자 기술 그룹 공사, 자회사, 장착되어 있습니다 , 베이징, 타이 위안, 장사, 상하이 및 기타 여섯 개의 주와 8 개의 공원을 가로 질러.
그것의 처음부터, 전자 제품 제조 장비의 국가 대표팀의 배너를 지키는 전기 장비 사업부, 헌신을 강조 어려움을 견딜 수있는 능력을 앞으로 수행하기 위해, '십 년간 칼'장비는 '키 혁신, 플랫폼 지원, 통합 서비스의 부분 집합'에 따라, 정신을 준수 할 의사가 아이디어의 개발 등 핵심 장비 이온 주입기, 화학 기계적 연마 장비를 제조 집적 회로의 핵심 기술을 캡처, 국가를 봉사하는 장비를 유지, 민간 군사 통합을 준수, 혁신과 개발을 준수, '자기 통제 군 전자 부품의 중국의 발전을 제한하는 숫자를 해결하기 위해 새로운 반도체 및 전자 부품 산업의 급속한 발전을 지원 보류 '문제를 졸라, 놀이 무게 권한과 책임을 설명합니다.
축적 된 기술 IC 핵심 장비와 군사 연구 및 생산 기술 유산의 년에 의존, 전기 부문은 하이 엔드 디스플레이 장비, 새로운 에너지 태양 광, 전지 재료 및 기타 팬 반도체 장비 및 통합 서비스 기능의 부분 집합, 장비 국산화율의 상당한 업그레이드를 형성했다. 현재 전체 태양 광 산업 체인 턴키 기능의 전체 라인이 집적 회로 및 시스템 통합 기능의 부분 집합와 국내 주요 IC 장치, 최대 상한 디스플레이 장치, 태양 광 제조 장비, 전지 재료 제조 설비 공급자.
국내 브랜드 이온 주입기 단조의 독점을 깰
핵심 기술의 혁신, 발명 (101)의 국제 특허 특허 및 SMIC의 90 나노 미터, 55 나노, 40 나노, 28 나노 공정 생산 라인에 대한 제품의 일련의 달성은 ...... 이는 전기 장치 부 02 특별한 두 이온 주입기 R & D를 부담 이 프로젝트는 몇 가지 결과를 달성했다.
이에함으로써 PN 접합 집적 회로 장치 등의 기본 단위를 형성하는 반도체 재료의 도전율을 제어하는, 반도체 재료를 주입 주로 입자 - 이온 주입기 중요한 핵심 집적 회로 제조 장비이다.
단 한 세트의 연구 개발, 제조로, 부문 전기 설비의 이온 주입기의 공급 업체 중 하나의 서비스는 새로운 수준으로 년, 이온 주입기에 02 프로젝트, 연구 개발에 착수.
국가 구현 관리 사무소 02 특별 조직. 2015 년까지 수용 우수한 수준의 빔 이온 주입 기계 2014 년 12 인치, SMIC는 55 나노, 45 나노 및 40 나노 소량 제품 공정 검증, 타이 중 국내 제 1 빔에 완료 현재 이온 주입기가 처음. 백만 이상의 웨이퍼의 대량 생산을 달성하기 위해 2016 년, 새로운 모델의 도입이 저 에너지 이온 주입기의 하이 엔드 기술 45-22nm 대형 빔을 충족하기 위해, 빔은, 제품의 낮은 에너지 빔 대량는 IC에 사용 큰 라인. 2017, 이온 주입기 볼륨 제조 공장 및 공정 실험실 조건과 사용에 투입, 산업 플랫폼은 SEMI 표준, (50)의 연간 용량 및 전체에 이온 주입기의 대량 생산 품질 관리를 달성하기 위해 정보 관리 시스템의 응용 프로그램에 부합와 추적 해봐.
'생산 능력의 플랫폼이 더 중요 형성뿐만 아니라 장비, 일정한 범위 내에서 공급의 완전한 세트의 한 조각의 개발에 초점을, 장비 제조 산업을위한 두꺼운 신디사이저를 그린다.'회장 겸 당 비서 리우 Jidong 강조, 전기 장비 부문 독립적 인 연구 및 하이 엔드 시장을 깰 이온 주입기의 개발은 이온 주입기 국내 브랜드를 만들어, 미국과 일본의 상황을 독점하고있다.
국내 최초의 200mmCMP 획기적인 SMIC 생산 라인 검증
11 월 21 일 전기 장비, 독립적 인 연구 및 개발 부서 200mmCMP 상용 항공기 내부 테스트를 완료, SMIC 천진 독립적 인 중국의 IC 산업의 제약으로 검증. 이는 국내 집적 회로 장치 200mmCMP 대규모 생산 라인을 입력하는 것은 이번이 처음이다 온라인 회사에 효율적인 솔루션을 전송 개발의 병목 현상을 제어 할 수 있습니다.
CMP는 평탄화 및 구리 상호 연결 공정을위한 집적 회로 제조의 7 가지 주요 장치 중 하나입니다.
전기 부문 장비 어려움, 힘의 양 끝. '28 -14nm 02 특수 연마 공정 및 장비의 완전한 세트, 소재 산업 '프로젝트를 동시에'오초 '곰에서 국내 시장을위한 긴급한 필요, 독립적 인 투자 연구 200mmCMP 상용 장비는 300mm, 200mm 장비 연구 및 개발은 서로의 상황을 지원하고, 손에 손을 이동합니다.
10 개 이상의 핵심 기술, 50의 기술적 개선을 완료하고, 마침내 2017 속보 : 2015 년 1 월 초부터, 전기 부문 CMP 장비 R & D 팀은 수많은 잠못드는 밤의 CMP 장비의 최종 물 꽃 산업 장착 8 월 성공적으로 상용 항공기, 외국 기술의 봉쇄의 독점을 깨는 데 성공 200mmCMP 중국 최초의 완전 독립적 인 지적 재산권을 개발했다. 엄격한 만 '마라톤'테스트를 통해, 장치는 현재 국제 유사한 장비와 비교 될 수있다.
그것은 향후 6 개월, 200mm CMP 장비는 공식적으로 대규모 생산, 장비의 신뢰성과 일관성의 시험을 받아 엄격한 심사를 받게됩니다보고됩니다.
선도 기업에 적용되는 고급 포장 공급 핵심 장비 배치의 전체 세트
2,000 개 이상의 세트 포장 장비 매출이 긴 전원 기술이 풍부한 미세 전력 통해 일괄 적으로 적용되어, 소 징 팡 등의 공지의 IC 패키징 및 테스팅 기업 - 하이 엔드 장비 기기의 분야에서, 전기 장치 부는 로컬 공급 능력의 완전한 세트를 형성하고있다.
02 사업의 지원으로 '11 차 5'이후, 전기 장비 부문은 300mm 박막 웨이퍼 숱이 연마 기계 포장 장비 및 핵심 기술 및 기타 기술 및 제품 개발 프로젝트의 주요 구성 요소를 수행하고있다.
오늘, 전기 장비 R & D 부문의 플립 칩 본더, 자동 웨이퍼 숱이 기계, 자동 정밀 다이 싱 머신 선도하는 국내 및 국제 선진 수준, 로컬 독립적 인 연구 및 고급 포장 장비의 개발 및 집적 회로 기술 장비의 건설 라인을 확인하기 위해서는 국내 IC 패키징 장비의 안정성과 신뢰성을 지속적으로 향상시켜 좋은 플랫폼을 제공하십시오.
'장비 개발 당시 프로세스 요구 사항에 따라 장비를 설계 및 제조하고 프로세스를 지속적으로 검증해야합니다.'라고 Liu Jidong은 말했습니다.
현재 세 효과를 포함하는 공정 검증 포장 설비 라인 : 우선, 인증 장치, 인증 과정, 세 선화, 다이 싱 라인의 안정성, 적응성의 신뢰성을 검증하기 위해, 와이어 본딩 및 기타 장비 플립 칩 프로세스 평가 검증, 둘째, 디바이스 양산 검증 장치의 배치를 전달하는 능력을 강화하는 것이다 셋째 줄에 로컬 용량, 총 솔루션을 제공하는 경험의 축적을 강화하는 것이다.
미래의 임무를 수행하는 임무 책임자.
전기 장비 부문은 전자 제품 제조 장비 분야에서 국내 팀으로, 장비는 하이 엔드 전자 기기 '무게를 측정하는 장비의 힘'을 만들기 위해, 국가를 봉사하는 책임을지지 않습니다의 핵심 집적 회로 제조 장비의 수중에 넣어, 핵심 기술, 전기 장비 부문 의지에 대한 미래의 Guoxin의 초석을 만들어 베이징 IC 장비 및 산업 혁신 센터, 전체에서 봉사 활동을 통해 산업화의 수준을 향상 자원을 수집, 구축하기위한 노력을 장비 주위에. 과학 기술 혁신과 산업 투자 륜 구동, 지속적인 노력을 준수 및 장비 산업 지원 관련 산업 기지, 중국 전기 부문 (산서) 창사 태양 광 장비, 서비스, 국가 및 지역 개발에 전자 정보 기술 혁신 산업 단지와 산업 단지, 동시에 지능형 전자 제조 하위 분야 표준 지능형 제조 장비 및 지능형 생산 시스템 솔루션을 육성 할 수있는 능력에서 그것은 지능형 제조 기업, 지능형 생산 시스템 솔루션 제공 업체의 주류 중 하나가되고있다.