SMIC 12 इंच उत्पादन लाइन साइट में 28 एनएम आयन प्रत्यारोपण
प्रक्रिया सत्यापन के लिए SMIC उत्पादन लाइन में 200 मिमीसीएमपी उपकरण
पीईआरसी उच्च दक्षता फोटोवोल्टेइक सेल बुद्धिमान विनिर्माण उत्पादन लाइन के कोर स्मार्ट उपकरण स्थानीयकरण दर 91.8%
हाल ही में, बिजली के उपकरणों इलेक्ट्रॉनिक्स समूह कंपनी लिमिटेड अच्छी खबर (चलकर बिजली के उपकरणों शाखा के रूप में जाना जाता है), चीन के पहले स्वयं विकसित बीम आयन SMIC बड़े सतत प्रवाह चादर उत्पादन लाइन में 2 लाख से अधिक में implanter, पहले चरण 200mmCMP उपकरणों की बिक्री हासिल की इस वहन किया जाता है बिजली के उपकरणों डिवीजन 'बहुत बड़े पैमाने पर एकीकृत परिपथ निर्माण उपकरणों और पूरी प्रक्रिया'। प्रमुख विज्ञान और प्रौद्योगिकी (इसके बाद 02 विशेष रूप में संदर्भित) लघु में महत्वपूर्ण परिणाम हासिल।
9 साल, बिजली के उपकरणों डिवीजन 02 विशेष '90 -65nm आयन आरोपण मशीन विकास और औद्योगीकरण '' पैकेजिंग उपकरण प्रमुख घटकों और कोर प्रौद्योगिकी ''45 कम ऊर्जा आयन implanter विकास और औद्योगीकरण' 'की -22nm बड़ी बीम बड़े कोण कार्य शुरू किया है 28-14 एनएम पॉलिशिंग उपकरण और प्रौद्योगिकी के पूरा सेट, सामग्री औद्योगीकरण '300mm पतली वफ़र पॉलिशिंग मशीन आर एंड डी और औद्योगीकरण' और अन्य परियोजनाओं
9 साल, 02 परियोजनाओं के समर्थन के साथ, बिजली के उपकरणों डिवीजन आयन implanter के माध्यम से, अनुसंधान रासायनिक यांत्रिक चमकाने तंत्र की एक बड़ी संख्या (सीएमपी) और इतना मुश्किल आईसी कुंजी उपकरण मूल प्रौद्योगिकी और मजबूत ड्राइव करने के लिए टूट गया है; बनाया 146 आविष्कार पेटेंट , प्रांतीय और मंत्री पुरस्कार 22 तक पहुंच; बनाया अर्ध मानक आयन implanter मात्रा विनिर्माण मंच के अनुरूप, बाद डॉक्टरेट अनुसंधान स्टेशन की स्थापना; सीएमपी अनुसंधान एवं विकास मंच 'बीजिंग रासायनिक यांत्रिक planarization प्रक्रिया उपकरण इंजीनियरिंग प्रौद्योगिकी अनुसंधान केन्द्र' को मंजूरी दी; पहली घरेलू आयन implanter, 200mmCMP उपकरण SMIC घरेलू उन्नत पैकेजिंग उद्यमों में प्रवेश के लिए एकीकृत सेवा क्षमताओं के साथ बड़े पैमाने पर उत्पादन लाइनें, उन्नत पैकेजिंग उपकरण में प्रवेश के लिए, ......
नींव पत्थर की ज़िम्मेदारी और ज़िम्मेदारी का निश्चयपूर्वक वर्णन करें
एकीकृत परिपथ चिप जानकारी उम्र की आधारशिला के कोर, एकीकृत सर्किट विनिर्माण प्रौद्योगिकी अल्ट्रा परिशुद्धता निर्माण की आज की दुनिया में उच्चतम स्तर का प्रतिनिधित्व करता है, एकीकृत सर्किट उद्योग के लिए एक रणनीतिक उद्योग, सामाजिक, आर्थिक और रक्षा सुरक्षा और व्यापक प्रतिस्पर्धा के प्रभाव बन गया है।
हालांकि, आईसी उद्योग के बाद से राजधानी प्रधान, प्रौद्योगिकी प्रधान, कर्मियों-इंटेसिव सुविधाओं, लंबे समय, चीन के आईसी उद्योग पश्चिमी उन्नत विनिर्माण उपकरण, सामग्री और प्रक्रियाओं में विभिन्न बाधाओं के विषय रहा है, उच्च अंत चिप मुख्य रूप से आयात पर निर्भर है। चीन का 200 अरब अमरीकी डालर से अधिक वर्षों के लिए एकीकृत परिपथ उत्पादों का वार्षिक उत्पादन, तेल से अधिक आयात करने वाले सबसे बड़े उत्पाद बनने के लिए।
स्वतंत्र नवाचार और विकास का पता लगाने के लिए, 2008 में, राज्य ने 02 की विशेष परियोजना शुरू की और उपकरणों, प्रक्रियाओं और सामग्रियों के स्वतंत्र नवाचार पर ध्यान केंद्रित किया।
झांग Boxu, पत्र द्वारा बीजिंग नगर आयोग के निदेशक ने कहा कि उच्च अंत उपकरण और सामग्री खरोंच से उद्योग श्रृंखला अंतरराष्ट्रीय प्रतियोगिता में भाग लेने के लिए दुनिया के लिए कमजोर तेज से अंतराल, विनिर्माण प्रौद्योगिकी और पैकेज एकीकरण को भरने के लिए, पता चलता है कि राष्ट्रीय प्रमुख विज्ञान और प्रौद्योगिकी नवाचार प्रणाली एकीकृत परिपथ निर्माण मंच बनाने के लिए हाल के वर्षों में, चीन के आईसी उद्योग के जोरदार विकास, प्रमुख परियोजनाओं ने नवीनता और तकनीकी सहायता में महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है।
02 विशेष उच्च अंत उपकरण अनुसंधान में, विद्युत उपकरण ने एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है
इलेक्ट्रिक डिवीजन चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह निगम (इसके बाद चीन इलेक्ट्रिक डिवीजन के रूप में), एक पूर्ण स्वामित्व वाली सहायक, 2013 में स्थापित, चीन इलेक्ट्रिक डिवीजन दो, पैंतालीस और अड़तालीस और 11 होल्डिंग कंपनी से द्वारा एकीकृत के साथ सुसज्जित है , बीजिंग, ताइयुआन, चांग्शा, शंघाई और अन्य छह प्रांतों और आठ पार्कों के पार।
अपनी स्थापना के बाद बिजली के उपकरणों डिवीजन इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उपकरण की राष्ट्रीय टीम के बैनर को कायम रखने, आगे कठिनाई सहन करने की क्षमता, ले जाने के लिए समर्पण पर बल, 'दशक तलवार' उपकरण भावना का पालन करने, 'कुंजी सफलता, मंच का समर्थन, एकीकृत सेवाओं के आंशिक सेट' के अनुसार तैयार है विचारों के विकास, नवाचार और विकास का पालन सिविल-सैन्य एकीकरण का पालन, उपकरण को बनाए रखने के देश की सेवा करने, एकीकृत परिपथ कुंजी उपकरण आयन implanter, रासायनिक यांत्रिक चमकाने के उपकरण, आदि के निर्माण की प्रमुख प्रौद्योगिकी पर कब्जा करने, आत्म-नियंत्रण सैन्य इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के चीन के विकास को सीमित करने के एक नंबर का समाधान करने के लिए ' ग्रेट पावर इक्विपमेंट की जिम्मेदारी और जिम्मेदारी व्यक्त करने के लिए, अर्धचालक और उभरते हुए इलेक्ट्रॉनिक घटकों के उद्योग के तेजी से विकास का समर्थन करते हुए कार्ड गर्दन की समस्या।
संचित कौशल आईसी कोर उपकरण और सैन्य अनुसंधान और उत्पादन तकनीक विरासत के वर्षों पर भरोसा, इलेक्ट्रिक डिवीजन एक उच्च स्तरीय प्रदर्शन उपकरण, नई ऊर्जा फोटोवोल्टिक, बैटरी सामग्री और अन्य अखिल सेमीकंडक्टर उपकरण और एकीकृत सेवाओं क्षमताओं का आंशिक सेट, उपकरण स्थानीयकरण दर का एक बड़ा उन्नयन का गठन किया। वर्तमान में प्रमुख घरेलू आईसी उपकरण, सबसे बड़ा उच्च स्तरीय प्रदर्शन उपकरण, फोटोवोल्टिक निर्माण उपकरणों, बैटरी सामग्री निर्माण उपकरणों आपूर्तिकर्ताओं, एक पूरी फोटोवोल्टिक उद्योग श्रृंखला और टर्नकी क्षमताओं की पूरी लाइन के साथ एकीकृत परिपथों और सिस्टम एकीकरण क्षमताओं का आंशिक सेट, के साथ।
एकाधिकार फोर्जिंग आयन आरोपण मशीन बनाया ब्रांड तोड़ो
कुंजी प्रौद्योगिकियों में सफलताओं, पेटेंट आविष्कार 101 अंतरराष्ट्रीय पेटेंट, और SMIC 90nm, 55nm, 40nm, 28nm प्रक्रिया उत्पादन लाइन के लिए उत्पादों की एक श्रृंखला हासिल की है ...... यह बिजली के उपकरणों डिवीजन वहन किया जाता है 02 विशेष दो आयन implanter अनुसंधान एवं विकास परियोजना द्वारा की गई कुछ उपलब्धियां
मुख्य रूप से कण, अर्धचालक पदार्थ में इंजेक्ट किया जिससे अर्धचालक पदार्थ की चालकता को नियंत्रित करने, जिससे एक PN जंक्शन एकीकृत परिपथ डिवाइस और तरह की एक बुनियादी इकाई के गठन - आयन implanter महत्वपूर्ण कोर एकीकृत परिपथ निर्माण उपकरणों की है।
केवल एक सेट अनुसंधान और विकास, विनिर्माण के रूप में, डिवीजन में बिजली के उपकरणों की आयन implanter आपूर्तिकर्ता में से एक में सेवाएं 02 परियोजनाओं, अनुसंधान और विकास आयन implanter में, एक साल एक नए स्तर पर चलाया।
02 विशेष प्रबंधन कार्यालय संगठन के राष्ट्रीय कार्यान्वयन द्वारा स्वीकृति के उत्कृष्ट स्तर के साथ बीम आयन आरोपण मशीन में 2014, 12 इंच। 2015 तक SMIC 55nm, 45nm और 40nm कम मात्रा उत्पाद प्रक्रिया सत्यापन, ताइचुंग घरेलू प्रथम किरण पूरा कर लिया है वर्तमान आयन implanter पहले एक लाख से अधिक वेफर्स का बड़े पैमाने पर उत्पादन प्राप्त करने के लिए। 2016 तक, नए मॉडल की शुरूआत कम ऊर्जा आयन implanter के उच्च अंत प्रौद्योगिकी 45-22nm बड़ी बीम को पूरा करने, बीम, उत्पादों की कम ऊर्जा बीम बड़ी मात्रा में आईसी में प्रयोग किया जाता बड़ा लाइन। 2017, आयन implanter मात्रा विनिर्माण संयंत्र और प्रक्रिया प्रयोगशाला परिस्थितियों और उपयोग में डाल दिया, औद्योगिक प्लेटफार्मों अर्ध मानक, 50 की वार्षिक क्षमता है, और सूचना प्रबंधन प्रणाली के आवेदन भर आयन implanter मात्रा विनिर्माण गुणवत्ता नियंत्रण प्राप्त करने के लिए के अनुरूप के साथ और वापस ट्रेस करें।
'मोटी सिंथेसाइज़र प्लॉट, उपकरण विनिर्माण उद्योग के लिए, न केवल उपकरण, एक निश्चित सीमा के भीतर आपूर्ति की पूरी सेट के एक टुकड़े के विकास पर ध्यान केंद्रित करने, बनाने उत्पादन क्षमता का एक मंच ज्यादा महत्वपूर्ण है।' अध्यक्ष और पार्टी सचिव लियू Jidong पर बल दिया, बिजली के उपकरणों डिवीजन स्वतंत्र अनुसंधान और आयन implanter उच्च अंत बाजार को तोड़ने के लिए के विकास अमेरिका और जापान से स्थिति एकाधिकार है, आयन implanter घरेलू ब्रांडों का निर्माण।
शून्य सफलता घरेलू 200mm सीएमएम SMIC उत्पादन लाइन मान्यता दर्ज करें
21 नवंबर, बिजली के उपकरण, स्वतंत्र अनुसंधान और विकास विभाग 200mmCMP वाणिज्यिक विमान आंतरिक परीक्षण पूरा कर लिया, SMIC तिआनजिन कंपनी ऑन लाइन सत्यापन। यह पहली बार घरेलू एकीकृत परिपथ डिवाइस 200mmCMP बड़े पैमाने पर उत्पादन लाइन प्रवेश करने के लिए है करने के लिए चीन के आईसी उद्योग स्वतंत्र की कमी के प्रभावी समाधान भेजा है, विकास के नियंत्रणीय बाधाएं
सीएमपी प्लानेराइजेशन और तांबा इंटरकनेक्ट प्रक्रियाओं के लिए एकीकृत सर्किट निर्माण में सात प्रमुख उपकरणों में से एक है।
इलेक्ट्रिक डिवीजन उपकरण कठिनाइयों, बल के दोनों सिरों। भालू 'दूसरा पाँच' '28 -14nm 02 विशेष चमकाने प्रक्रिया और उपकरणों की पूरी सेट, सामग्री उद्योग 'परियोजना एक ही समय में में, घरेलू बाजार के लिए तत्काल आवश्यकता, स्वतंत्र निवेश अनुसंधान 200mmCMP वाणिज्यिक उपकरण, एक 300 मिमी, 200 मिमी उपकरण अनुसंधान और विकास हाथ में हाथ जाना है, एक दूसरे की स्थिति का समर्थन।
10 से अधिक प्रमुख प्रौद्योगिकी, 50 से अधिक की तकनीकी सुधार के पूरा होने, और 2017 के अंत में में तोड़कर: जनवरी 2015 की शुरुआत से, इलेक्ट्रिक डिवीजन सीएमपी उपकरण अनुसंधान एवं विकास टीम अनगिनत रातों की नींद हराम, सीएमपी उपकरण के अंतिम पानी पुष्प उद्योग के साथ सुसज्जित अगस्त सफलतापूर्वक 200mmCMP वाणिज्यिक विमान, विदेशी तकनीक नाकाबंदी के एकाधिकार को तोड़ करने में सफल रहा चीन की पहली पूरी तरह से स्वतंत्र बौद्धिक संपदा अधिकारों विकसित की है। एक सख्त दस हजार 'मैराथन' परीक्षा के माध्यम से, इस उपकरण वर्तमान अंतर्राष्ट्रीय इसी तरह के उपकरणों के लिए तुलनीय हो सकता है।
ऐसा लगता है कि अगले छह महीने में, 200 मिमी सीएमपी परीक्षण उपकरण आधिकारिक तौर पर बड़े पैमाने पर उत्पादन, स्वीकार करने के लिए उपकरण विश्वसनीयता और स्थिरता सख्त परीक्षा के अधीन होंगे।
अग्रणी उद्यमों के लिए उन्नत पैकेजिंग आपूर्ति कुंजी उपकरण बैच के पूरा सेट
2,000 से अधिक सेट की पैकेजिंग उपकरण कुल बिक्री, लंबे समय से बिजली प्रौद्योगिकी, बैचों में लागू किया गया है अमीर सूक्ष्म शक्ति के माध्यम से, सूज़ौ जिंग फेंग और अन्य प्रसिद्ध आईसी पैकेजिंग और परीक्षण कंपनियों - उच्च अंत पैकेजिंग उपकरण के क्षेत्र में, बिजली के उपकरणों डिवीजन स्थानीय आपूर्ति क्षमता का एक पूरा सेट का गठन किया है।
'ग्यारहवीं पांच', 02 परियोजनाओं के समर्थन के साथ के बाद से, बिजली के उपकरणों डिवीजन 300 मिमी पतली वेफर पतले और चमकाने मशीन पैकेजिंग उपकरण और कोर प्रौद्योगिकी और अन्य प्रौद्योगिकी और उत्पाद विकास परियोजनाओं के प्रमुख घटक कार्य शुरू किया है।
आज, बिजली के उपकरण अनुसंधान एवं विकास प्रभाग फ्लिप चिप bonder, स्वचालित वेफर thinning मशीन, स्वत: परिशुद्धता dicing मशीन प्रमुख घरेलू और अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर, और स्वतंत्र अनुसंधान और उन्नत पैकेजिंग उपकरणों के विकास और एकीकृत परिपथ प्रौद्योगिकी उपकरणों का निर्माण स्थानीय स्तर पर घरेलू एकीकृत सर्किट पैकेजिंग उपकरण की स्थिरता और विश्वसनीयता में लगातार सुधार करने के लिए लाइन को सत्यापित करें, एक अच्छा मंच प्रदान करें।
लियू जिडोंग ने कहा, 'उपकरण के विकास के समय, हमें प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर उपकरणों के डिजाइन और निर्माण की जरूरत है, और लगातार प्रक्रिया की पुष्टि करें'।
वर्तमान में, इस प्रक्रिया को मान्यता पैकेजिंग उपकरण तीन प्रभाव शामिल लाइन: सबसे पहले, सत्यापन उपकरण, सत्यापन प्रक्रिया, पतले होने, dicing, फ्लिप चिप, तार संबंध और अन्य उपकरण लाइन की स्थिरता, अनुकूलनशीलता की विश्वसनीयता सत्यापित करने के लिए, इस प्रक्रिया मूल्यांकन सत्यापन, दूसरा, उपकरण बड़े पैमाने पर उत्पादन की पुष्टि उपकरणों की एक बैच वितरित करने के लिए क्षमता बढ़ाने के लिए है, तीसरे लाइन में स्थानीय क्षमता, अनुभव के संचय की कुल समाधान प्रदान करने के मजबूत करने के लिए है।
जिम्मेदारी खेलने के लिए कॉल, मिशन भविष्य का नेतृत्व।
विद्युत उपकरण प्रभाग इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उपकरण के क्षेत्र में राष्ट्रीय टीम के रूप में, उपकरण जिम्मेदारी को बनाए रखने के देश की सेवा करने, उच्च अंत इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों शक्तियों उपकरण वजन 'बनाने के लिए होगा, भविष्य की Guoxin आधारशिला, कोर एकीकृत परिपथ निर्माण उपकरणों के कब्जा, कुंजी प्रौद्योगिकी, बिजली के उपकरणों डिवीजन होगा के बारे में बनाया वैज्ञानिक और तकनीकी नवाचार और औद्योगिक निवेश व्हील ड्राइव, सतत प्रयासों का पालन। उपकरण के आसपास और उपकरण उद्योग समर्थन में संबंधित उद्योगों, औद्योगीकरण के स्तर,,, पूरे भीतर पहुँच के माध्यम से बढ़ाने के संसाधनों इकट्ठा निर्माण बीजिंग आईसी उपकरण और औद्योगिक नवाचार केंद्र के प्रयासों आधार, चीन बिजली प्रभाग (शांक्सी) इलेक्ट्रॉनिक सूचना प्रौद्योगिकी नवाचार औद्योगिक पार्क और चांग्शा फोटोवोल्टिक उपकरण, सेवाओं, राष्ट्रीय और स्थानीय विकास में औद्योगिक पार्क, उसी समय बुद्धिमान इलेक्ट्रॉनिक विनिर्माण उप क्षेत्र मानकों, बुद्धिमान निर्माण उपकरणों और बुद्धिमान निर्माण प्रणाली के समाधान पर खेती करने की क्षमता पर यह चीन में मुख्यधारा के स्मार्ट विनिर्माण रीढ़ उद्यमों और बुद्धिमान विनिर्माण प्रणाली समाधान प्रदाताओं में से एक बन गया है।