28-nm-Ionenimplanter in der SMIC-12-Zoll-Produktionslinie
200mmCMP Ausrüstung in SMIC Produktionslinie für Prozessvalidierung
PERC hocheffiziente photovoltaische Zelle intelligente Herstellung Produktionslinie von Core Smart Equipment Lokalisierungsrate von 91,8%
Vor kurzem hat die elektrische Ausrüstung Electronics Group Co., Ltd (im Folgenden bezeichnet als elektrische Geräte Branch) ein gute Nachricht, Chinas erster selbst entwickelte Strahl Ionenimplantierungsgeräts in mehr als 2 Millionen in SMIC großer stetiger Fluss Blatt Produktionslinie, die erste Stufe 200mmCMP Ausrüstung Umsatz erzielt. diese wird die elektrische Ausrüstung der Division getragen ‚sehr großen Maßstab Herstellung integrierte Schaltungen und kompletten Prozess‘ große Wissenschaft und Technologie (nachfolgend als 02 Sonder) erreichte signifikante Ergebnisse in Miniatur.
9 Jahre hat elektrische Equipment Division 02 spezielle '90 -65nm großen Winkel Ionenimplantierung Maschinenentwicklung und Industrialisierung ‚‘ Verpackungsvorrichtung Schlüsselkomponenten und Kerntechnologie ‚'45 -22nm großen Strahl niedriger Energie Ionenimplantiervorrichtung Entwicklung und Industrialisierung‘ 'unternommen 28-14nm und komplette Sätze der Poliervorrichtung, Werkstoffindustrie ‚‘ 300mm dünne Waferdünnung Poliermaschine Entwicklung und Industrialisierung Projekte.
9 Jahre, mit der Unterstützung von 02-Projekten, elektrischen Geräte-Division durch die Ionenimplantiervorrichtung gebrochen, eine große Anzahl von Forschungs chemisch-mechanischer Poliervorrichtung (CMP) und so schwierig IC Schlüsselausrüstung Kerntechnologie und stark zu treiben; 146 hergestellte Erfindung Patente Zugriff auf Provinz-und Minister Auszeichnungen 22; gebaut SEMI Standard Ionenimplantierungsgeräts Volumen Fertigungsplattform entspricht, die Einrichtung von Post-Doc-Forschung; CMP F & E-zugelassene Plattform, um die ‚Beijing chemisch-mechanischen Ausrüstung Engineering Technology Research Center Einebnungsprozesses‘; Domestic erste Ionenimplantierer, 200mmCMP Ausrüstung in die SMIC große Produktionslinie, moderne Verpackungsanlagen mit integrierten Service-Fähigkeiten, Zugang zu fortschrittlichen Verpackung führenden Unternehmen ......
Beschreiben Sie mit Bedacht die Verantwortung und Verantwortung des Grundsteines
IC-Chip ist der Kern des Grundsteins des Informationszeitalters, integrierte Schaltung Fertigungstechnik auf höchstes Niveau in der heutigen Welt der Ultrapräzisionsfertigung darstellt, hat integrierte Schaltung Industrie eine strategische Industrie, die Auswirkungen der sozialen, wirtschaftlicher und Verteidigung der Sicherheit und umfassenden Wettbewerbsfähigkeit worden.
Da jedoch die IC-Industrie kapitalintensiven, technologieintensiven, personalintensive Funktionen, lange Zeit, Chinas IC-Industrie hat zu verschiedenen Einschränkungen in der westlichen erweiterte Fertigungsanlagen unterzogen worden, Materialien und Prozessen, der High-End-Chip ist in erster Linie abhängig von Importen. Chinas jährliche Produktion von integrierten Schaltkreisen Produkte für viele Jahre mehr als 200 Milliarden US-Dollar, mehr als Öl zu den größten importierten Produkten zu werden.
Um die Entwicklung von unabhängiger Innovation zu erreichen, startete der Staat 02 Projekte, die wichtigste Ausrüstung, Technologie und Material Innovation im Jahr 2008.
Zhang Boxu, Direktor der Beijinger Kommission mit Schreiben, der High-End-Geräte und Materialien Industrie-Kette von Grunde auf die Lücken, Fertigungstechnik und Verpackung Integration von schwachen Crescendo in der Welt zu füllen im internationalen Wettbewerb teilnehmen zu können, zeigt, dass das nationale wichtigste wissenschaftliche und technologische Innovation System integrierte Schaltung Fertigungsphase zu schaffen In den letzten Jahren, der starken Entwicklung der chinesischen IC-Industrie, haben große Projekte eine bedeutende Rolle bei der Innovation und der technischen Unterstützung gespielt.
In 02 spezielle High-End-Geräteforschung hat elektrische Ausrüstung eine zentrale Rolle gespielt.
Elektro-Division mit China Electronics Technology Group Corporation ausgestattet (im Folgenden bezeichnet als China Electric Abteilung), eine hundertprozentige Tochtergesellschaft, die im Jahr 2013 gegründet, integriert durch die China Electric Abteilung zwei, fünfundvierzig und achtundvierzig und 11 von der Holdinggesellschaft , Über Peking, Taiyuan, Changsha, Shanghai und anderen sechs Provinzen und acht Parks.
Seit seiner Gründung hat das Banner der Nationalmannschaft der Elektronikfertigung Ausrüstung elektrische Ausrüstung Abteilung Aufrechterhaltung, um die Fähigkeit, neue Rechnung vorzutragen, um Härten zu ertragen, das Engagement betont, ‚Jahrzehnt Schwert‘ Ausrüstung ist bereit, den Geist zu halten, in Übereinstimmung mit dem ‚Schlüssel-Durchbruch, Plattformunterstützung, Teilsätze von integrierten Dienstleistungen‘ Entwicklung von Ideen, um sie an Innovation und Entwicklung, die dich auf dem zivil-militärische Integration, wahre Ausrüstung das Land, die Erfassung die Schlüsseltechnologie der Herstellung integrierter Schaltkreise Schlüsselausrüstung Ionenimplantiervorrichtung, chemisch-mechanisches Polieren Ausrüstung, etc. zu dienen, eine Reihe von Einschränkung Chinas Entwicklung von Selbstkontrolle militärischer elektronischer Komponenten zu lösen Würgegriff ‚Frage, die rasche Entwicklung neuer Halbleiter und elektronische Bauelemente-Industrie zu unterstützen und beschreiben die Zuständigkeiten und Verantwortlichkeiten Wiegen zu spielen.
Unter Berufung auf Jahre gesammelten Geschick IC Kern Ausrüstung und militärischer Forschung und Produktionstechnik Erbe, gebildet Elektroabteilung ein High-End-Display-Geräte, neue Energie Photovoltaik, Batteriematerialien und anderen pan-Semiconductor Equipment und Teilsätze von integrierten Services-Fähigkeiten, eine wesentliche Verbesserung der Ausrüstung Lokalisierungsrate. zur Zeit der große inländische IC-Ausrüstung, die größte High-End-Display-Ausrüstung, Solarfertigungsanlagen, Batteriematerialien Herstellung Ausrüster, mit Teilmengen von integrierten Schaltungen und Systemen Integrationsfunktionen, mit einer kompletten Photovoltaik-Industrie-Kette und der gesamten Linie der Turnkey-Funktionen.
Brechen das Monopol einer inländischen Marke Ionenimplantierungsgeräts Schmieden
Durchbrüche in Schlüsseltechnologien Erfindung 101 internationale Patente patentierten und hat eine Reihe von Produkten für SMIC 90nm, 55nm, 40nm, 28nm Prozess Produktionslinie erreicht ...... Dies wird elektrische Ausrüstung Abteilung 02 Sonder zwei Ionenimplantierungsgeräts R & D getragen das Projekt erzielte einige Ergebnisse.
Ionenimplantiervorrichtung ist von kritischer Kern integrierte Schaltungsherstellungsausrüstung - in erster Linie der injizierten Partikel in das Halbleitermaterial, wodurch die Leitfähigkeit des Halbleitermaterials zu steuern, um dadurch eine Grundeinheit einer PN-Übergang integrierte Schaltungsvorrichtung bilden und dergleichen.
Als einziger Satz Forschung und Entwicklung, Fertigung, Dienstleistungen in eines des Ionenimplantiervorrichtung Lieferanten von elektrischen Geräten in der Abteilung übernahmen 02 Projekte, Forschung und Entwicklung in der Ionenimplantiervorrichtung, ein Jahr auf ein neues Niveau.
2014, 12 Zoll in der Strahlmaschine Ionenimplantation mit hervorragenden Grad der Akzeptanz durch die nationale Umsetzung der 02 spezielle Management-Büroorganisation. Bis zum Jahr 2015 die SMIC die 55nm, 45nm und 40nm Low-Volume-Produkt Prozessvalidierung, Taichung inländischen ersten Strahl vollendet hat Strom Ionenimplantierungsgeräts erste Million Massenproduktion von Wafern über eine zu erreichen. bis zum Jahr 2016 die Einführung neuer Modelle, um den High-End-Technologie 45-22nm großen Strahl niedriger Energie Ionenimplantiervorrichtung, der Strahl, Niedrigenergiestrahl große Mengen von Produkten in IC verwenden gerecht zu werden große Linie. 2017 Ionenimplantierungsgeräts Volumen Produktionsanlage und Prozesslaborbedingungen und in Betrieb genommen, mit dem industriellen Plattformen SEMI-Standard, Jahreskapazität von 50 entsprechen, und die Anwendung von Informationsmanagementsystemen Ionenimplantierungsgeräts Serienfertigung Qualitätskontrolle während zu erreichen Und zurückverfolgen.
‚Plot dicken Synthesizer, Für die Ausrüstung der verarbeitenden Industrie, nicht nur auf die Entwicklung eines einzelnen Geräts, komplette Sätze der Versorgung in einem bestimmten Bereich zu konzentrieren, eine Plattform der Produktionskapazität bilden, ist wichtiger.‘ Vorsitzender und Parteisekretär Liu Jidong betonte, elektrische Geräte Abteilung unabhängige Forschung und Entwicklung von Ionenimplantierungsgeräts den High-End-Markt zu brechen durch die Vereinigten Staaten und Japan, die Situation, die Schaffung Ionenimplantierungsgeräts inländische Marken monopolisieren.
Zero Durchbruch inländischen 200mmCMP geben SMIC Produktionslinie Validierung
21. November, elektrische Geräte, unabhängige Forschungs- und Entwicklungsabteilung 200mmCMP Verkehrsflugzeug interne Tests abgeschlossen, schickte SMIC Tianjin an die Firma Online-Verifikation. Dies ist das erste Mal der heimische integrierte Schaltungseinrichtung 200mmCMP groß angelegte Produktionslinie, effektive Lösung für die Einschränkungen der chinesischen IC-Industrie gibt unabhängige Steuerbare Engpässe bei der Entwicklung.
CMP ist eine der sieben Schlüsselvorrichtungen bei der Herstellung integrierter Schaltungen für Planarisierungs- und Kupferverbindungsprozesse.
Elektrische Abteilung Ausrüstung Schwierigkeiten, beide Ende der Kraft. Im Bär zweiten Fünf "'28 -14nm 02 spezielle Polierverfahren und komplette Sätze der Ausrüstung, Materialien Industrie‚Projekt zur gleichen Zeit, die dringende Notwendigkeit für den Binnenmarkt, unabhängige Investment-Research 200mmCMP kommerzielle Ausrüstung, die Bildung von 300mm, 200mm Ausrüstung R & D gehen Hand in Hand, gegenseitige Unterstützung Situation.
Brechen mehr als 10 Schlüsseltechnologien, die Fertigstellung der technischen Verbesserung von mehr als 50, und schließlich im Jahr 2017: Von Anfang Januar 2015 die Elektroabteilung CMP Ausrüstung R & D Team mit unzähligen schlaflose Nächte, die letzte Bewässerung Blumenindustrie des CMP-Ausrüstung ausgestattet August erfolgreich Chinas erste völlig unabhängige Rechte an geistiges Eigentum 200mmCMP Verkehrsflugzeuge, gelungen, das Monopol ausländischer Technologie Blockade. durch einen strengen zehntausend ‚Marathon‘ Test, kann das Gerät vergleichbar mit den aktuellen internationalen ähnlichen Geräten entwickelt.
Es wird berichtet, dass in den nächsten 6 Monaten, 200mm CMP Ausrüstung, um den Test der Großserienproduktion, Zuverlässigkeit und Konsistenz der Ausrüstung formell zu akzeptieren, einer strengen Prüfung unterzogen werden.
Komplette Sätze von Advanced Packaging Supply Key-Ausrüstung Batch an die führenden Unternehmen angewendet
Verpackungsanlagen einen Gesamtumsatz von mehr als 2.000 Sets, lange Power-Technologie hat sich in den Reihen, durch reiche Micro-Power, Suzhou Jing Fang und anderen bekannten IC-Packaging und Testen Unternehmen angewandt worden - im Bereich der High-End-Verpackungsanlagen, elektrische Geräte Division bildeten eine komplette Reihe von lokalen Versorgungskapazität.
Seit dem 11. Fünf-Jahres-Plan Zeitraum, mit der Unterstützung von 02 Sonderprojekt, hat die elektrische Ausrüstung 300 mm ultra-dünnen Wafer Ausdünnung und Poliermaschine und Verpackungsausrüstung Schlüsselkomponenten und Kerntechnologien und Produktentwicklungsprojekte durchgeführt.
Heute, elektrische Geräte R & D Abteilung Flip-Chip-Bonder, automatische Waferdünnung Maschine, automatische Präzisions-Stanzmaschine führendes nationale und internationales Advanced Level, und unabhängige Forschung und Entwicklung von fortschrittlichen Verpackungsanlagen und dem Bau von integrierten Schaltungstechnik Ausrüstung vor Ort Überprüfen Sie die Linie, um die Stabilität und Zuverlässigkeit der inländischen integrierten Schaltung Verpackungsanlagen kontinuierlich verbessern eine gute Plattform bieten.
"Zum Zeitpunkt der Entwicklung der Ausrüstung müssen wir Ausrüstung basierend auf den Prozessanforderungen entwerfen und herstellen und den Prozess kontinuierlich überprüfen", sagte Liu Jidong.
Derzeit Linie Prozessvalidierung Verpackungsanlagen drei Effekte aufweist: eine erste, die Verifikationsvorrichtung, den Verifikationsprozess, die Ausdünnung, Vereinzeln, Flip-Chip, Drahtbonden und andere Geräte, die Stabilität der Leitung, um zu überprüfen, um die Zuverlässigkeit der Anpassungsfähigkeit, der Prozess Beurteilung Validierung, die zweite ist die Vorrichtung Massenproduktion, verbessern die Fähigkeit zu überprüfen, eine Charge von Ausrüstung zu liefern, drittens ist lokaler Kapazitäten in Linie, um die Ansammlung von Erfahrung zu bieten Gesamtlösungen zu stärken.
Nehmen Sie die Verantwortung für die Berufung, Mission, um die Zukunft zu führen.
Elektrische Ausrüstung der Division als die Nationalmannschaft im Bereich der Elektronikfertigung Ausrüstung, die Ausrüstung, die Verantwortung zu wahren, das Land zu dienen, High-End-elektronische Geräte Befugnisse Wägetechnik "zu schaffen, schaffte Guoxin Stein für die Zukunft, um die Erfassung der Kern integrierte Schaltung Fertigungseinrichtungen, Schlüsseltechnologien, elektrische Geräte Division sich an den wissenschaftlichen und technologischen Innovation und Investitionen der Industrie Radantrieb, kontinuierliche Anstrengungen. um Ausrüstung und verwandte Industrien in der Geräteindustrie Unterstützung, die Bemühungen um den Grad der Industrialisierung, durch Öffentlichkeitsarbeit im ganzen zu verbessern, Ressourcen zu sammeln, bauen Peking IC Ausrüstung und industrielle Innovationszentrum zugleich die Fähigkeit, intelligente elektronische Fertigung Subsektor Standards, intelligente Fertigungsanlagen und intelligente Fertigungssysteme, Lösungen zu pflegen; Basis, China Elektroabteilung (Shanxi) elektronische Informationstechnologie Innovation Industriepark und Industriepark in Changsha Photovoltaik-Anlagen, Dienstleistungen, nationalen und lokale Entwicklung es hat Lösungsanbieter eine der Mainstream der intelligenten Fertigungs Unternehmen, intelligente Fertigungssysteme geworden.