Implanteur d'ions 28nm dans le site de ligne de production SMIC 12 pouces
L'équipement de 200mmCMP dans la chaîne de production de SMIC pour la validation de processus
PERC ligne de fabrication de la cellule photovoltaïque efficace noyau taux de localisation de l'équipement à puce intelligente de 91,8%
Récemment, l'équipement électrique Electronics Group Co., Ltd (ci-après dénommée Direction générale des équipements électriques) bonnes nouvelles, d'abord auto-développé par faisceau ionique implanteur dans plus de 2 millions de la Chine dans SMIC grande ligne de production de feuilles de flux constant, la première étape 200mmCMP Les ventes de matériel atteint. ce qui supporte la charge Division de l'équipement électrique « grande échelle d'équipements de fabrication de circuits intégrés et des ensembles complets de » grands enjeux scientifiques et de la technologie (ci-après dénommés 02 spécial) ont obtenu des résultats significatifs en miniature.
9 ans, Division de l'équipement électrique a entrepris 02 spécial '90 -65nm grand angle ion développement de la machine d'implantation et d'industrialisation « » dispositif de conditionnement de composants principaux et la technologie de base « '45 -22nm large faisceau de faible développement de l'implanteur d'ions d'énergie et de l'industrialisation » ' 28-14nm et des ensembles complets de polissage, industrie des matériaux « » 300mm mince développement de la machine à polir l'amincissement de la plaquette et l'industrialisation des projets ».
9 ans, avec le soutien de 02 projets, Division de l'équipement électrique a franchi le dispositif d'implantation d'ions, un grand nombre d'appareils de recherche chimique de polissage mécanique (CMP) et si difficile à conduire la technologie de base du clavier de l'équipement IC et forte; fait 146 brevets d'invention , l'accès aux prix provinciaux et ministériels 22, construit conformément à la plate-forme de fabrication de volume implanteur ionique SEMI standard, la mise en place de la station de recherche post-doctorale; CMP R & plate-forme D approuvé « centre de recherche technologique de l'ingénierie Beijing équipement de traitement de planarisation mécano-chimique »; premier implanteur ionique domestique, équipement 200mmCMP SMIC pour entrer des lignes de production à grande échelle, des équipements d'emballage de pointe avec des capacités de services intégrés, d'entrer dans les entreprises d'emballage avancées nationales ......
Décrivez avec diligence la responsabilité et la responsabilité de la première pierre
puce de circuit intégré est au cœur de la pierre angulaire de l'ère de l'information, la technologie de fabrication de circuits intégrés représente le plus haut niveau dans le monde d'aujourd'hui de la fabrication de haute précision, l'industrie des circuits intégrés est devenue une industrie stratégique, l'impact de la sécurité sociale, économique et de la défense et de la compétitivité globale.
Toutefois, étant donné les caractéristiques secteur des circuits intégrés à forte intensité capitalistique, à forte intensité technologique, le personnel à forte intensité, depuis longtemps, l'industrie des circuits intégrés de la Chine a été soumis à diverses contraintes dans les équipements de fabrication de pointe Ouest, matériaux et procédés, la puce haut de gamme dépend essentiellement des importations. La production annuelle de la Chine des produits de circuits intégrés depuis de nombreuses années plus de 200 milliards de dollars américains, plus de pétrole pour devenir les plus grands produits importés.
Afin de réaliser l'innovation et le développement indépendant, en 2008, l'état a commencé le projet spécial de 02 et s'est concentré sur l'innovation indépendante de l'équipement, du processus et des matériaux.
Zhang Boxu, directeur de la Commission municipale de Beijing par lettre, ladite chaîne de l'industrie des équipements haut de gamme et des matériaux à partir de zéro pour combler les lacunes, la technologie de fabrication et l'intégration de paquet de crescendo faible au monde à participer à la compétition internationale, montre que le système scientifique national majeur et l'innovation technologique pour créer intégrée étape de fabrication de circuits Au cours des dernières années, le développement vigoureux de l'industrie des circuits intégrés en Chine, les grands projets ont joué un rôle important dans l'innovation et le soutien technique.
En 02, la recherche sur les équipements haut de gamme, l'équipement électrique a joué un rôle central.
Division électrique est équipée de la Chine Electronics Technology Group Corporation (ci-après dénommée la Chine Electric Division), une filiale en propriété exclusive, établie en 2013, intégré par la Division électrique en Chine deux, quarante-cinq et quarante-huit et 11 de la société holding , À travers Beijing, Taiyuan, Changsha, Shanghai et six autres provinces et huit parcs.
Depuis sa création, la division d'équipements électriques confirmant la bannière de l'équipe nationale des équipements de fabrication de produits électroniques, pour faire avancer la capacité de supporter les épreuves, mettant l'accent sur le dévouement, l'équipement « épée décennie » est prêt à adhérer à l'esprit, conformément à la « percée clé, support de plate-forme, des ensembles partiels de services intégrés » le développement d'idées, adhérer à l'innovation et le développement, d'adhérer à l'intégration civilo-militaire, soutenir l'équipement pour servir le pays, capturant la technologie clé de implanteur d'ions d'équipement clé de fabrication circuit intégré, équipement de polissage mécano-chimique, etc., pour résoudre un certain nombre de restreindre le développement de la Chine de composants électroniques militaires auto-contrôle étrangle la main « question, soutenir le développement rapide des nouvelles industries de semi-conducteurs et de composants électroniques, et décrire les pouvoirs et les responsabilités pesant jeu.
En se fondant sur des années de compétences accumulées IC équipement de base et le patrimoine de la recherche et de la technologie de production militaire, Division électrique formé d'un équipement d'affichage haut de gamme, de nouveaux matériaux photovoltaïques d'énergie, la batterie et d'autres équipements pan-semi-conducteurs et des ensembles partiels de capacités de services intégrés, une mise à jour importante du taux de localisation de l'équipement. actuellement le principal équipement IC domestique, le plus grand équipement d'affichage haut de gamme, l'équipement de fabrication photovoltaïque, matériaux de batterie fournisseurs d'équipement de fabrication, avec des ensembles partiels de capacités de circuits intégrés et de l'intégration des systèmes, avec une chaîne de l'industrie photovoltaïque complète et la gamme complète des capacités clés en main.
Briser le monopole de forgeage machine d'implantation ionique fait marque
Clés percées dans les technologies, invention brevetée 101 brevets internationaux, et a réalisé une série de produits pour SMIC 90nm, 55nm, 40nm, 28nm processus de ligne de production ...... C'est la division à la charge de l'équipement électrique 02 spécial deux implanteur d'ions R & D Quelques réalisations du projet
Implanteur d'ions est de noyau critique matériel de fabrication du circuit intégré - principalement les particules injectées dans le matériau semi-conducteur, commandant ainsi la conductivité du matériau semi-conducteur, formant ainsi une unité de base d'un dispositif de circuit intégré à jonction PN et analogues.
Comme la seule recherche et le développement d'un ensemble, la fabrication, les services dans l'un des fournisseurs de implanteur ionique des équipements électriques de la Division ont entrepris 02 projets, recherche et développement dans le implanteur d'ions, un an à un nouveau niveau.
2014, 12 pouces de faisceau machine à implantation ionique avec un excellent niveau d'acceptation par la mise en œuvre nationale de 02 l'organisation du bureau de gestion spéciale. D'ici 2015, le SMIC a terminé le 55nm, 45nm et 40nm processus de produits à faible volume de validation, Taichung premier domestique faisceau premier courant d'implantation ionique pour obtenir une production de masse de plaquettes plus d'un million. en 2016, l'introduction de nouveaux modèles pour répondre à la technologie haut de gamme 45-22nm large faisceau de faible implantation ionique d'énergie, le faisceau, faisceau de faible énergie de grandes quantités de produits utilisés dans l'IC grande ligne. 2017, l'ion usine de fabrication de volume implanteur et des conditions de laboratoire de processus et mis en service, avec des plates-formes industrielles conformes à la norme SEMI, la capacité annuelle de 50, et l'application des systèmes de gestion de l'information pour obtenir le contrôle de la qualité de fabrication de volume implanteur ionique tout au long Et retracez.
« PLOT Synthétiseur épais, pour l'équipement pour l'industrie de la fabrication, non seulement de se concentrer sur le développement d'une seule pièce d'équipement, des ensembles complets de l'offre dans une certaine plage, formant une plate-forme de la capacité de production est plus importante. » Président et secrétaire du parti Liu Jidong ont souligné, Division des équipements électriques La recherche indépendante et le développement d'implants ioniques ont brisé le monopole du marché haut de gamme par les États-Unis et le Japon, créant ainsi un implanteur d'ions de marques nationales.
Zero percée domestique 200mmCMP entrer la validation de la ligne de production SMIC
21 novembre matériel électrique, le service de recherche et de développement indépendant 200mmCMP avions commerciaux terminé les tests internes, SMIC Tianjin envoyé à la société de vérification en ligne. Ceci est la première fois pour entrer dans le dispositif de circuit intégré domestique 200mmCMP à grande échelle ligne de production, solution efficace aux contraintes de l'industrie de la Chine IC indépendante Goulots d'étranglement contrôlables du développement.
CMP est l'un des sept dispositifs clés dans la fabrication de circuits intégrés pour les processus de planarisation et d'interconnexion de cuivre.
difficultés d'équipement Division électrique, les deux extrémités de la force. Dans l'ours « deuxième cinq » '28 -14nm 02 processus de polissage spécial et ensembles complets d'équipement, l'industrie des matériaux « projet en même temps, le besoin urgent pour le marché intérieur, recherche sur les placements 200mmCMP équipement commercial, la formation de 300mm, 200mm R & D de l'équipement vont de pair, la situation de soutien mutuel.
Dès le début de Janvier 2015, la division électrique équipe CMP équipement de R & D équipé d'un nombre incalculable de nuits sans sommeil, l'industrie des fleurs d'arrosage final de l'équipement CMP: Briser plus de 10 technologies clés, l'achèvement de l'amélioration technique de plus de 50, et enfin en 2017 Août a développé avec succès les premiers droits de propriété intellectuelle totalement indépendant de la Chine des avions commerciaux 200mmCMP, a réussi à briser le monopole du blocus de la technologie étrangère. par un test strict dix mille « marathon », le dispositif peut être comparable à l'équipement similaire international actuel.
Il est rapporté que, dans les six prochains mois, 200mm équipement d'essai CMP d'être officiellement accepté la production à grande échelle, la fiabilité des équipements et la cohérence sera soumis à un examen rigoureux.
Ensembles complets de l'offre avancée d'équipement de clé d'approvisionnement par lots appliqué aux entreprises principales
équipement de conditionnement total des ventes de plus de 2000 jeux, longue technologie de l'énergie a été appliquée par lots, par le biais de micro-alimentation riche, Suzhou Jing Fang et autres emballages IC bien connu et les entreprises de test - dans le domaine des équipements d'emballage haut de gamme, Division de l'équipement électrique a formé un ensemble complet de la capacité d'approvisionnement local.
Depuis le « onzième Five », avec le soutien de 02 projets, Division des équipements électriques a entrepris 300mm mince amincissement de la plaquette et machine à polir les équipements d'emballage et les composants clés de la technologie de base et d'autres projets de technologie et de développement de produits.
Aujourd'hui, les équipements électriques R & D flip chip Division Bonder, machine à amincissement de la plaquette automatique, précision automatique de la machine de découpage en dés de premier plan de niveau avancé national et international, et à la recherche indépendante et le développement d'équipements d'emballage de pointe et la construction d'équipements de technologie de circuit intégré localement Vérifiez la ligne, afin d'améliorer en permanence la stabilité et la fiabilité de l'équipement d'emballage de circuit intégré domestique fournir une bonne plate-forme.
« Lorsque le processus de développement de l'appareil devra être la conception des équipements d'expansion axée sur la demande et la fabrication, et de continuer à mener à bien la validation du processus. » Liu a dit Jidong.
À l'heure actuelle, la ligne de l'équipement d'emballage de validation de processus comprenant trois effets: d'abord, le dispositif de vérification, le processus de vérification, l'amincissement, la découpe, flip-chip, une liaison par fil ou autre appareil pour vérifier la stabilité de la ligne, la fiabilité de la capacité d'adaptation, le processus la validation de l'évaluation, le second est de vérifier la production de masse de l'appareil, d'améliorer la capacité à fournir un lot d'équipement, le troisième est de renforcer les capacités locales en ligne, l'accumulation d'expérience pour fournir des solutions globales.
Prendre la responsabilité d'appeler, la mission de diriger l'avenir.
Division des équipements électriques comme l'équipe nationale dans le domaine des équipements de fabrication de produits électroniques, l'équipement maintiendra la responsabilité de servir le pays, de créer des « puissances des équipements de pesage » équipement électronique haut de gamme, créé des pierres angulaires Guoxin de l'avenir, au sujet de la capture de l'équipement de fabrication de circuits intégrés de base, technologies clés, Division des équipements électriques seront adhérer à l'innovation scientifique et technologique et de propulsion de l'investissement industriel, des efforts continus. autour de l'équipement et des industries connexes dans l'équipement de soutien de l'industrie, les efforts pour améliorer le niveau d'industrialisation, par la sensibilisation dans l'ensemble, rassembler des ressources, construire Pékin équipements IC et centre d'innovation industrielle en même temps, la capacité de cultiver les normes du sous-secteur de la fabrication électronique intelligents, des équipements de fabrication intelligents et des solutions de systèmes de fabrication intelligents, la base, la Chine Division électrique (Shanxi) l'innovation des technologies de l'information électronique parc industriel et parc industriel de Changsha équipements photovoltaïques, les services, le développement national et local il est devenu l'un des traditionnels des entreprises de fabrication intelligents, fournisseur de solutions de systèmes de fabrication intelligents.