Debido a su material de alta dimensional que el cuerpo de la mesa, excelentes propiedades eléctricas, y otras propiedades de los espectáculos transparentes flexibles prometedores perspectiva en el campo del sensor de humedad. Disulfuro de molibdeno, que es un calcogenuro de metal de transición representado por un azufre debido a su excelente de aplicación características específicas del conmutador de corriente, se pueden proporcionar la movilidad de sus dispositivos electrónicos. Desde sí disulfuro de molibdeno es un semiconductor de tipo n, y por lo tanto, cuando las moléculas de agua adsorbida, que corresponde a su tipo p dopado, sus propiedades eléctricas exhibirá un cambio correspondiente en el uso de este principio puede ser utilizado para detectar un sensor de humedad exterior peso molecular del agua. Estudio del sensor de humedad de la etapa de disulfuro de molibdeno el tema principal de los restos de adhesivo del proceso mismo introduce la contaminación de la superficie del material, que afecta a la adsorción de moléculas de agua, resultando en una baja sensibilidad o tiempo de respuesta pobre y así sucesivamente. de este modo, la forma de obtener una alta sensibilidad, tiempo rápido de respuesta del disulfuro de molibdeno sensor de humedad limita la aplicación de las más el factor principal.
En respuesta a estos problemas, Instituto de Física, Academia China de Ciencias / Laboratorio Nacional de Beijing para Condensed Matter Physics (chips) la física y dispositivos nano grupo Laboratory N07 bajo la dirección del investigador Dr. Zhao Jing Zhang Guangyu, el uso de un nuevo método de proceso de separación de metales ha estado limpio, molibdeno superficie disulfuro del transistor de efecto de campo, con el fin de lograr una respuesta sensible a las moléculas de agua. este método de tratamiento es el uso de la fuerza entre el metal y el disulfuro de molibdeno es mucho mayor que la fuerza entre el sustrato y el oro, que puede ser el exceso de muestra de disulfuro de molibdeno completamente pelado del sustrato hacia abajo, al mismo tiempo asegura un aspecto limpio, eficaz con este método evita post-procesamiento, iones reactivos ataque químico a través de la superficie del disulfuro de molibdeno a la superficie del dispositivo efecto de los residuos de adhesivo en el rendimiento del dispositivo, por otro lado simplifica enormemente el proceso, para dar un transistor de efecto de campo que tiene una superficie de disulfuro de molibdeno UltraClean mejorar significativamente sus propiedades ópticas y eléctricas muestran que este método de procesamiento también desde otro aspecto la muestra resultante tenía un mejor rendimiento.
El disulfuro de molibdeno puesto que el transistor de efecto de campo obtenido por el método de este oro peeling con superficie muy limpio, es posible percibir la humedad ambiental sensible, mejora en gran medida la sensibilidad del disulfuro de molibdeno sensor de humedad. efecto de dopaje en las moléculas de agua, con Cuando la humedad relativa cambia de 0% a 35%, la resistencia tiene un aumento de casi 104, que es casi tres órdenes de magnitud mayor que la del sensor de humedad MoS2 anterior. la movilidad y la corriente de encendido-apagado relación también disminuye linealmente con el aumento de la humedad. además de tener una alta sensibilidad, ya que la superficie de disulfuro de molibdeno no hay enlaces colgantes, la adsorción de moléculas de agua es la adsorción puramente físico, por lo que el dispositivo puede ser fácilmente para la desorción, acortando efectivamente el tiempo de respuesta y el tiempo de recuperación, y 10s, respectivamente, hasta 60, y dichos dispositivos tiene una buena recuperabilidad, un mes después de la prueba de resistencia inicial no cambia sustancialmente, con un más largo Vida. Además, debido al crecimiento CVD del disulfuro de molibdeno se puede procesar una película uniforme para obtener una serie de rendimiento excelente del disulfuro Molibdeno array sensor de humedad, y por lo tanto juegan un papel en la orientación diferente distribución espacial fuera de la humedad, la monitorización en tiempo real de los cambios en la distribución de la humedad ambiental. Además, tiene una alta sensibilidad que el disulfuro de molibdeno es todavía un sensor de humedad sobre un sustrato flexible Buen trabajo, el rendimiento básico no cambia por la aplicación de cambios de estrés, que para futuras aplicaciones en el campo de los dispositivos electrónicos flexibles pueden proporcionar.
Tal sensor de humedad que tiene un disulfuro de molibdeno en base a la superficie de la muestra obtenida de procesamiento UltraClean alta sensibilidad, tiempo de respuesta y el tiempo de recuperación es, larga vida útil corta, las características de mayor resolución espacial, puede ser ampliamente utilizado en el futuro sistema de posicionamiento y un material de no contacto de dos dimensiones Campo de matriz de sensores flexible multifuncional Resultados relevantes publicados en "Materiales avanzados". Este trabajo ha sido los proyectos estratégicos de ciencia y tecnología piloto CAS Clase B, la Fundación Nacional de Ciencias Naturales de financiación.
Fig 1. (a) del proceso de métodos de procesamiento de dispositivo de oro de extracción. (B) de disulfuro de molibdeno buen efecto campo de matriz transistor de luz sustancialmente sobre un sustrato de sílice procesamiento de la figura.
La Fig. 2. (a) varía con el aumento de la curva característica de humedad de disulfuro de molibdeno salida FET. (B) la característica de transferencia de cambios con aumento de la humedad relativa. (C) la relación entre un cambio de resistencia que corresponde a la humedad relativa.
tiempo de respuesta de impulsos vida de un solo caso en el que la humedad del disulfuro de molibdeno sensor de humedad, tiempo de disulfuro de molibdeno 3. La Fig característica de respuesta del sensor de humedad. (A), respectivamente, y tiempo de decaimiento, y ~ 10 s ~ 60. (B) sensor de disulfuro de molibdeno humedad Prueba.
4. La Fig característica de respuesta espacio de disulfuro de molibdeno del sensor de humedad. (A) dedo de disulfuro de molibdeno se acerca al sensor de humedad, la resistencia aumenta de forma exponencial dispositivo disminuye con la distancia. (B), (c), respectivamente con el dispositivo externo array humedad Distribución de valores de distribución de resistencia y valores de humedad relativa calculados.
