आर्द्रता सेंसर। मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइ़ड के क्षेत्र जो क्योंकि उनके उत्कृष्ट का एक संक्रमण धातु chalcogenide एक सल्फर का प्रतिनिधित्व करती है में संभावना का वादा लचीला पारदर्शी शो के अन्य गुणों तालिका का ढांचा की तुलना में अपने उच्च आयामी सामग्री, उत्कृष्ट बिजली के गुणों, और के कारण वर्तमान स्विच के आवेदन विशिष्ट विशेषताओं, अपने इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की गतिशीलता प्रदान की जा सकती है। के बाद से मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड अपने आप में एक n- प्रकार अर्धचालक है, और इसलिए, जब adsorbed के पानी के अणुओं, अपने पी प्रकार के अनुरूप डाल दिया गया है, इसकी बिजली के गुणों से ही प्रक्रिया द्वारा प्रस्तुत की चिपकने वाला अवशेषों के मुख्य विषय मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड चरण की नमी सेंसर के इस सिद्धांत के उपयोग में एक इसी परिवर्तन दिखा रहे पानी आणविक भार के बाहर एक नमी संवेदक को महसूस करने में इस्तेमाल किया जा सकता है। अध्ययन सामग्री की सतह है, जो कम संवेदनशीलता या गरीब प्रतिक्रिया समय और जिसके परिणामस्वरूप पानी के अणुओं के सोखना को प्रभावित, के प्रदूषण इतने पर। इस प्रकार, एक उच्च संवेदनशीलता, आर्द्रता सेंसर मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड की तेजी से प्रतिक्रिया समय प्राप्त करने के लिए कैसे सबसे के आवेदन प्रतिबंधित मुख्य कारक है।
इन समस्याओं के जवाब में, भौतिकी संस्थान, चीनी अकादमी ऑफ साइंसेज / संघनित के लिए बीजिंग नेशनल लेबोरेटरी पदार्थ भौतिक विज्ञान (चिप्स) नैनो भौतिकी और उपकरणों शोधकर्ता डॉ झाओ जिंग जांग Guangyu, धातु अलग करना प्रक्रिया की एक नई पद्धति के उपयोग के निर्देशन में प्रयोगशाला N07 समूह साफ कर दिया गया है, क्षेत्र प्रभाव ट्रांजिस्टर की मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड सतह, ताकि पानी के अणुओं के लिए एक संवेदनशील प्रतिक्रिया प्राप्त करने के लिए। इस संसाधन विधि धातु और मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड के बीच बल का प्रयोग किया जाता है सब्सट्रेट और सोने के बीच बल की तुलना में बहुत अधिक है, जो हो सकता है अतिरिक्त मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड नमूना पूरी तरह से एक ही समय में, नीचे सब्सट्रेट से खुली सुनिश्चित करता है इस विधि के साथ एक साफ, प्रभावी पहलू से बचा जाता है के बाद प्रसंस्करण, प्रतिक्रियाशील आयन डिवाइस की सतह के लिए मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड की सतह के माध्यम से नक़्क़ाशी डिवाइस के प्रदर्शन पर चिपकने वाला अवशेषों का प्रभाव, दूसरे हाथ बहुत प्रक्रिया को सरल पर, एक मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड ultraclean सतह काफी सुधार अपने ऑप्टिकल और बिजली के गुणों को दिखाने वाले क्षेत्र प्रभाव ट्रांजिस्टर देने के लिए है कि इस प्रसंस्करण एक और पहलू से भी विधि जिसके परिणामस्वरूप नमूना एक बेहतर प्रदर्शन किया था।
क्षेत्र प्रभाव ट्रांजिस्टर इस सोने सुपर साफ सतह के साथ छीलने की विधि द्वारा प्राप्त के बाद से मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइ़ड, यह परिवेश नमी अनुभव करने के लिए संवेदनशील संभव है। बहुत नमी सेंसर मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड की संवेदनशीलता को बेहतर बनाता है, पानी के अणुओं पर प्रभाव डोपिंग, साथ नमी बढ़ जाती है, डिवाइस के माध्यम से वर्तमान में काफी कम हो जाती है, जब 35% 0% से सापेक्ष आर्द्रता में परिवर्तन, पिछले अध्ययनों मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड तक बढ़ आर्द्रता सेंसर की तुलना में लगभग 104 के प्रतिरोध वृद्धि परिमाण के लगभग तीन आदेश, इसी हैं गतिशीलता और वर्तमान पर बंद अनुपात भी नमी को बढ़ाने के साथ रैखिक कम हो जाती है।, एक उच्च संवेदनशीलता होने के अलावा में के बाद से मोलिब्डेनम की सतह कोई झूलने बांड डाइसल्फ़ाइड, पानी के अणुओं के सोखना विशुद्ध भौतिक सोखना है, तो डिवाइस को आसानी से किया जा सकता है तो desorption के लिए, प्रभावी ढंग से प्रतिक्रिया समय और वसूली समय है, और 10s छोटा क्रमश: 60 के दशक तक, और इस तरह के उपकरणों अच्छा वसूली, एक महीने के प्रारंभिक प्रतिरोध परीक्षण के बाद किया गया है एक लंबे समय तक साथ काफी हद तक परिवर्तन नहीं होता है, जीवन। इसके अलावा, सीवीडी मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड वर्दी विकास करने के लिए धन्यवाद, उत्कृष्ट गुण डाइसल्फ़ाइड की एक श्रृंखला प्राप्त करने के लिए संसाधित किया जा सकता मोलिब्डेनम नमी संवेदक सरणी, और इस तरह के परिवेश नमी वितरण में परिवर्तन के लिए नमी, वास्तविक समय की निगरानी के बाहर विभिन्न स्थानिक वितरण को लक्षित करने में एक भूमिका निभाते हैं। इसके अलावा, एक उच्च संवेदनशीलता जो मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड अभी भी एक लचीला सब्सट्रेट पर एक आर्द्रता सेंसर है होने अच्छी तरह से काम करते हैं, अपने प्रदर्शन में काफी तनाव लागू किया परिवर्तन नहीं किया गया है बदल गया है, जिससे भविष्य में लचीला इलेक्ट्रॉनिक्स उपकरण के क्षेत्र के लिए लागू करने के लिए संभावना प्रदान करते हैं।
इस तरह की एक नमी नमूना सतह पर आधारित एक मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड होने सेंसर ultraclean प्रसंस्करण उच्च संवेदनशीलता प्राप्त की, प्रतिक्रिया समय और वसूली समय कम, लंबे समय से सेवा जीवन, उच्च स्थानिक संकल्प विशेषताओं, व्यापक रूप से भविष्य पोजीशनिंग सिस्टम में इस्तेमाल किया जा सकता है और एक दो आयामी गैर-संपर्क सामग्री बहु समारोह लचीला सेंसर सरणी क्षेत्र। में प्रकाशित प्रासंगिक परिणाम "उन्नत सामग्री।" इस काम चीनी अकादमी वर्ग बी पायलट सामरिक विज्ञान और प्रौद्योगिकी परियोजनाओं, चीन के राष्ट्रीय प्राकृतिक विज्ञान फाउंडेशन द्वारा वित्त पोषित द्वारा समर्थित किया गया।
छवि 1. (क) सोने अलग करना उपकरण प्रसंस्करण विधियों की प्रक्रिया का। काफी हद तक एक सिलिका सब्सट्रेट प्रसंस्करण अंजीर पर प्रकाश की मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड अच्छा क्षेत्र प्रभाव ट्रांजिस्टर सरणी के (बी)।
अंजीर। 2. (क) मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड FET उत्पादन विशेषता नमी वक्र की वृद्धि के साथ (बी) (सी) बदलता रहता है। सापेक्ष आर्द्रता में वृद्धि के साथ परिवर्तन के हस्तांतरण विशेषता। सापेक्ष आर्द्रता के लिए इसी एक प्रतिरोध परिवर्तन के बीच संबंध।
एक भी केस की अवधि नाड़ी प्रतिक्रिया समय जहां नमी सेंसर मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड की नमी, मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड समय नमी सेंसर के 3. अंजीर प्रतिक्रिया विशेषता। (ए), क्रमशः, और क्षय समय, और ~ 10s ~ 60 के दशक। (बी) मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड आर्द्रता सेंसर परीक्षण।
4. अंजीर आर्द्रता सेंसर की अंतरिक्ष मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड प्रतिक्रिया विशेषता। (ए) मॉलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड उंगली आर्द्रता सेंसर पास जाते है, डिवाइस प्रतिरोध बढ़ जाती है तेजी से दूरी के साथ कम हो जाती है। (बी), (ग) में क्रमश: बाहरी उपकरण सरणी आर्द्रता प्रतिरोधों और वितरण प्राप्त के जवाब में गणना की वितरण मूल्य के सापेक्ष आर्द्रता मूल्यों।
