En raison de son matériau dimensionnelle élevée que le corps de la table, d'excellentes propriétés électriques, et d'autres propriétés de la montre transparentes flexibles prometteurs perspective dans le champ du capteur d'humidité. Disulfure de molybdène qui est un chalcogénure de métal de transition représenté par un atome de soufre en raison de leur excellente l'application des caractéristiques spécifiques du commutateur de courant, la mobilité de ses appareils électroniques peuvent être prévus. Depuis le disulfure de molybdène est lui-même un semi-conducteur de type n, et par conséquent, lorsque les molécules d'eau adsorbée, correspondant à son type p dopé, ses propriétés électriques présentera un changement correspondant dans l'utilisation de ce principe peut être utilisé pour détecter un capteur d'humidité à l'extérieur l'eau de poids moléculaire. Etude du capteur d'humidité de l'étape de disulfure de molybdène le sujet principal du résidu d'adhésif du procédé se présente la contamination de la surface du matériau, ce qui affecte l'adsorption des molécules d'eau, ce qui entraîne une faible sensibilité ou temps de réponse médiocre et ainsi de suite. ainsi, la façon d'obtenir une sensibilité élevée, un temps de réponse rapide du capteur d'humidité du disulfure de molybdène restreint l'application de la plupart Le facteur principal.
En réponse à ces problèmes, l'Institut de physique, Académie chinoise des sciences / Beijing Laboratoire national de matière condensée (puces) physique nano et appareils de laboratoire groupe N07 sous la direction du chercheur Dr Zhao Jing Zhang Guangyu, l'utilisation d'une nouvelle méthode de procédé de décapage de métaux a été propre, surface de disulfure de molybdène du transistor à effet de champ, afin d'obtenir une réponse sensible aux molécules d'eau. cette méthode de traitement est l'utilisation de la force entre le métal et le disulfure de molybdène est beaucoup plus grande que la force entre le substrat et l'or, qui peut être l'échantillon en excès de disulfure de molybdène complètement pelée à partir du substrat vers le bas, en même temps, assure un aspect propre et efficace avec cette méthode évite de post-traitement, gravure ionique réactive à travers la surface du disulfure de molybdène sur la surface du dispositif effet de résidu d'adhésif sur les performances du dispositif, d'autre part, simplifie considérablement le processus, pour donner un transistor à effet de champ ayant une surface de ultrapropre disulfure de molybdène améliore significativement ses propriétés optiques et électriques montrent que cette méthode de traitement a également un autre aspect, L'échantillon résultant a de meilleures performances.
le disulfure de molybdène puisque le transistor à effet de champ obtenu par le procédé de cet or pelage avec une surface très propre, il est possible de percevoir l'humidité ambiante sensible, améliore considérablement la sensibilité du disulfure de molybdène du capteur d'humidité. effet de dopage sur les molécules d'eau, avec Lorsque l'humidité relative passe de 0% à 35%, la résistance augmente de près de 104, ce qui est presque trois fois supérieur à celui du précédent capteur d'humidité MoS2 la mobilité et le courant de marche-arrêt rapport diminue linéairement avec l'augmentation de l'humidité aussi. en plus d'avoir une sensibilité élevée, étant donné que la surface du disulfure de molybdène pas de liaisons pendantes, l'adsorption de molécules d'eau est adsorption purement physique, de sorte que le dispositif peut être facilement pour la désorption, ce qui réduit efficacement le temps de réponse et le temps de récupération et 10s, respectivement, jusqu'à 60, et ces appareils a une bonne recouvrabilité, un mois après le test de résistance initiale ne change pas substantiellement, avec une plus longue Life.En outre, en raison de la croissance CVD de disulfure de molybdène film uniforme peut être traitée pour obtenir une série d'excellentes performances du disulfure matrice de molybdène du capteur d'humidité, et donc jouer un rôle dans le ciblage différent répartition spatiale à l'extérieur l'humidité, la surveillance en temps réel des changements dans la distribution de l'humidité ambiante. En outre, ayant une sensibilité élevée qui le disulfure de molybdène est encore un capteur d'humidité sur un substrat flexible Bon travail, les performances de base ne sont pas modifiées par l'application de changements de contrainte, ce qui pour les applications futures dans le domaine des appareils électroniques flexibles peut fournir.
Un tel capteur d'humidité ayant un disulfure de molybdène par rapport à la surface de l'échantillon obtenu à un traitement ultrapropre sensibilité élevée, le temps de réponse et le temps de récupération est courte, longue durée de vie, les caractéristiques de résolution spatiale plus élevée, peut être largement utilisé dans le système de positionnement futur et un matériau non-contact à deux dimensions zone de réseau de capteurs flexibles multi-fonctions. les résultats pertinents publiés dans les « matériaux avancés ». ce travail a été soutenu par les projets scientifiques et technologiques stratégiques pilote classe Académie chinoise B, financé par la Fondation nationale des sciences naturelles de Chine.
Figure 1. (a) du procédé de méthodes de traitement du dispositif d'extraction de l'or. (B) du réseau de transistors de disulfure de molybdène bon effet de champ de lumière sensiblement sur un traitement de substrat de silice Fig.
. La figure 2 (a) varie avec l'augmentation de la courbe d'humidité caractéristique de sortie du transistor FET de disulfure de molybdène. (B) la caractéristique de transfert de changements avec augmentation de l'humidité relative. (C) la relation entre un changement de résistance correspondant à l'humidité relative.
le temps de réponse d'impulsion de la vie d'un seul cas où l'humidité du disulfure de molybdène du capteur d'humidité, le temps de disulfure de molybdène 3. caractéristique de réponse figure du capteur d'humidité. (A), respectivement, et le temps de décroissance, et ~ 10s ~ 60s. (B) un capteur d'humidité de disulfure de molybdène Test.
4. caractéristique de réponse de disulfure de molybdène de l'espace de la figure du capteur d'humidité. (A) du doigt de disulfure de molybdène se rapproche du capteur d'humidité, la résistance dispositif augmente diminue de façon exponentielle avec la distance. (B), (c), respectivement à l'humidité de l'ensemble du dispositif externe Distribution des valeurs de distribution de résistance et des valeurs d'humidité relative calculées.
