La tecnología "SuperSizer", es decir, este año en Septiembre 2017 Exposición Internacional de Semiconductores (SEMICON Taiwán), ITRI demostró un "monitor de partícula nueva solución de generación".
La tecnología llamada "SuperSizer", el "Monitor de partículas de solución de nueva generación" presentado por ITRI en SEMICON Taiwan este año, utiliza tecnología de medición de partículas en suspensión en el aire en solución La monitorización de nanopartículas se rompe a través del límite de detección de 40 nm en la técnica anterior, y puede monitorizar continuamente el tamaño de partícula y la concentración de solución en el intervalo de 3 nm a 1000 nm en línea.
Este dispositivo no solo preseleccionó R & D Award R & D 100, y recibió pedidos de TSMC.