Технология SuperSizer, также известная как «Монитор частиц нового поколения», представленный ИТРИ на SEMICON Taiwan в сентябре этого года
Технология, называемая «SuperSizer», «Монитор частиц нового поколения», представленный ИТРИ на SEMICON в Тайване в этом году, использует технологию измерения частиц в воздухе в растворе Мониторинг наночастиц прорывается через границу обнаружения 40 нм в известном уровне техники и может непрерывно контролировать размер частиц и концентрацию раствора в диапазоне от 3 нм до 1000 нм в режиме онлайн.
Это устройство не только содержит краткий список R & D Award R & D 100 и получает заказы TSMC.