A tecnologia "SuperSizer", também conhecida como "New Generation Solution Particle Monitor", apresentada pela ITRI na SEMICON Taiwan em setembro deste ano
Intitulado tecnologia "SuperSizer", isto é, quando Exposição Internacional Semiconductor deste ano (SEMICON Taiwan), ITRI demonstrou um "novo monitor de partículas solução geração", que a tecnologia de medição de partículas de aerossol de solução de monitorização nanopartículas, quebrando o limite de detecção da técnica anterior, a 40 nm, tamanho de partícula e a concentração da solução pode ser em-linha de monitorização contínua de 3nm-1000nm.
Este dispositivo não só P & D Award nomeado americano R & D 100, e tem sido ordens TSMC.