"SuperSizer"기술, 즉 2017 년 국제 반도체 전시회 (SEMICON 대만), ITRI가 입증 9 월 올해는 "새로운 세대의 솔루션 입자 모니터를."
올해 SEMICON Taiwan에서 ITRI가 발표 한 "SuperSizer"라는 기술인 "차세대 솔루션 입자 모니터"는 솔루션에서 공기 중 입자 측정 기술을 사용합니다 나노 입자의 모니터링은 선행 기술에서 40nm의 검출 한계를 벗어나며, 3nm-1000nm 온라인 범위에서 용액의 입자 크기 및 농도를 연속적으로 모니터 할 수있다.
이 장치는 R & D 100 R & D 상장을 수주했을뿐만 아니라 TSMC 주문을 받았습니다.