"SuperSizer" la technologie, qui est, cette année en Septembre 2017 Salon International Semiconductor (SEMICON Taiwan), ITRI a démontré un "nouveau moniteur de particules de solution de génération."
La technologie appelée "SuperSizer", le "New Generation Solution Particle Monitor" présenté par ITRI à SEMICON Taiwan cette année, utilise la technologie de mesure de particules en suspension dans l'air en solution La surveillance des nanoparticules franchit la limite de détection de 40 nm dans l'art antérieur, et peut surveiller en continu la taille des particules et la concentration de la solution dans la plage de 3 nm à 1000 nm en ligne.
Cet appareil non seulement présélectionné R & D Award R & D 100, et a reçu des commandes de TSMC.