Полупроводниковый отжиг не является единственным средством охлаждения, но быстрый нагрев и охлаждение от нагревания до процесса охлаждения. Дизельная полупроводниковая пластина из-за включения примесей приведет к резким изменениям характера свойств материала пластины через процесс отжига, может восстановить кристаллический Структура, устраняйте дефекты.
Процесс отжига связан с выходом полупроводниковых продуктов. Взяв, например, 7-нанометрический процесс, температуру эпитаксиального тепла необходимо снизить до 600 градусов Цельсия или меньше во время процесса отжига. Чем меньше размер процесса, тем ниже требуемая температура и тенденция к дальнейшему развитию рынка снижается до Цельсия 450 градусов ниже.
В настоящее время технология «быстрого термического отжига» благодаря высокотемпературному процессу, легко способствующему термодиффузионному эффекту. Исследователь Института машиностроения и электротехнических систем Хуан Кунпин отметил, что «полупроводниковый микроволновый отжиг» непосредственно на кремниевой пластине путем микроволнового нагрева можно избежать Эффект тепловой диффузии для достижения низкотемпературного эффекта отжига, пакетная обработка нескольких пластин, более чем «быстрый термический отжиг», может только повысить эффективность одной пластины.