Negativo elemento de temperatura termistor de coeficiente de temperatura es una medida común y de control, medición de temperatura con alta precisión, alta sensibilidad, buena fiabilidad, bajo coste, larga vida útil, que es ampliamente utilizado en la industria aeroespacial, marina y aplicaciones civiles. A medida que la industria de la electrónica y el progreso de la tecnología de la información, el sistema moderno de información electrónica es hacia la miniaturización y la dirección integración monolítica. en termistores de cerámica a granel, termistor NTC sensor de temperatura de película delgada es más fácil de realizar la miniaturización como la integración en comparación El objetivo de los semiconductores, los circuitos integrados, los dispositivos micro-nano y otros campos tiene amplias perspectivas de aplicación.
Instituto Técnico Xinjiang de Física Laboratorio de Materiales Física y Química, Academia China de equipos de investigación dedicados de membrana materiales termistor NTC menudo Oi y componentes de la tecnología, las técnicas de deposición por láser pulsado el desarrollo., Una epitaxia de haz molecular láser ha utilizado técnicas de deposición química de soluciones después de una película que tiene buena termistores NTC orientación preferida. para lograr aún más el dispositivo del material de película, el equipo de investigadores en una variedad de ventajas y desventajas en comparación técnicas de preparación de película, seleccionado de pulverización catódica de magnetrón que tiene una estabilidad de temperatura negativo Coeficiente de propiedades térmicas de materiales de película delgada.
El estudio encontró que el uso de la transición electrónica de magnetrón de frecuencia de pulverización catódica de níquel-manganeso-cobalto preparado il película delgada termistor NTC de coeficiente de temperatura de las características de resistencia y la temperatura están relacionadas con el espesor de la película. Resultados de la medición de efecto Hall muestran que cuando el grosor es inferior a 693nm, material de 1 / v0 y αT = 303K se incrementa con el aumento del espesor, cuando el espesor es de más de 693nm, el material 1 / v0 αT = 303K y disminuye con el aumento del espesor. los resultados muestran que, cuando el espesor de la película está en el 265- cuando 693nm, la película + / Mn4 + relación de reducción significativa de Mn3, cuando el espesor de la película aumenta 693-887nm, + / Mn4 + proporción también aumentó Mn3. Mn3 + / Mn4 + relación afecta directamente a la temperatura característica del material, lo que indica que el espesor de la Afecta la sensibilidad del material de película termosensible a los cambios de temperatura. Los resultados del estudio se publican en Applied Surface Science.
Para llevar a cabo este trabajo es el foco de los proyectos de I + D en Xinjiang Física y Química 'de chip termistor unión marina sensor de temperatura integrado basados en la tecnología' puso el fundamento teórico para el trabajo de investigación de la Asociación China para la Ciencia e Ingeniería levanta talentos jóvenes, académicos jóvenes occidental Academia China de Ciencias Proyectos de clase B y otros fondos.
